超纯水系统工艺流程图

0 2um过滤器脱气水箱 PF 二级EDI膜堆 氮封超纯水箱 反渗透装置 纯水泵 高压泵 保安过滤器 盐箱 软水器活性炭过滤器机械过滤器 超纯水泵 取样 不合格排放 不合格排放 C 符号说明 P PcFRC 电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表 不合格排放 Pc P P P F C 抛光混床 0 1um过滤器 用水点 自来水进水 风机 P 氮气瓶 F 杀菌灯 紫外线 R F P 纯水 极水 浓水 P F R 纯水出口 调压阀 浓水回流 或排放 极水排放 Fk Fk 流变控制开关 FK 原水泵原水箱 紫外线 杀菌灯 P FI循环泵 过滤器 化学计量泵 图 3 常用的一级 RO 二级 EDI MB 电子 I 级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度高 有机物含量高 电导率高 小于 1000 s cm 要求产水电阻率 18 18 2M cm 的超纯水系统 0 2um过滤器脱气水箱 PF 二级EDI膜堆 氮封超纯水箱 反渗透装置 纯水泵 高压泵 保安过滤器 盐箱 软水器活性炭过滤器机械过滤器 超纯水泵 取样 不合格排放 不合格排放 C 符号说明 P PcFRC 电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表 不合格排放 Pc P P P F C 0 1um过滤器 用水点 自来水进水 风机 P 氮气瓶 F 杀菌灯 紫外线 R F P 纯水 极水 浓水 P F R 纯水出口 调压阀 浓水回流 或排放 极水排放 Fk Fk 流变控制开关 FK 原水泵原水箱 紫外线 杀菌灯 P FI循环泵 过滤器 化学计量泵 图 4 常用的一级 RO 二级 EDI 电子 级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度高 有机物含量高 电导率 小于 1000 s cm 要求产水电阻率 15 18M cm 的超纯水系统 快速过滤器 风机 0 2um过滤器纯水箱 PF 二级EDI膜堆 氮封超纯水箱 反渗透装置 纯水泵 高压泵 超纯水泵 不合格排放 不合格排放 C 符号说明 P PcFRC 电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表 不合格排放 Pc P P P F C 抛光混床 0 1um过滤器 用水点 自来水进水 P 氮气瓶 F 杀菌灯 紫外线 R F P 纯水 极水 浓水 P F R 纯水出口 调压阀 浓水回流 或排放 极水排放 Fk Fk 流变控制开关 FK 原水泵原水箱 紫外线 杀菌灯 P 排放 P C 超滤装置 FP 反洗排放水 F 循环 泵 过滤器 化学计量泵 图 5 常用的一级 RO 二级 EDI 电子 MB 电子 I 级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度低 有机物含量低 电导率高 小于 1000 s cm 要求产水电阻率 18 18 2M cm 的超纯水系统 快速过滤器 风机 0 2um过滤器纯水箱 PF 二级EDI膜堆 氮封超纯水箱 反渗透装置 纯水泵 高压泵 超纯水泵 不合格排放 不合格排放 C 符号说明 P PcFRC 电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表 不合格排放 Pc P P P F C 0 1um过滤器 用水点 自来水进水 P 氮气瓶 F 杀菌灯 紫外线 R F P 纯水 极水 浓水 P F R 纯水出口 调压阀 浓水回流 或排放 极水排放 Fk Fk 流变控制开关 FK 原水泵原水箱 紫外线 杀菌灯 P 排放 P C 超滤装置 FP 反洗排放水 F 循环 泵 过滤器 化学计量泵 图 6 常用的一级 RO 二级 EDI 电子 级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度低 有机物含量低 电导率高 小于 1000 s cm 要求产水电阻率 15 18M cm 的超纯水系统 图 7 是常用的一级 EDI 全系统组成图 氮气瓶 0 2um过滤器 电导率表电阻率表流量计压力控制器压力表止回阀球阀电磁阀 CRFPc P 符号说明 R 极水浓水 纯水 不合格排放 TOC分解器 紫外线杀菌灯 0 1um过滤器 超纯水泵抛光混床 用水点 氮封超纯水箱一级EDI膜堆 一级反渗透装置一级高压泵 保安过滤器 Pc P 活性炭过滤器机械过滤器 取样 不合格排放 风机 脱气水箱 纯水泵 脱气水箱 二级高压泵 二级反渗透装置 不合格排放 风机 纯水泵 不合格排放 P C P F PP Pc C b F C P P F F F P Pc R P C P P 自来水进水 原水泵原水箱阻垢剂加药 PH调节 循环泵 过滤器 化学计量泵 FI 图 7 常用的产水水质稳定的二级 RO 一级 EDI MB 电子 级超纯水系统组成图 适合于源水硬度低 有机物含量高 电导率 1000 s cm 即 TDS 500ppm 时 要求产水电阻率 18 18 2M cm 的纯水系统 FI 化学计量泵 过滤器 循环泵 PH调节 阻垢剂加药原水箱原水泵 自来水进水 P P C P R Pc P F F F P P C F b C Pc PP F P C P 不合格排放 纯水泵 风机 不合格排放 二级反渗透装置 二级高压泵 脱气水箱 纯水泵 脱气水箱 风机 不合格排放 取样 机械过滤器活性炭过滤器 P Pc 保安过滤器 一级高压泵 一级反渗透装置 一级EDI膜堆氮封超纯水箱 用水点 超纯水泵 0 1um过滤器 紫外线杀菌灯 TOC分解器 不合格排放 纯水 浓水极水 R 符号说明 P PcFRC 电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导率表 0 2um过