车间设备及产能培训

1、 HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm Company Confidential 1 Do Not Copy 产能产能OEEOEE及及PHOPHO设备简介设备简介 Hangzhou Silan Integrated Circuit Co., Ltd。 308, No. 10 Road, East HETZ, Hangzhou, Zhejiang, China 310018 李长朋 2009-12-19 HANGZHOU SILAN INTEGRA

2、TED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 回顾第一次培训的内容（OTD及生产报表） 1.回顾第二次培训的内容（生产周期及排产调查） Company Confidential 2 Do Not Copy HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 1.OEE介绍 设备综合效率 公式：OEE=合格产量的理论加工总时间/负荷时间 OEE是一个评价指标： 时间

3、开动率反映了设备的时间利用情况； 性能开动率反映了设备的性能发挥情况； 合格品率则反映了设备的有效工作情况。 反过来讲： 时间开动率度量了设备的故障、调整等项停机损失； 性能开动率度量了设备短暂停机、空转、速度降低等项性能损失； 合格品率度量了设备加工废品损失。 Company Confidential 3 Do Not Copy HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 2. 公司OEE 现有产能模型计算中： OEE=OEE=设备利用时间设备利用时

4、间/ /日历工作时间（日历工作时间（2424小时小时* *3030天）天）； 因此我们所说的OEE并不是前面讲的OEE；而是设备可利用率； 设备可利用时间：又分为设备理论可利用时间与设备实际利用时间；设备可利用时间：又分为设备理论可利用时间与设备实际利用时间； 相应地，相应地，OEEOEE也分为理论也分为理论OEEOEE与实际与实际OEEOEE 设备理论可利用时间：设备理论可利用时间：就是日历工作时间中除去必要的保养/PM及故障时间 其它时间设备是完好的，理论上都应可以利用；也就是Uptime时间； 设备实际利用时间：设备实际利用时间：生产中设备实际利用的时间；设备理论可利用时间并不能 100

5、% 被利用；这是因为在生产中，流水均匀性问题，待料/空转等可能无法避免； 所以在我们公司：所以在我们公司： 实际实际OEE=设备实际利用时间设备实际利用时间/日历工作时间；日历工作时间； 理论理论OEE=设备理论可利用时间设备理论可利用时间/日历工作时间日历工作时间; 也就是也就是Uptime; Company Confidential 4 Do Not Copy HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm OEE计算方法：计算方法： 实际OEE=设备

6、实际利用时间/日历工作时间； 理论OEE=设备理论可利用时间/日历工作时间; 也就是Uptime; 1、通过、通过MES系统导出数据：系统导出数据：(已转化为百分比）已转化为百分比） 设备单元设备单元描述计划停机时间(%)非计划停机时间(%)生产时间(%)闲置时间(%) S2244-1SVG匀胶机0.3412.5969.8417.23 日历工作时间日历工作时间 = = 计划停机时间计划停机时间(%)+(%)+非计划停机时间非计划停机时间(%)+(%)+生产时间生产时间(%)+(%)+闲置时间闲置时间(%)=100%(%)=100% 实际实际OEE=OEE=生产时间（生产时间（% %）=69.8

7、4%=69.84% 理论理论OEE=Uptime=OEE=Uptime=生产时间（生产时间（% %）+ +闲置时间（闲置时间（% %）=69.84%+17.23%=87.07%=69.84%+17.23%=87.07%； 所得所得OEEOEE可靠性：有依赖于生产输入可靠性：有依赖于生产输入MESMES数据的齐全、准确；数据的齐全、准确； HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 3.3.如何提高如何提高OEEOEE 1、减少计划停机时间：延长PM周期

8、/提高PM效率（设备PM/工艺PM） ； 2、减少非计划停机时间：主要是减少故障/提高恢复效率； 3、减少闲置时间：主要是减少设备待料、设备待作业员操作时间； 运用PM分析方法（从人、机、料、法、环等五大方面）改善提高OEE； HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 4. PHO设备 （按照岗位分配） -匀显 -曝光 -检验 Company Confidential 7 Do Not Copy HANGZHOU SILAN INTEGRATED C

9、IRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 4.1 匀显设备： HMDS ：S2248,S2250 30-45分钟一炉， 通量200片。备用设备？ 产能24*WPH*OEE 何为WPH？每小时的晶片加工量 匀胶：目前13轨投入使用，6寸5轨，5寸8轨 ，2台新设备待投入。 S2241,S2242,S2243,S2244,S2245,P2229 基本上45-60分钟/批，每轨大概提供700片/天 显影： 3台MARK7， 50-60分钟每批。 一台槽显S2146 S2247、S2258 每台产能980片 C

10、ompany Confidential 8 Do Not Copy HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 4.2 曝光 设备类型： NIKON，UT，总共22台，其中UT（7），NIKON（15） 1. NIKON分类： G6加工AL前层次，但PAD，PA，SPX的LB（SWR） I7 加工AL后层次 ，SPX：LA,LB,VA，注意：MS1610/MS1611 SLIC：AA、DN、CO、LA、LB、PY、VA、GT P2259、P2201、0

11、2、P2227、P2224、25、26、S2231、S2235 S2230、S2233、S2232、S2234、P2260、P2203 I7产能 300片，G6产能 500片 2. UT 5寸目前4台 S2236、37、40、P2223 6寸目前3台 S2238、S2239、S2257 UT产能480-500片。 Company Confidential 9 Do Not Copy HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 4.3 检验 - P2210 SPX除AA外的所有层次 SLIC的所有层次 LV的NN -S2522 LV除NN外所有层次 HV SPX的AA Company Confidential 10 Do Not Copy HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 5. 讨论： 1. 如何针对光刻设备特点排产。 2. 上道工程送片要求及可行性操作。 3. 返工片如何追踪处理。 4. 光刻班长需求？ 5. OEE对生产操作的 要求。 6.