PECVD石墨舟饱和作用简述

1、浙江贝盛光伏股份有限公司PECVD石墨舟饱和作用简述石墨舟饱和作用简述Confidential Staff Only 石墨舟饱和作用简述石墨舟饱和作用简述 PECVD氮化硅膜均匀沉积的条件氮化硅膜均匀沉积的条件条件是条件是“石墨舟内壁及硅片表面沉积速率一致石墨舟内壁及硅片表面沉积速率一致”，而决定该速率的主，而决定该速率的主要有温度、电场、要有温度、电场、gas以及石墨舟内壁的表面状态这四大条件。以及石墨舟内壁的表面状态这四大条件。石墨舟石墨舟内壁及内壁及硅片表硅片表面沉积面沉积速率一速率一致致温度分布温度分布均匀均匀电场分布电场分布均匀均匀Gas分布均分布均匀匀石墨舟内石墨舟内壁表面状壁表面

2、状态一致态一致氮化硅均匀沉积在硅氮化硅均匀沉积在硅片表面片表面Confidential Staff Only 石墨舟饱和作用简述石墨舟饱和作用简述 石墨舟内壁表面状态一致的条件石墨舟内壁表面状态一致的条件1.石墨舟内壁覆盖一层氮化硅膜石墨舟内壁覆盖一层氮化硅膜：饱和工艺的作用就是在石墨舟内壁上沉积：饱和工艺的作用就是在石墨舟内壁上沉积一层氮化硅膜，从而使得内壁各处均呈氮化硅状态，这样会使石墨舟内部各一层氮化硅膜，从而使得内壁各处均呈氮化硅状态，这样会使石墨舟内部各处的氮化硅沉积速率趋于一致；处的氮化硅沉积速率趋于一致；2.石墨舟内壁平坦度一致石墨舟内壁平坦度一致：平坦度不同会使电场分布不均匀，

3、理论上会使镀膜不均匀；平坦度不同会使电场分布不均匀，理论上会使镀膜不均匀；平坦度不同会引起内壁表面积变化，会引起饱和程度不够的现象。平坦度不同会引起内壁表面积变化，会引起饱和程度不够的现象。石墨舟内石墨舟内壁表面状壁表面状态一致态一致石墨舟内壁石墨舟内壁覆盖一层氮覆盖一层氮化硅膜化硅膜石墨舟内壁石墨舟内壁平坦度一致平坦度一致+-坑洞引起石墨片之间坑洞引起石墨片之间电场变化示意图电场变化示意图Confidential Staff Only 石墨舟饱和作用简述石墨舟饱和作用简述 石墨舟整个使用周期镀膜均匀性的变化石墨舟整个使用周期镀膜均匀性的变化石墨舟使用石墨舟使用前期前期：由于舟的饱和程度不够易

4、引起色差；：由于舟的饱和程度不够易引起色差；石墨舟使用石墨舟使用中中期期：舟的饱和程度足够且内壁上沉积的氮化硅膜不是很厚，：舟的饱和程度足够且内壁上沉积的氮化硅膜不是很厚，使得镀膜的均匀性表现良好；使得镀膜的均匀性表现良好；石墨舟使用石墨舟使用后期后期：由于内壁上沉积的氮化硅膜很厚，会导致以下两个现象：由于内壁上沉积的氮化硅膜很厚，会导致以下两个现象：局部氮化硅膜的脱落：引起舟的表面状态发生变化；局部氮化硅膜的脱落：引起舟的表面状态发生变化；氮化硅膜很厚会引起舟的导热性能发生变化，局部过厚会引起色差片的氮化硅膜很厚会引起舟的导热性能发生变化，局部过厚会引起色差片的产生。产生。镀膜均镀膜均匀性匀性变差变差石墨舟饱石墨舟饱和程度不和程度不够够石墨舟使石墨舟使用次数太用次数太多多Confidential Staff Only 石墨舟饱和作用简述石墨舟饱和作用简述 石墨舟不同饱和方式的差异石墨舟不同饱和方式的差异饱和时饱和时使用假片使用假片 -饱和充分：饱和充分：生产成本高；生产成本高；饱和环境和实际镀膜环境相同：硅片的存在会形成更大面积的电场，产生更饱和环境和实际镀膜环境相同：硅片的存在会形成更大面积的电场，产生更多等离子体，石墨舟内壁上沉积的氮化硅膜更充分。多等离子体，石墨舟内壁上沉积的氮化硅膜更充分。饱和时饱和时不使用假片不使用假片-饱和不够充分：饱和不够充分：