方棒检验-硅晶体检验流程

1、硅晶体检验流程随着企业硅晶体生产规模日益增大，各个部门都在切实履行自己的职能来完成各项生产任务，方棒检验在上级领导的指示下，切实履行各项义务，通过合理规范正常的检测手段，对半成品硅晶体进行多方面的检验。目前方棒检验主要负责检验的对象有两种：一是多晶硅锭；二是单晶硅锭，其中又包括，6寸6.5寸及8寸三种尺寸分类。方棒检验在认真完成上级领导交代的任务同时，同样坚持身为质量检验部门所应履行的职能，做到把关，预防报告，改进，监督和验证几项职能的确切实行。方棒检验硅锭的基本步骤概括的可以分为四步骤：一、 根据硅锭产品技术标准明确检验项目和各个项目质量要求；二、 使用规范实际可行的方法，同时借助一般量具和

2、使用电子设备仪器等测定产品。三、 把测试得到的数据同标准的和规定的质量要求作比较，同时作出产品质量是否合格的基本判定。四、 记录所得到的数据，并将所得结果反馈给有关部门，以便数据的统计分析可行及改进硅锭的生产质量。一；多晶硅锭的检验流程检验设备：1、游标卡尺测量硅锭边长以及直径。2、直尺测量硅锭长度。4、电子秤测量硅锭的倒角后实际重量5、电阻仪器测量电阻大小6、子寿命仪测量硅锭少子寿命大小检验参数：尺寸，角度，少子寿命，电阻率，重量多晶硅锭的检验流程分为：第一、晶体一次探伤，基本数据采集包括电阻率，少子寿命，直径范围等划取晶体的合格长度。第二、晶体的二次探伤以及经过晶体加工车间加工过后晶体具体

3、数据的检测，包括：合格少子寿命范围的长度，端面电阻率大小，长度，边长，倒角宽度等等。多晶硅一次探伤的具体步骤:一：根据晶体加工车间送来硅锭的总单，在电脑的软件中编写硅锭的编号，建立好矩阵（按照五乘以五的方式来建立）。二：将待检晶体搬入检测平台，用白纱布蘸取少量无水乙醇擦拭表面，干后进行一次试拍。三：根据试拍图片，将参考高度调整至现实高度（图片中晶体底部为0mm开始），具体方法参照红外探伤仪操作。四：在调整好仪器后开始按照晶体加工车间事先在晶体头部填写好的编号进行，对号拍摄探伤。五：对已经红外拍摄出的图片进行分析判断，并做出合格长度的计算，然后在一次探伤本的备注栏填写好具体的数据判断，例如距底部

4、XXmm出有崩裂，距底部XXmm至顶部有阴影等等。六：对已经拍摄好的25个锭的图片进行截图，并把截图数据编入新建的当天截图文件夹，方便统计和领导的观察与分析。多晶硅锭具体的检验步骤（包括一次探伤，二次探伤后的具体检测以及拼棒入库）一：从晶体加工车间领取25锭至方棒检验，根据预先编订序号进行检验记录单据的填写。二:对晶体进行一次探伤，边长范围和重量进行检测，并对所获取数据进行记录统计。三：结合晶体探伤记录，再运用少子寿命仪，对硅锭头尾以及中部进行少子寿命检测，并划线返切不合格部分，具体范围是：头尾少子寿命一次探伤前不得低于1.5us，小于1.5us一律截断。例如，经检测据头20mm处尾15mm处

5、少子寿命小于1.5us，就在头20mm和尾15mm处划线截断取中间合格部分数据。四：在硅锭平面划出少子寿命不合格部分后，再用电阻仪器对合格平面检测电阻。五：得到电阻率和少子寿命合格的数据后，在探伤记录本上如实填写各项数据记录，并录入电脑检验清单。六：将划线完毕的晶体送至晶体加工车间进行截断头尾不合格部分并做其他方面加工。七：晶体加工车间在完成截断，端面磨，平面磨，倒角等工序后，移交方棒检验进行二次检测，包括二次晶体探伤，晶体边长，直径，合格长度以及倒角宽度的检测，最后进行晶体二次少子寿命检测和端面电阻率的检测，并在检验单上填写已检测的数据，以及备注上少子寿命大小的分类。具体方法为：检测头尾少子

6、寿命有多少距离是在1.5-2.0us范围，要测出其长度，做好备注。八：对于检测合格长度有崩边或者其他尺寸不合格的方棒，应按照规定尺寸，对其进行划线截断。九：将二次检测好的晶体放至合格产品区，进行方棒配对，具体方法为：2根方棒在315mm长度左右，公差为-3mm。最后入方棒仓库，并在电脑上进行检验记录和清单的统计与填写。二；单晶方棒的检验流程检测设备：直尺长度测量，角度尺四个平面垂直角度测量，游标卡尺：测量边长和直径，电子秤单晶棒重量单晶硅锭检验流程可以大体的概括成两个方面：一是二次的拍摄探伤；二是二次的拍摄探伤后具体的检测。一、二次拍摄探伤步骤；将晶体加工车间送至的各个尺寸类型的方棒进行一次探

7、伤前的分类放置，并用纱布蘸取无水乙醇将晶体表面擦拭洁净。将待探伤的晶体搬上探伤工作台面，在探伤镜面加上毛玻璃，并在电脑软件上建立临时探伤矩阵，方便以下检测。分析二次探伤图片，做好分析记录，如果正常则进行下面检测，如不正常则要进行具体的操作，包括划线截断不合格的部分以及其他的方面操作。二、检测数据方面可以分为：单晶方棒按照上级领导指示，需要进行二次探伤，需加上毛玻璃，进行检测方棒是否有阴影，裂纹等影响产品质量因素存在，并加以记录。对已经探伤正常的方棒进行合格长度，直径，边长，弦长（弦长具体参照各个尺寸方棒标准），四个平面垂直角度的测量并在检验记录本上进行数据的录入。将检验合格的棒子放在合格区，对已检测完毕的方棒进行分类配对，具体方法为长度在315mm，公差为-3mm，最后将已检测记录和清单输入电