直拉单生产作业指导书

1、直拉单晶生产作业指导书一 拆炉前准备 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、无尘纸、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 取单晶的车子、装石墨件的不锈钢小车（要擦拭干净）、装埚底料的不锈钢筒，并处理干净。 图一 图二（擦拭干净） 图三 热态检漏1. 检查上一炉功率关闭时间，在确认单晶冷却时间达到 7.0 小时以上后，关闭氩气总阀门（先打开主、副室流量计调节阀并分别调节到50L/Min，再关闭氩气进气总阀门，主、流量计蝶阀仍然保持打开状态），开始抽高真空，并作时间记录。2. 待炉内压力到达极限（要求达到3Pa 以下）后，先关闭主室抽空球阀而后关闭主真空泵电源进行检漏

2、，并作相应时间记录，若0.5 小时内抽不到3Pa 以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。3. 检漏要求3分钟以上，漏气率<0.34Pa/min 为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率0.34Pa/min 时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录4. 做好热态检漏时的抽空时间，检漏时间，极限真空，漏气速率等记录。 取出单晶棒1. 热态检漏后，充氩气至常压，关闭氩气，打开副室小门（在此之前须先拧松副室小门的螺丝2. 升单晶至副室（提升单晶时注意单晶通过副室炉径处不得有碰撞），从副室小门内确认单晶升至所需高度（为防止升副

3、室时晶棒脱落，应关闭隔离阀）,确认无误后升副室。3. 安全接盘移到炉筒口处晶体下方（若晶体过长，则需连同炉盖一起同步转动），缓慢转动副室至侧面。4. 单晶的车子放在副室炉筒正下方，准备接单晶。5. 定单晶，移开安全接盘，按下籽晶快降，将单晶降入架子内。6. 单晶完全入架子内后，手握重锤，用钳子将籽晶从细径处钳断，钳断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。7再将重锤升至副室内适当位置。 8. 单晶移到中转区，及时、准确的将单晶编号写在单晶上，并观察晶体的颜色及籽晶是否积渣等，做好相应的记录。二 拆、清、装炉A 拆炉 石墨小件取出1按炉盖升按钮上升炉盖。炉盖上升到位后，再旋转炉盖到侧面

4、。2戴好耐高温手套按顺序取出导流筒及保温盖放在装石墨件的不锈钢小车上，注意要拿稳并轻放。3在整个拆装炉过程中，严禁赤手接触石墨器件，石墨器件安放必须在清洁好的不锈钢小车或平板上。4仔细观察炉颈石英坩埚埚口是否积渣及石英坩埚是否变形，导流筒，看导流筒是否有开裂、粘硅现象，并观察氧化物的颜色是否正常（是否发白），并及时做好相应的记录。5戴好耐高温手套用钳子夹住石英坩埚的上端部分提起，使其松动，将石英坩埚取出。若石英坩埚能将埚底料全部带出直接放入不锈钢筒；若不能则将先取出石英坩埚，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出后，再将埚底料放入不锈钢筒内。最后将不锈钢筒移到指定地方，并写上单晶编号，自然冷却。冷却后对

5、埚底料进行重量检测并作好记录。 图四 图五（石墨件取出后要 图六（单晶棒要放到指定位置）立即放到石墨房冷却，不能放在现场） 石墨大件的取出（一般 4 炉做一次，须作好大清记录）1 取出上保温罩放在不锈钢小车上。2按住炉筒升按纽，升起炉筒至限位，旋转炉筒，并降至适当位置。3取出中保温罩放在不锈钢小车上。4先取下加热器螺丝盖，再用专用工具取下加热器螺丝后，取下加热器螺丝和加热器放在不锈钢小车上。5依次取出电极护套、电极石英环、埚杆护套、炉底上压片、炉底上压片下小石墨碳毡、排气套管、下保温罩、炉底压片、炉底碳毡、石墨电极等放在不锈钢小车上。在不锈钢小车边挂上石墨件炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移

6、动过程中注意石墨件放置，防止坠落。B 单晶炉清扫 石墨件清扫1石墨件必须在指定的清洗室进行清洗，不得在炉子现场打磨石墨器件，准备好清洗用品(吸尘刷、纸巾、吸尘管、研磨布、除硅粒的专有工具、放石墨件的洁净小车等)戴好手套、防尘口罩。清洗好清洗台及周围环境。2依次用吸尘刷清洗各类石墨件直至确认无污物，沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨后再吸尘清洗。3清洗时注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅，有损坏及粘硅等异常要及时报告班长或主任处理，并及时更换。作好相应记录。4操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。5清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净不锈钢小车上。禁止叠加，移动不锈钢小车要稳当。6

7、清洗后垃圾放入垃圾指定处，清洗好清洗台及周围环境。 石墨大件炉内清洗（适用于每炉小清，石墨大件未取出时在炉内清洗）1用吸尘刷吸净炉筒、保温罩和加热器上沿拆炉时掉落的残渣。2用吸尘刷仔细用力清洗保温罩，加热器所能触及到的部位。3取出加热器螺丝盖，检查电极螺丝是否松动、胶落或粘硅。有松动须拧紧，有胶落或粘硅须更换。再盖好加热器螺丝盖。4如果在拆炉时不小心引起热场移动或转动一定要检查热场是否对称，测温孔要重新校正。如果侧温孔有偏离会影响测光信号，导致ATC数值过小，无法对炉内温度进行自动控制无法成晶。5用吸尘刷吸净炉底上压片、炉底波纹管、排气孔内的附尘及残渣。6用带有酒精的纸巾清理炉壁上部。 单晶炉

8、室清洗a. 副室的清洗1准备好清洗棒、纸巾、酒精。2在清洗棒上缠上沾有酒精的纸巾，清洗副室内部至上部，直至确认无污物。3快速降下籽晶夹头，用沾有酒精的纸巾认真擦洗重锤及钼夹头。需要时要将重锤摘下用研磨布认真打磨，并清洗干净。摘下重锤时要慎重作业，防止钢丝绳上弹造成钢丝绳出槽。清洗钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏。清洗好上升重锤到一定位置，升重锤时，不要使重锤晃动，防止重锤挂住副室下沿，拉断钢丝绳。b. 小副室的清洗1打开副室小门，用沾有酒精的纸巾擦洗小副室内的附着物。挥发物附着较多时，先用吸尘刷处理。2用沾有酒精的纸巾认真擦洗副室抽气口、其它小孔及翻板阀四周及转轴。翻板阀的沟槽部位及焊缝

9、处先用纸巾卷成利于操作的形状再认真擦洗。3清洗过的小副室将翻板阀盖住阀口，并关闭副室小门。4用洁净的纸巾将小副室上口盖住。 图七 图八 图九c. 炉盖清洗1 先用纸巾擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。2 小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接口等不易清洗的部位要用沾有酒精的纸巾认真擦洗，直至确认无污物。3 硅粉强力附着时或炉盖局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光亮无污物。4 观察窗、ATC窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更容易清理直至没有污物。d. 炉筒清洗1 先用纸巾擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。2 取光孔部位

10、要用沾有酒精的纸巾认真擦洗，直至确认无污染。3 硅粉强力附着时或炉筒局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉筒整个内壁出现光亮无污物。e. 抽气管道清洗。1 用扳手打开抽气管道上的封盖螺丝，取下封盖和密封圈。2 用一头缠钢丝球的长棒伸入管道抽动，另一头用吸尘刷吸除抽气管道内的挥发物。3 用沾有酒精的纸巾认真擦洗封盖和密封圈，再安装好。f. 真空过滤器清洗1准备好吸尘刷、吸尘管、酒精、纸巾、扳手，带好手套、防尘口罩。2先打开真空过滤器盖充气阀充满气，再关闭充气阀。3用扳手打开真空过滤器盖螺丝，取出过滤网。4用吸尘刷仔细清洗过滤网及过滤器内的挥发物。5.将清洗后的过滤网缓慢放进过滤器内。6用吸尘刷

11、清洗过滤器盖，用沾酒精的纸巾擦净密封圈，并检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空。7盖好过滤器盖并用扳手上好过滤器盖螺丝。 图十 图十一g. 拆炉操作工对拆炉过程中发现的其它情况进行描述并做好相应的记录。C 石墨件安装 清洗后的石墨大件安装，（一般5 炉做一次）。1 清理完毕的石墨大件不锈钢小车移到单晶炉旁边，移动过程要稳当。2依次装好石墨电极、炉底碳毡、炉底压片、下保温罩，两侧排气管、炉底上压片下小石墨碳毡，炉底上压片、埚杆护套、电极护套、石英电极环。安装电极时检查接触面是否平整，上下接触面要放一层石墨纸，防止热场打火。3将清洗后的加热器（每炉要确认厂家编号和已使用炉次，如达到规

12、定正常使用炉次需作更换）装好，拧上石墨螺丝，要拧紧，不然要引起热场打火，并盖上石墨螺丝盖。4将清洗后的中保温罩装好，卡口接到位。并校正与加热器的间距(做到同心同轴)，要均匀一致，否则需调整好。5炉筒复位，升起炉筒至上限，用沾有酒精的纸巾擦洗下炉筒上部的结合部和炉筒下部的结合部，同时转动炉筒到适当位置。6按炉筒降，炉筒降到位后，校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控。7将清洗后的上保温罩装好，并卡口接到位。 清洗后石墨小件安装。1用专用工具装好埚杆。一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动。2依次装好埚底、三瓣埚（每炉要确认厂家编号和已使用炉次，如达到规定正常使用炉次需作更换）。安装时要确认

13、埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合，要认真、细心，防止碰坏保温材料或加热器。3装好后要打开埚转旋转一下，以检验三瓣埚与加热器间距是否一致。若不一致，需及时调整。4进行初始化 （去除挂壁后合炉，检查初始化参数是否为1，点击初始化按钮进行初始化） 图十二（安装要做到同心同轴，卡口接到位） 图十三三 装料石英坩埚安装1炉筒、炉盖的外侧及周遍，用沾有酒精的纸巾擦洗干净，炉体周围地面认真打扫。2从指定的场所将指定石英坩埚取来。带好防尘口罩、装料用的洁净手套。3检查石英坩埚包装上标识与设备热系统要求是否一致，如一致先打开石英坩埚外包装进行称重，并在外包装上作好记录，再打开石英坩埚内包装，打开后石英坩埚内表面不得有

14、沾污，手拿取部分的手套必须是洁净的，对光确认有无裂纹、污物、气泡。若有异常及时处理并报告班长或主任。4 在炉内的石墨三瓣埚内装好石英坩埚，注意四周间隙一致。 图十四 图十五 图十六 图十七 装料1取来装料不锈钢车（用酒精擦拭干净），硅料及掺杂剂，仔细核对配料单的各项内容是否与单晶炉号、配料实物和掺杂剂实物一致，若有异常及时处理并报告班长或主任。2更换装料用的手套，装料用的手套必须保持洁净，如有沾污或破损应及时更换，如有掺杂剂先放入石英坩埚。再将碎料、小料平铺在埚底。3将大块料放置中央，用中型料放于大料四周上方左右予以固定，间隙中放入小硅料。如装硅粉须每层要压紧，装料时要慎重作业，轻拿轻放，防止

15、碰撞石英坩埚，也不要使料掉在保温罩的缝隙，以免造成打火。4装料时注意不要使料探出石英坩埚，否则会在熔料过程中引起硅液流下，损坏石墨件，甚至焖炉。5装料完成后打开埚转旋转一下，确认四周间隙一致，再快速将埚降至下限。停止旋转。6坩埚上部、加热器上部、保温罩上部再用干净吸尘刷吸净浮尘及硅渣。7依次装好保温盖、导流筒（对外导流筒每炉要确认厂家编号和已使用炉次，如达到规定正常使用炉次需作更换）。安装保温罩、导流时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与硅料发生接触时要调整硅料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅。8 装好保温盖、导流筒后，若料与导流筒有一定距离，能打开埚转则打开埚转，给定埚转1r/min。

16、 籽晶安装1 用沾有酒精的纸巾擦洗炉盖和炉筒接合部的密封圈，再将炉盖旋转至炉筒上部。2按炉盖降按钮降下炉盖。炉盖降到位后确认炉盖是否合好，防止漏气。3 用沾有酒精的纸巾擦洗副室下部的接合部和炉盖上部的接合部，转动副室，降下与炉盖合炉。要缓慢转动副室，防止重锤与副室内壁碰撞。4从指定的场所将腐蚀好的籽晶取来，用沾有酒精的纸巾认真擦洗籽晶。注意不要直接用手接触籽晶，防止汗渍污染籽晶。5下降籽晶夹头到一定位置，从副室小门中把籽晶装在夹头上，装好钼销。用力向下拉一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后按晶快升使其上升至适当位置。6用沾有酒精的纸巾擦洗副室小门的密封圈和接合部，关闭副室小门，拧上副室小门螺丝，打开

17、翻板阀。7 等所有的部件清洗安装完毕后做好单晶炉周围环境卫生清理工作。 图十八 （禁止裸手触摸） 图十九 四 抽空1先打开真空泵电源（2到3分钟），再打开主室球阀。2抽空后炉内压力达到<20Pa 时，先打开氩气进气总阀门，再打开主、副室流量计调节阀并分别调节到50L/Min，过5min 后，再关闭氩气进气总阀门，主、副室流量计调节阀仍然保持打开状态，再次抽空，使炉内压力<5Pa。如不行，可重复几次打开氩气进气总阀门5min, 再关闭氩气进气总阀门的过程。3待炉内压力<5Pa 后，关闭主室球阀而后关闭真空泵电源之后进行测漏，测漏时只需关闭氩气进气总阀门，主、副室流量计调节阀仍然

18、保持打开状态，要求炉子漏气速<1Pa/3min，检漏时间>3 分钟。检漏合格进入加热熔料工序。4若炉子漏气速率>1Pa/3min，充气打开炉子，重新擦洗密封圈后，重复a、b、c、d 步进行抽空检漏，若仍不合格报告维修人员处理。5并作好抽空时间，检漏时间，极限真空，漏气速率等记录。五 化料1确认水、电、气是否正常。2抽空检漏合格后，打开真空泵电源。3再打开主室球阀。4打开氩气进气总阀门， 调节副室氩气流量在5060L/Min 。5打开加热开关，进入化料工序。 图二十 图二十一（塌料后及时下降 图二十二导流筒，下降时注意是否有挂边） 6熔料过程中时刻注意观察炉内的情况，防止埚转旋

19、转时有塌料碰撞导流筒，有异常及时上报班长并处理，并将观察到的现象做好记录。若原未打开埚转，则当塌料后无异常就可给定埚转2r/min，塌料后要及时上升适当埚位。并进行相应记录。升埚时注意不要使硅液面触到导流筒下沿。升完埚后通过对埚位标尺的确认埚无动作，方可完成，否则会使导流筒粘硅，发生跳硅。7料熔完时，挥发一小时（功率降至75kw85kw）。挥发完毕后降低加热功率至引晶温度(与上炉对应)。给定埚转到26r/min，并进行相应记录。若在熔料时发现料有大量浮渣时，可不等料全熔提前降温进行初次吊渣操作。8ATC值降至引晶温度对应的数值时切入自动，将埚升至引晶埚位稳定即导流筒至液面距离为15-25mm

20、左右。引晶埚位也可在上炉装料基础上根据投料量增加/减少量，来确定本次引晶埚位。六 引晶（锅位埚转温度）预热1将籽晶降至从主观察窗刚能看到的位置，并打开晶转电源，给定晶转8r/min，埚转10 r/min。220分钟后，按籽晶快降按钮将籽晶降至距硅液面10mm 处预热20分钟。作好相应记录。必须预热，不然会由于籽晶由低温区到高温区、由固定到液态转变时，温差太大造成籽晶产生位错。3籽晶快速上升或下降的位置必须给予确定，升降操作方可完成，否则会溶掉籽晶甚至重锤，升至上限时会导致重锤掉下进入溶硅内，造成漏硅或整炉料彻底报废，无法再次利用。4降籽晶使之与硅液面接触，浸润20 分钟，熔去籽晶较细的部分，根

21、据接触光圈的形状，确定引晶温度是否合适，若合适开始引晶；若不合适，通过ATC调整温度20 分钟后开始引晶，温度不宜偏低。引晶1打开晶升电源，计长归 0。作好相应记录。2缓慢提升拉速至 1.5mm/min 左右先提拉籽晶约10 mm 后，再提升拉速让拉速保持在1.5mm/min6mm/min 之间，引晶直径控制在3mm 左右，长度不低于150mm。3引晶过程中若温度不适可适当进行温度的调整，但不宜过大。引晶开始时，应先引 10mm 左右直径较粗的细颈，可作为下次接触使用，这样避免籽晶的浪费。4引晶过程中若籽晶熔断，则重新进行ATC的调整，籽晶插入液面，重新进行引晶。作好相应记录。 图二十三（预热

22、） 图二十四（找引晶温度） 图二十五七 放肩（晶体的横向生长，达到所需的尺寸）放肩1引晶达到预定的长度后，缓慢降低拉速直至 0.30.5mm/min 进行放肩。作好相应记录。2放肩务必要放平肩。3放肩时要时刻观察肩的形状，放肩过快过慢时应及时进行适当地温度调整。4放肩坏时，则重新进行温度的调整，插入液面，熔去放肩和引晶部位，再引晶。5若料较脏时，将肩放至直径150160mm 提离液面上升到副室，盖住翻板阀后增大副室氩气，打开主炉室氩气，调节流量到炉压和原来一致。6等副室到达常压后，关闭副室氩气阀。打开副室小门后，取出不成晶品放到适当位置待其冷却后做好标识并称重，放入指定场所。做好吊渣操作相应的

23、记录。 图二十六 图二十七 图二十八转肩1将肩放到接近目标直径时，将拉速缓慢提高 1.52.5mm/min，进行转肩。作好相应记录。2密切关注单晶的生长速度，调整拉速。3待单晶生长到目标直径时缓慢降低拉速同时适当给定埚跟随动。埚跟随动设定可参照4一定要注意单晶生长稳定后方可切入自动，否则会造单晶生长失控。八 等径（晶体的纵向生长）正常等径控制2计算机切入自动控制后根据操作记录要求认真做好各项记录。3等径过程中应时常观察炉内单晶生长情况，每隔10分钟对炉内巡视1次，确认有无异常，每隔1小时对炉内晶体测量一次直径。等径过程中每30分钟做1次拉晶生长记录。4根据情况的不同，等径至硅料液面下降到石英坩

24、埚内径变小处时，应该适当增大埚升随动。 图二十九 图三十（观察导流筒与 图三十一（取渣关闭隔离阀液面的距离） 时注意切换氩气） 等径断棱时回熔1在 400mm 以内断棱时，进行回熔处理。作好相应记录。2退出自动，功率升至8590kw(熔料功率的90%)。晶转设定为5转，埚转为2 转。3观察炉内状态，慢慢下降晶体进行回熔，晶体过长需要熔化一段后，吊起晶体经确认下部已熔化后，再慢慢下降一段晶体进行回熔，直到全部回熔。.4若发现原料有杂质时，可熔化一部分后按吊渣料方式吊出，冷却称重后做好吊渣操作相应的记录。5回熔或吊渣完成后重新开始引晶操作。等径断棱时晶体收尾提出1晶体等径在 400mm 以上断棱时

25、，且估计本次晶体提前收尾并提出后还能正常等径400mm 或以上时应将单晶提前收尾并提出(根据情况而定)。收尾过程见收尾工序。2提前收尾要求收尾长度在 150200mm。收尾长度计算是从实际晶体断棱处到收小后晶体提出处的距离。3收好尾后先下降坩埚液面 3050mm，缓慢调节晶转为5r/min，再给定拉速1.0mm/min上升4 小时，作好相应记录。而后上升到副室炉筒内翻板阀上，再等1小时后打开主室氩气流量，盖住翻板阀。4盖住翻板阀后（切换氩气）增大副室氩气流量，到达常压后关闭副室氩气升起副室炉筒并转到左侧面，取出断棱单晶。作好相应记录5对炉筒及小副室进行清洗。清洗完毕进行副室抽空（换气23次）。

26、6进行二次作业，重新开始引晶操作。等径断棱时晶体收尾停炉1晶体等径在 400mm 以上断棱时，且估计本次晶体提前收尾并提出后已不能再正常等径400mm 时，应继续吊料到预定长度后收小尾。2收好后转入停炉冷却工序。九 收尾收尾1 当晶体长度达到预定长度（根据埚内实际剩料多少计算）时，或断棱需要收尾时，进入收尾程序，并做好相应记录。2要经常查看收尾情况，对拉速和温度做适当调整。3正常收尾长度应为晶体等径直径的大小，收成尖尾后使单晶脱离液面，转入降功率、停炉冷却工序。 图三十二 图三十三降功率、停炉冷却1收尾完成或收断后，按下埚快降键，下降 30mm 后确认埚快降停止。2晶升拉速调整到 1.0mm/

27、min, 使单晶自动上升。3缓慢调节晶转为 5r/min，缓慢调节埚转为2 r/min。4温度控制退出自动，电压降至 20V，作好操作记录。50.5 小时后电压电流降至0，关闭加热电源。作好操作记录。6冷却 6.5 小时后，缓慢调节晶转、埚转为0，关闭晶转、埚转。转入下一轮拉晶。7操作人员对整个操作过程做个简要的叙述，并做好相应的记录。异常事故处理 停水a. 发生停水时，立即检查（自动打开的）或打开停水炉子的事故水进水阀。1 关闭加热功率。2 复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。3降低埚位到熔料埚位。4关闭埚转。b. 停水后水压恢复。1冷却水恢复供应时，立即检查（自动打开的）或关

28、闭事故水阀门，监控水压，有异常立即报告管理人员。2水压恢复时，炉内无严重氧化现象，熔体未结晶或已结晶但液面结晶小于10 分钟且石英坩埚未破裂，按加热功率开，调节功率到熔料功率。3启动埚转，设定为 2 转/分，打开埚转前，确保埚转电位器处于零位。4熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象，注意硅料液面熔化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。5晶体处理同晶变单晶一致，待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。c. 停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于 10 分钟。1快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面 150mm。2在熔体结晶 15 分

29、钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。3停炉，充分冷却后拆炉 停电a. 若炉子工作时，加热部分停电。1复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。2降低埚位到熔料埚位。3关闭埚转。4 加热部分恢复时，若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10 分钟且石英坩埚未破），按加热功率开，将功率升至熔料功率。5启动埚转，设定为 2 转/分，打开埚转前，确保埚转电位器处于零位。6熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。7晶体处理同晶变单晶一致，待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。8加热部分恢复时，若停电时间较长（液面结晶已经大于10 分钟或石英坩埚破裂），快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。9在熔体结晶 15 分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。10 停炉，充分冷却后拆炉。b. 若炉子工作时，加热电源、控制电源同时断电。1立即关闭抽空阀门。关闭所有升降转动开关。2手动摇手柄降低埚位到熔料