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1、电子显微镜在机械电子显微镜在机械制造业中的应用制造业中的应用绪论绪论1扫描电镜的工作原理与仪器构成扫描电镜的工作原理与仪器构成2扫描电镜的性能特点扫描电镜的性能特点3扫描电镜在机械制造业中的应用扫描电镜在机械制造业中的应用4总结与展望总结与展望5内容大纲SEMSEM的发展历史的发展历史SEMSEM的研究现状的研究现状SEMSEM的发展问题的发展问题SEMSEM的工作原理与仪器构成的工作原理与仪器构成电压加速，磁透镜系统会聚，形成直径为50纳米的电子束。探测器收集信号电子，经过放大、转换，在显示系统上成像。电子束在偏转线圈作用下，在样品表面做光栅状扫描，激发多种电子信号。二次电子的图像信号“动态

2、”地形成三维图像。电子枪发射直径约为50微米的电子束。123真空系统与电真空系统与电源系统：提供源系统：提供电源，防止样电源，防止样品污染。品污染。信号收集处理信号收集处理系统：电子收系统：电子收集器、检测器集器、检测器与显示系统。与显示系统。电子光学系统：电子枪、电电子光学系统：电子枪、电磁透镜、扫描装置、样品室。磁透镜、扫描装置、样品室。扫描电镜的实物图扫描电镜的实物图主要影响因素：电子束实际直径与信号噪声比。电子束在荧光屏上最大扫描距离与其在试样上最大扫描距离的比值。在景像平面上，能够得到清晰图像的最大距离与最小距离之差。扫描电镜的性能特点扫描电镜的性能特点分辨率放大倍数景深一断口分析0

3、1二表面形貌分析与深度检测02三结构与非金属夹杂物检测03扫描电镜在机械制造业中的应用扫描电镜在机械制造业中的应用解理断裂：正应力作用在某种材料之后使得材料按照一定的结晶学面发生的分离。准解理断裂：经常出现于淬火加低温回火的马氏体钢中，发生在脆性转折温度附近。韧窝断裂也称延性断口，具有延性的特征，可看出明显的塑性变形。疲劳断裂是指在交变应力的作用下超出材料的疲劳极限所造成的断裂。01020304断口分析断口分析几种常见的断裂图像几种常见的断裂图像解理断口准解理断口韧窝断裂疲劳断裂几种常见的断裂图像几种常见的断裂图像仪器在使用过程中，环境等因素会对其金属配件造成的氧化、侵蚀，为减少腐蚀，需要在金属表面镀层或涂层。涂层一般很薄，由于光学显微镜自身的局限，对表面的检测与分析具有一定的困难，而对于显微镜来说却是件简易的事。涂层镀层表面的形貌分析与深度检测涂层镀层表面的形貌分析与深度检测结构与非金属夹杂物检验结构与非金属夹杂物检验在机械制造业中，微观结构的小瑕疵等原因，往往会导致钢体的结构部件的断裂。非金属夹杂物的数量和类型对钢的韧性、拉

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