单晶炉异常处理操作

1、培训对象：硅单晶机修电工培训对象：硅单晶机修电工培训讲师：习勇培训讲师：习勇 硅单晶分厂硅单晶分厂2内容内容1.单晶炉异常处理操作单晶炉异常处理操作 培训目的培训目的 单晶炉异常分类单晶炉异常分类 突发状况突发状况 日常状况日常状况2.单晶炉安全常识单晶炉安全常识 安全基本原则安全基本原则 安全事故分类安全事故分类 单晶机修安全操作规程单晶机修安全操作规程 一、单晶炉异常操作一、单晶炉异常操作4培训目的培训目的 为进一步改善硅单晶分厂现场管理秩序，根据为进一步改善硅单晶分厂现场管理秩序，根据公司的岗位编制，公司的岗位编制， 公司培训中心组织开展生产公司培训中心组织开展生产部门关键岗位上岗资格认

2、证工作部门关键岗位上岗资格认证工作 。其目的是使。其目的是使员工技能知识得到丰富，工作技能得到提高，员工技能知识得到丰富，工作技能得到提高，从从 而确保硅单晶更好的生产。而确保硅单晶更好的生产。5单晶炉异常的分类单晶炉异常的分类单晶炉异常主要分为以下两类： 一、一、 突发状况突发状况 二、二、 日常状况日常状况6突发状况突发状况突发状况主要有以下几点：突发状况主要有以下几点： 1.断电断水引起漏硅。断电断水引起漏硅。2.晶棒掉落。晶棒掉落。3.真空泵皮带轮松脱，皮带断裂。真空泵皮带轮松脱，皮带断裂。4.冷却水水管爆裂或脱落。冷却水水管爆裂或脱落。7突发状况一：断电断水引起漏硅突发状况一：断电断

3、水引起漏硅 当单晶炉出现这种现象时，已经是属于严重的会危及人员生命安全和当单晶炉出现这种现象时，已经是属于严重的会危及人员生命安全和引起重大财产损失的事故了。这时首先要将加热器和真空泵关闭，再引起重大财产损失的事故了。这时首先要将加热器和真空泵关闭，再打开快充氩气至常压，最后打开炉膛进行快速冷却。打开快充氩气至常压，最后打开炉膛进行快速冷却。 在出现断电断水的时候，我们如果处理的好是不会出现漏硅的。这时在出现断电断水的时候，我们如果处理的好是不会出现漏硅的。这时要采取以下方法：要采取以下方法：1.首先马上通知动力部发电或冷水班启动冷却水备用水，保证炉内首先马上通知动力部发电或冷水班启动冷却水备

4、用水，保证炉内冷却水循环正常。冷却水循环正常。2.关闭抽空阀门，同时关闭氩气进气阀。关闭抽空阀门，同时关闭氩气进气阀。3.手动将坩埚位置下降手动将坩埚位置下降30-40mm，使晶体脱离液面。（可调节下轴，使晶体脱离液面。（可调节下轴升将旋转手柄，顺时坩埚轴下降，逆时针坩埚轴上升）先将籽晶升将旋转手柄，顺时坩埚轴下降，逆时针坩埚轴上升）先将籽晶上升，待液面结晶时再将坩埚上升至坩埚最高位置。（以防涨破上升，待液面结晶时再将坩埚上升至坩埚最高位置。（以防涨破加热器加热器） 下面是下面是24#炉漏硅图片：炉漏硅图片：1324#炉漏硅现象炉漏硅现象14突发状况二：晶棒掉落突发状况二：晶棒掉落晶棒掉落主要

5、产生的原因是：晶棒掉落主要产生的原因是：1.籽晶断裂。籽晶断裂。2.钢丝绳断裂。钢丝绳断裂。其处理方法是：其处理方法是：1.关闭加热器和真空泵。关闭加热器和真空泵。2.将坩埚升至最高位，以防结晶时撑破三瓣锅和加热器。将坩埚升至最高位，以防结晶时撑破三瓣锅和加热器。3.籽晶断裂时，注意观察是否漏硅，再看拉晶时间、晶体籽晶断裂时，注意观察是否漏硅，再看拉晶时间、晶体长度来决定是否回溶重新拉晶。长度来决定是否回溶重新拉晶。钢丝绳断裂钢丝绳断裂钢丝绳断裂钢丝绳断裂籽晶断裂籽晶断裂18突发状况三：真空泵皮带轮松脱，皮带断裂突发状况三：真空泵皮带轮松脱，皮带断裂 真空泵皮带轮松脱的原因是由于皮带轮前的螺母

6、松动从而使其松脱的,销子和销子槽损坏引起。这就要求我们多巡视，发现情况及时处理。(因为真空泵皮带轮松脱，皮带断裂，将会引起严重的后果，我们将无法正常拉制单晶) 下组图是26#真空泵皮带轮松脱的现象：突发状况四：突发状况四：冷却水水管爆裂或脱落冷却水水管爆裂或脱落冷却水水管爆裂或脱落的主要原因是水管抱箍松动或损冷却水水管爆裂或脱落的主要原因是水管抱箍松动或损坏进水压力太高水管本身有破损或老化限位开关失坏进水压力太高水管本身有破损或老化限位开关失灵灵水管爆裂或脱落主要发生在炉体某部位运动中，即停炉后水管爆裂或脱落主要发生在炉体某部位运动中，即停炉后，为了防止冷却水对硅料造成污染或对电器设备造成短路

7、，为了防止冷却水对硅料造成污染或对电器设备造成短路事故等，应及时关闭冷却水总进水阀。事故等，应及时关闭冷却水总进水阀。在不可以停炉时，应迅速的将坏水管更换。以防出现大事在不可以停炉时，应迅速的将坏水管更换。以防出现大事故。故。20日常状况日常状况主要有以下几点：日常状况主要有以下几点：1.水温过高报警水温过高报警2.炉压过高报警炉压过高报警3.电极故障报警电极故障报警4.晶晃和液晃过大问题晶晃和液晃过大问题5.极限真空抽不下的问题极限真空抽不下的问题6.泄露率过大的问题泄露率过大的问题7.液压泵的问题液压泵的问题21日常状况一：日常状况一：水温过高报警水温过高报警 在拉制单晶的过程中，我们有时

8、会发现水温过高报警。产在拉制单晶的过程中，我们有时会发现水温过高报警。产生原因有生原因有:1. 冷水塔进水水温偏高冷水塔进水水温偏高2. 冷却水或管道中有杂质将局部直径较小的水管堵塞冷却水或管道中有杂质将局部直径较小的水管堵塞3. 进水和回水之间的压力值相差太小进水和回水之间的压力值相差太小 根据以上产生原因，我们分别要采用以下方法来处理：根据以上产生原因，我们分别要采用以下方法来处理：1. 向上级报告并通知冷水班将进水水温调低向上级报告并通知冷水班将进水水温调低2. 关闭并拔出堵塞处的进水管，利用回水压力冲出杂质关闭并拔出堵塞处的进水管，利用回水压力冲出杂质，再将水管复位，再将水管复位3.

9、开大进水压力。（让进出水压差为开大进水压力。（让进出水压差为1.5-2.0） 22日常状况二：日常状况二：炉压过高报警炉压过高报警 炉压过高的原因主要是：炉压过高的原因主要是：1. 真空泵油太脏或太少真空泵油太脏或太少2. 除尘筒未清理干净除尘筒未清理干净3. 真空管路太脏真空管路太脏 在没办法停炉时，我们可以采取保压，将真空泵关闭，然在没办法停炉时，我们可以采取保压，将真空泵关闭，然后迅速将真空泵、除尘筒问题处理。后迅速将真空泵、除尘筒问题处理。 （注意：时间一定要控制在（注意：时间一定要控制在10分钟之间）分钟之间）23日常状况三：日常状况三：电极故障报警电极故障报警 在装热场时，加热器和

10、电极之间有粉尘之类的东西或有直接在装热场时，加热器和电极之间有粉尘之类的东西或有直接接触。这样就会导致炉子报电极故障报警。接触。这样就会导致炉子报电极故障报警。 而在拉制单晶的熔料过程中，发生电极故障报警时，如果刚而在拉制单晶的熔料过程中，发生电极故障报警时，如果刚刚开始，停止加热，测量加热器绝缘电阻，如果正常继续加热刚开始，停止加热，测量加热器绝缘电阻，如果正常继续加热，接下来我们就要注意观察电流曲线的变化了，一旦出现波动，接下来我们就要注意观察电流曲线的变化了，一旦出现波动过大就要及时向上级报告，以防出重大的事故。过大就要及时向上级报告，以防出重大的事故。24日常状况四：日常状况四：晶晃和

11、液晃过大问题晶晃和液晃过大问题 晶晃和液晃这两种现象会发生在整个拉晶的各个阶段：引晶晃和液晃这两种现象会发生在整个拉晶的各个阶段：引晶晶/等径等径/收尾。其产生的原因有很多，主要有：收尾。其产生的原因有很多，主要有：1. 钢丝绳老化钢丝绳老化2. 提拉部位水平、对中不行提拉部位水平、对中不行3. 炉体、坩埚轴水平不行，轴摆过大炉体、坩埚轴水平不行，轴摆过大4. 坩埚轴、丝杆、导轨本身出了问题坩埚轴、丝杆、导轨本身出了问题5. 热场、气流影响热场、气流影响 针对以上的原因我们要一步一步的检查、重新调试好炉子。针对以上的原因我们要一步一步的检查、重新调试好炉子。25日常状况五：日常状况五：极限真空

12、抽不下的问题极限真空抽不下的问题 拉制单晶过程中，会发生上一炉正常，而下一炉极限真空抽不拉制单晶过程中，会发生上一炉正常，而下一炉极限真空抽不下的现象，这主要是由于：下的现象，这主要是由于：1. 单晶炉某个密封部件未装好或有破损单晶炉某个密封部件未装好或有破损2. 下真空管路有泄漏下真空管路有泄漏3. 真空泵油太脏、太少或断水真空泵油太脏、太少或断水 根据这些原因，我们就要采取：根据这些原因，我们就要采取：1. 从新安装好密封部件或将其更换从新安装好密封部件或将其更换2. 找到泄漏点并将其修复找到泄漏点并将其修复3. 将真空泵的油更换或加油，找到断水原因并修复将真空泵的油更换或加油，找到断水原

13、因并修复26日常状况六：日常状况六：泄露率过大的问题泄露率过大的问题 当极限真空可以抽下，而检漏时却泄漏过大时，其原因当极限真空可以抽下，而检漏时却泄漏过大时，其原因主要有：主要有：1. 密封圈未擦拭干净或有微损密封圈未擦拭干净或有微损2. 波纹管有漏波纹管有漏3. 炉体本身有泄漏点炉体本身有泄漏点 在检漏时我们要采取分节检漏，要做到细心、耐心。大在检漏时我们要采取分节检漏，要做到细心、耐心。大漏用静压升压检验法（泄漏率在漏用静压升压检验法（泄漏率在100MTORR以上），小以上），小漏就要用氦质谱检验法（泄漏率在漏就要用氦质谱检验法（泄漏率在100MTORR以下以下-50MTORR以上）会更

14、好的处理问题！以上）会更好的处理问题！ (注意：用氦质谱检验法时检漏次序要从上到下，从靠近注意：用氦质谱检验法时检漏次序要从上到下，从靠近检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行)27日常状况七：日常状况七：液压泵的问题液压泵的问题 当副室、炉盖和主炉室升不起、下降不了、速度太快或太当副室、炉盖和主炉室升不起、下降不了、速度太快或太慢时，我们首先要查看各限位是否正常，然后再排除电气慢时，我们首先要查看各限位是否正常，然后再排除电气故障，最后就会是液压泵的问题了。其故障原因有：故障，最后就会是液压泵的问题了。其故障原因有：1. 液压泵里的油太少，液压泵有漏油点液压泵里的油太少

15、，液压泵有漏油点2. 油压太高或太低油压太高或太低 二、单晶炉安全常识二、单晶炉安全常识安全基本原则安全基本原则树立安全第一的基本思想，贯彻安全责任重于泰山的精神。树立安全第一的基本思想，贯彻安全责任重于泰山的精神。对于安全的保障要以预防为主，当安全事故发生时要按照应对于安全的保障要以预防为主，当安全事故发生时要按照应急预案，服从统一指挥，以达到最大限度的自救，做到提前急预案，服从统一指挥，以达到最大限度的自救，做到提前发现问题并及时整改。发现问题并及时整改。要以优先保护人身安全、优先保护大多数人身安全、优先保要以优先保护人身安全、优先保护大多数人身安全、优先保护贵重财产为主的抢救原则。护贵重

16、财产为主的抢救原则。要达到使紧急情况不扩大，尽可能地排除它们、尽可能地减要达到使紧急情况不扩大，尽可能地排除它们、尽可能地减少事故造成的人员伤亡和财产损失。少事故造成的人员伤亡和财产损失。安全事故分类安全事故分类根据单晶炉区的生产流程和工作环境对可能发生的事故作根据单晶炉区的生产流程和工作环境对可能发生的事故作如下分类：如下分类：A类：会危及人员生命安全和引起重大财产损失的事故类：会危及人员生命安全和引起重大财产损失的事故B类：对人员产生较严重伤害以及较严重的设备事故类：对人员产生较严重伤害以及较严重的设备事故C类：对人员不会产生严重伤害以及轻微设备事故类：对人员不会产生严重伤害以及轻微设备事

17、故A类事故类事故区域性断水断电区域性断水断电电气意外短路起火电气意外短路起火漏硅漏硅A类事故处理方法类事故处理方法1出现断电断水时马上通知动力部发电或冷水班启动冷却备出现断电断水时马上通知动力部发电或冷水班启动冷却备用水，保证炉子冷却水循环正常。用水，保证炉子冷却水循环正常。关闭抽空阀门，同时关闭氩气进气阀。关闭抽空阀门，同时关闭氩气进气阀。手动降坩埚手动降坩埚30-40MM，使晶体脱离液面。，使晶体脱离液面。短时间断电的话，在电源恢复正常后，启动真空泵，缓慢短时间断电的话，在电源恢复正常后，启动真空泵，缓慢打开抽空阀门，打开氩气充气阀至设定值，开启加热电源打开抽空阀门，打开氩气充气阀至设定值

18、，开启加热电源，将功率设定到熔料功率。，将功率设定到熔料功率。将须回熔的晶体按回熔操作步序操作。将须回熔的晶体按回熔操作步序操作。不须回熔的晶体按规定时间进行冷却。不须回熔的晶体按规定时间进行冷却。回熔或隔离结束后，按正常拉晶程序操作。回熔或隔离结束后，按正常拉晶程序操作。A类事故处理方法类事故处理方法2长时间断电时，先将晶体上升，再将坩埚上升至适当位长时间断电时，先将晶体上升，再将坩埚上升至适当位置，等完全冷却后再拆炉。置，等完全冷却后再拆炉。电器意外短路起火时应立即切断主电源，并大声求助，电器意外短路起火时应立即切断主电源，并大声求助，第一时间通知现场的最高领导，并报告安全办、及时抢第一时

19、间通知现场的最高领导，并报告安全办、及时抢救。救。出现漏硅时首先将加热器和真空泵关闭，再打开快充氩出现漏硅时首先将加热器和真空泵关闭，再打开快充氩气至常压，最后打开炉膛进行快速冷却。气至常压，最后打开炉膛进行快速冷却。B类事故类事故炉体局部超温炉体局部超温炉体冷却水水管爆裂或脱落炉体冷却水水管爆裂或脱落区域性电力闪断或水压气压偏低区域性电力闪断或水压气压偏低B类事故处理方法类事故处理方法单晶炉局部超温，设备会第一时间发出报警并在模拟面板单晶炉局部超温，设备会第一时间发出报警并在模拟面板上指示出具体超温位置，操作人员应及时报告班组长或机上指示出具体超温位置，操作人员应及时报告班组长或机修人员进行

20、疏通。修人员进行疏通。水管爆裂或脱落主要发生在炉体某部位运动中，即停炉后水管爆裂或脱落主要发生在炉体某部位运动中，即停炉后，为了防止冷却水对硅料造成污染或对电器设备造成短路，为了防止冷却水对硅料造成污染或对电器设备造成短路事故等，应及时关闭冷却水总进水阀。事故等，应及时关闭冷却水总进水阀。应当按照相关操作规程操作，并由班里指定人员通知相关应当按照相关操作规程操作，并由班里指定人员通知相关部门和领导。部门和领导。C类事故类事故硅料、冷坩埚碎片掉入眼中硅料、冷坩埚碎片掉入眼中被高温烫伤被高温烫伤员工工作时不慎的压伤、摔伤、扭伤。员工工作时不慎的压伤、摔伤、扭伤。C类事故处理方法类事故处理方法第一时

21、间分开眼睑叫他人用嘴吹去或用纸巾粘除，切记不第一时间分开眼睑叫他人用嘴吹去或用纸巾粘除，切记不可用手擦，并同时叫周边员工报告班组长，由现场管理值可用手擦，并同时叫周边员工报告班组长，由现场管理值班人员进行评估，必要时报告厂安全办。班人员进行评估，必要时报告厂安全办。烫伤时应当立即用自来水冲洗烫伤时应当立即用自来水冲洗30分钟左右，处理不了的应分钟左右，处理不了的应及时报告班组长和现场管理值班人员。及时报告班组长和现场管理值班人员。压伤、扭伤、摔伤时应立即进行简单处理，不能处理的通压伤、扭伤、摔伤时应立即进行简单处理，不能处理的通知班组长何现场管理值班人员。知班组长何现场管理值班人员。单晶机修安全操作规程（暂）单晶机修安全操作规程（暂）严格执行公司的安全工作规程。严格执行公司的安全工作规程。积极配合操作工处理炉子出现的问题，保证设备完好运转。积极配合操作工处理炉子出现的问题，保证设备完好运转。维修设备时，必须挂上严禁开机类的安全标示牌，必要时切维修设备时，必须挂上严禁开机类的安全标示牌，必要时切断电