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文档简介

1、关于直拉单晶棒少子寿命的检测第一张，PPT共十二页，创作于2022年6月检测依据及设备、原理检测作业指导书检测数据分析234采样及其样品处理1检测报告书5第二张，PPT共十二页，创作于2022年6月采样及其样品处理一、采样1、单晶棒2、单晶片：取头部、中部、尾部各三片，要具有代表性二、样品处理1、试样待测面用2842m或2028m金刚砂研磨或喷砂。2、 对圆片试样，用514m氧化铝或金刚砂研磨上下表面。第三张，PPT共十二页，创作于2022年6月检测依据第四张，PPT共十二页，创作于2022年6月检测设备射线晶体定向仪原理： 如果波长为的单色X射线入射到晶体上，要使其能在某晶面产生衍射，使得该

2、晶面的放置位置相对于入射X射线来说满足布喇格方程2dsin=n，对不同结构的晶体和不同的晶面其衍射线出现的方位不同，在与入射线的角度为2的位置上便会出现衍射线，根据衍射线的方位就能确定晶体的取向。 X射线的性质： 感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能力强、X射线的折射率近似等于1、 衍射作用第五张，PPT共十二页，创作于2022年6月一台X射线定向仪主要由下几个部份组成： （1）X射线发生部分（2）X射线检测部分（3）样品台及转角测量部分第六张，PPT共十二页，创作于2022年6月检测作业指导书1、对晶体要求：在检测前首先确认被测晶体是否为单晶；定向前需先判断定向面的大致取向，如无法判定则可先

3、假定一个，逐一实验，直到找到正确晶面；记住样品假定的方向。2、实验仪器：X射线定向仪、硅片第七张，PPT共十二页，创作于2022年6月3、实验步骤： 用前，开机预热5-10min；查表，找与之对应的布喇格角；调节盖革计数管放置在2的位置上；开x光电源，按下开关，调电压，0.8-1.0A之间；开气阀，吸上标准石英，拉开x光挡板，调数率旋钮，摇动手轮找到峰值；换硅片，重复第5步操作；当计数表达到峰值，记下转角，求水平偏离角，旋180，重复上面步骤，两次测量结果取平均值；将样品位置复原后，旋转90 后，重复操作，测得两个垂直的偏离角，取平均值利用 公式，当 时，计算出 值第八张，PPT共十二页，创作于2022年6月数据分析第九张，PPT共十二页，创作于2022年6月第十张，PPT共十二页，创作于2022年6月Thank you !第十

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