超高速超精密加工技术课件

1、超高速及超精密加工技术 工程训练中心 姓名：党长春 学号：2162224026 超高速加工技术高速加工的概念与特征高速加工的切削速度范围高速加工的切削理论高速切削加工的优点和应用高速切削加工的关键技术高速加工技术： 采用超硬材料的刀具和磨具，能可靠地实现高速运动的自动化制造设备，极大地提高材料的切除率，并保证加工精度和加工质量的现代制造加工技术。 超高速加工包括超高速切削和超高速磨削。 超高速切削（Super High-speed Cutting）:采用比常规速度高得多的切削速度进行加工的一种高效新工艺方法。以切削速度和进给速度界定： 高速加工的切削速度和进给速度为普通切削的510倍。以主轴转

2、速界定：高速加工的主轴转速10000 r/min。高速加工的概念与特征切削力低 切削变形小，切屑流出速度加快，切削力 比常规降低30-90%，可高质量地加工出薄壁零件； 高速加工的特点材料切除率高 单位时间内切除率可提高3-5倍；图 3 加工零件高精度 切削激振频率远高于机床系统固有频率， 加工平稳、振动小；减少工序 工件加工可在一道工序中完成，称为 “一次过”技术（One pass machining）。 A为高速切削加工时的热传导过程 B为传统加工的热传导过程 图4 热传导对比图热变形小 温升不超过3C，90%切削热被切屑带走；高速切削加工应用（1）航空航天领域。 大型整体结构件、薄壁类零

3、件和叶轮零件等。 波音公司的F15战斗机的起动减速板铝合金整体零件： 整体零件“掏空”， 切除量大 零件有薄壁，要求小 切削力 小直径刀具 较长的刀具悬伸 高速铣削典型工件（3）模具制造。 采用高速加工缩短模具制作周期（日产汽车公司）与最终尺寸差值/mm加工时间 100 %1010.10.010.001粗加工精加工手工精修传统加工方法高速切削少量手工精修 （4）难加工材料领域。硬金属材料（HRC5562），可代替磨削，精度可达IT5IT6级，粗糙度可达0.21um。 （5）超精密微细切削加工领域。粗铣整体铝板；精铣去口；钻680个直径为3mm的小孔。 时间为32min。 高速切削加工医用药盒前

4、辅助轴承电主轴双面轴向推力轴承前径向轴承后径向轴承后辅助轴承前径向传感器后径向传感器轴向传感器图18 磁浮轴承高速主轴 磁浮轴承主轴结构 2.快速进给系统 具有大的加减速度以及高的定位精度。 普遍采用交流伺服电机代替直流伺服电机。 快速进给速度：VCN510C-加工中心进给速度：36m/min. VMC650立式加工中心进给速度：10m/min. CAK6136V/750快速进给速度：7.6m/min 工作进给速度：高规格的加工中心快速进给速度可达到 60m/min. 工作进给速度低于40m/min. 3.超高速加工用刀具、磨具 超高速加工用刀具、磨具主要指超高速铣削用刀具和超高速磨削用砂轮。

5、 技术要求：较强的硬度和耐磨性、较高的强度和韧性、高的耐热性和抗冲击性。 刀具切削刃主要材料：聚晶金刚石（PCD）、立方氮化硼（CBN）、氧化硅陶瓷材料。金刚石刀具1957年美国通用电器(GE) 公司采用与金刚石制造方法相似的方法，合成于第二种超硬材料立方氮化棚(CBN)。CBN有单晶体和多晶体之分，即CBN 单晶和聚晶立方氮化棚( 简称PCBN)。CBN与金刚石的硬度相近，又具有高于金刚石的热稳定性和对铁族元素的高化学稳定性。各种焊接的PCBN刀具立方氮化硼刀具 精密加工与超精密加工的发展（Taniguchi，1983）普通加工精密加工超精密加工超高精密磨床超精密研磨机离子束加工分子对位加工

6、车床,铣床卡尺加工设备测量仪器精密车床磨床百分尺比较仪坐标镗床坐标磨床气动测微仪光学比较仪金刚石车床精密磨床光学磁尺电子比较仪超精密磨床精密研磨机激光测长仪圆度仪轮廓仪激光高精度测长仪扫描电镜电子线分析仪加工误差（m）10010110210-210-110-3190019201940196019802000年份精密与超精密加工定义 精密与超精密加工技术是一个国家制造业水平重要标志例：美国哈勃望远镜形状精度0.01m；超大规模集成电路最小线宽0.1m，日本金刚石刀具刃口钝圆半径达2nm 精密加工与超精密加工技术是先进制造技术基础和关键例：美国陀螺仪球圆度0.1m，粗糙度Ra0.01m，导弹命中精

7、度控制在50m范围内；英国飞机发电机转子叶片加工误差从60m降至12m，发电机压缩效率从89%提高到94%；齿形误差从3-4m减小1m，单位重量齿轮箱扭矩可提高一倍 精密与超精密加工的地位金刚石车床加工4.5mm陶瓷球 金刚石车床及其加工照片精密与超精密磨削 磨削是保证产品的精度和质量的最后一道工序。 超精密磨削和磨料加工是利用细粒度的磨粒和微粉对硬脆材料进行加工的方法。 砂轮材料：金刚石，立方氮化硼（CBN） 可加工各种高硬度、高脆性金属及非金属材料（铁金属用CBN） 耐磨性好，耐用度高，磨削能力强，磨削效率高 磨削力小，磨削温度低，加工表面好 特点： 分整形与修锐（去除结合剂，露出磨粒）两

8、步进行 常用方法: 用碳化硅砂轮（或金刚石笔）修整，获得所需形状； 电解修锐（适用于金属结合剂砂轮），效果好，并可在线修整 砂轮修整：2、超精密砂轮磨削技术砂带：带基材料为聚碳酸脂薄膜，其上植有细微砂粒。砂带在一定工作压力下与工件接触并作相对运动，进行磨削或抛光。有开式和闭式两种形式，可磨削平面、内外圆表面、曲面等（图2-11）。接触轮硬磁盘装在主轴真空吸盘上图2-9 砂带磨削示意图V砂带砂带轮卷带轮F-径向进给f-径向振动3、 精密与超精密砂带磨削 几种常见砂带磨削方式a）砂带无心外圆磨削（导轮式） 工件导轮接触轮主动轮砂带工件接触轮主动轮砂带b）砂带定心外圆磨削（接触轮式）c）砂带定心外圆

9、磨削（接触轮式）工件接触轮主动轮砂带接触轮砂带工件d）砂带内圆磨削（回转式）工件支承板主动轮砂带工作台e）砂带平面磨削（支承板式）f）砂带平面磨削（支承轮式）支承轮工件砂带接触轮 4.超精密研磨与抛光 研磨和抛光都是利用研磨剂使工件与研具之间通过相对复杂的轨迹而获得高质量、高精度的加工方法。 1、研磨加工的机制和特点 研磨加工，通常是使用在1m到十几m大小的氧化铝和碳化硅等磨粒和铸铁等硬质材料的研具之间并借助机床提供的复杂运动，实现零件表面加工轨迹高度不重合。 研磨时磨粒的工作状态有以下三种： 1）磨粒在工件与研具之间进行转动。 2）由研具支承磨粒研磨加工面。 3）由工件支承磨粒研磨加工面。

10、2、抛光加工的机制和特点 抛光也和研磨一样，是将研磨剂擦抹在抛光器上对工件进行抛光加工。但是，抛光使用是磨粒是1m以下的微细磨粒，而抛光器则需使用沥青、石蜡、合成树脂、人造革、等软质材料制成，即使抛光硬脆材料也能加工出一点裂纹也没有的镜面。 3、超精密研磨和抛光的主要新技术（1）超精密研磨研磨普通的硬脆材料时，由于有微细的破碎，生成的切屑参于研磨。但是，如果研磨金属材料时，则没有破碎，而由磨粒取代进行研磨。由于塑性变形生成切屑，利用微细的磨粒研磨经热处理研化的金属材料和经烧结的超硬材料时，加工单位变小，可用于抛光那样表面零件的加工。由于研具是硬质材料，对工件来说，塌边越小，加工精度越高。（2）超精密抛光（3）液中研磨液中研磨法是将经过超精密抛光或研磨的零件浸入在含磨粒的研磨剂中进行，在充足的加工液中，借助水波效果，利用浮游的细小磨粒进行加工，并对磨粒作用部分所产生的热有极好的冷却效果，对研磨时产生的微小冲击也有缓冲效果。利用微细的磨刃、磨粒和聚氨酯研具研磨硅片时，可以得到无损伤高质量的镜面。（）机械化学研磨机械化学研磨加工机制是利用化学反应进行机械研磨，有湿式和干式两种研磨方法。（）化学机械抛光化学机械抛光是一种利用研磨液的腐蚀作用和磨粒的机械作用双重作用的研磨方法。不使用磨粒而只利用具有腐蚀效果的加工液进行摩擦抛光的