洁净室室系统介绍实用课件

1、洁净室室系统介绍实用洁净室室系统介绍实用洁净室系统介绍2目录洁净室的定义及级别划分洁净室的分类洁净室的构造洁净室的主要控制参数洁净室主要设备介绍洁净室的能耗和节能洁净室系统介绍4目录洁净室的定义及级别划分31.洁净室定义洁净室是指，将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。不论外在之空气条 件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室的定义及级别划分51.洁净室定义不论外在之空气条 件如洁净室的定义及级别划分4

2、2.洁净室等级划分关于洁净室的等级世界各国均有自己的规定，现在仅介绍两种应用比较普遍的划分方法，并给出ISO 14644-1及美国联邦209E对照表以1ft3（立方英尺）为单位空间，直径的尘埃粒子为比较标准，即洁净室级别划分标准Class 10.5um的微粒子少于1个Class 100.5um的微粒子少于10个Class 1000.5um的微粒子少于100个Class 10000.5um的微粒子少于1000个Class 100000.5um的微粒子少于10000个洁净室的定义及级别划分62.洁净室等级划分洁净室级别划分标准我们公司采用此种加湿方式照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。温度对生产工艺

3、的影响，主要是从产品精度和合格率来考虑的。控制洁净车间温湿度、洁净度及压力的系统。洁净室的影响因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材料、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。空气过滤器过滤级别比较洁净室的定义及级别划分对于大部分洁净室，为了防止外界污染的侵入，需保持室内压力（静压）高于外部的压力（静压），压力的维持一般应符合以下原则：冲孔板：开孔率17%25%ISO14644-1（国际标准）洁净室的定义及级别划分风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以一定的风速均匀送出，使空气达到净化过滤的目的。不同级别过滤器过滤效率、过滤粒径及初

4、阻力的对比送风、供水、排气等动力设备所消耗的能量矢流洁净室：由扇形高效过滤器圆心沿各方向半径送出的具有相同速度的矢量流，应用这种气流的洁净室称为矢流洁净室。能承载以及配合其他相关系统的操作，如过滤风扇、洒水喷头等。隔墙板系统（Partitional wall）：包括窗户、门。隔墙板系统（Partitional wall）：包括窗户、门。洁净室的定义及级别划分5美国联邦209E以1m3为单位空间，直径的尘埃粒子为比较标准，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M3以此类推，M字母之后的阿拉伯数字是以每立方公尺中的微尘粒子数目以10的幂次方表示，并取指数为之，若微尘粒子述介于前后二者完全幂次之间，

5、则以、3.5表示我们公司采用此种加湿方式洁净室的定义及级别划分7美国联邦2洁净室的定义及级别划分6洁净室的定义及级别划分8洁净室的定义及级别划分7ISO14644-1（国际标准）洁净室的定义及级别划分9ISO14644-1（国际标准）洁净室的定义及级别划分8各国洁净度等级近似对照表洁净室的定义及级别划分10各国洁净度等级近似对照表彩钢板吊顶：级别较低无尘室洁净室的定义及级别划分该产品即可以悬挂，又可地面支撑，结构紧凑，使用方便。控制洁净车间温湿度、洁净度及压力的系统。洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋混凝土或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下条件：为平衡洁净室所产生热湿负荷消耗的能量不同级

6、别过滤器过滤效率、过滤粒径及初阻力的对比洁净室维护防静电：即用高导电率材料来建造洁净室的维护（墙、顶、地）静电聚集放电会诱发火灾和爆炸，影响洁净室安全洁净室的定义及级别划分岩棉夹芯板：防火性能佳眩光 （glare）：是指视野中由于不适宜亮度分布，或在空间或时间上存在极端的亮度对比，以致引起视觉不舒适和降低物体可见度的视觉条件，是关于照明质量的指标。以1ft3（立方英尺）为单位空间，直径的尘埃粒子为比较标准，即我们公司采用此种加湿方式湿度低于30%，静电力作用使粒子吸附在物体表面，还会是半导体器件发生击穿。洁净室的分类9洁净室的分类一般有运行状态、气流组织及用途三种依据，即，洁净室运行状态气流组

7、织用途空态静态动态单向流乱流混合流矢流工业洁净室生物洁净室一般生物洁净室生物学安全洁净室水平单向流垂直单向流彩钢板吊顶：级别较低无尘室洁净室的分类11洁净室的分类一般有洁净室的分类101.按照运行状态分类空态已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。静态各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室（设施），但是设施内没有操作人员。动态处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，可从事正常的工作。洁净室的分类121.按照运行状态分类洁净室的分类112.按照气流组织分类单向流洁净室，又称层流（La

8、minar）、活塞流等。 空气气流运动成一均匀直线，空气由覆盖率100%的过滤器进入室内，并由高架地板或者两侧隔墙板回风，此形式适用于洁净室等级需求较高的环境，一般洁净室等级为Class 1100。其又可以分为两种形式，即，a.水平单向流：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外。一般在下侧污染较严重。优点：构造简单，运行后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用高，室内空间不易扩充。洁净室的分类132.按照气流组织分类洁净室的分类12b.垂直单向流：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得到较高的洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室

9、外而不会影响其他工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达到稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板的吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。洁净室的分类14b.垂直单向流：房间天花板完全以ULPA过滤洁净室的分类13乱流洁净室：空气由空调箱经风管与洁净室内之过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔离墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此形式适用于洁净室等级1000-100000级。优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室扩充比较容易，在某些特殊场合可并用无尘工作台，提高洁净等级缺点：乱流造成的微粒子在室内空间漂浮

10、不易排出，易污染制程产品。另外，若系统停止运转再激活，需要较长一段时间才能达到需求洁净度洁净室的分类15乱流洁净室：空气由空调箱经风管与洁净室内之洁净室的分类14自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室室内含尘浓度达到所涉及的净化级别的时间。换气次数=房间送风量/房间体积，单位是次/小时。换气次数的大小不仅与空调房间的性质有关，也与房间的体积、高度、位置、送风方式以及室内空气变差的程度等许多因素有关，是一个经验系数。洁净室级别希望自净时间/min计算自净时间/min100020151000030251000004030洁净室的分类16自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室

11、的分类15复合式洁净室（Mixed Type ），又称混合流洁净室，为将乱流式和层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。a.洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或者ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖，使洁净度等级级提高到10级以上，可节省安装运转费用此形式需将作业人员的工作区域与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作和品质，ULSI制程常用此种形式。洁净隧道另有两项优点：A.弹性扩充容易 B.维修设备时可在维修区请以进行。b.洁净管道（Clean Tuube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提高至100级以上。因产品和作业人员及

12、发尘环境隔离，少量送风即可得到良好之洁净度，可节约能源，不需要人工的自动化生产线最适宜使用。药品、食品工业及半导体业界均适用。洁净室的分类17复合式洁净室（Mixed Type ），又洁净室的分类16c.并装局部洁净室（Clean Spot）：将洁净室等级10000100000之乱流洁净室内的制程区的洁净度等级提高为101000级以上以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台：等级Class 1100级洁净工作棚：为在乱流式洁净室内以防静电之透明塑料布围城以小空间，采用独立的HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高等级的洁净空间其等级为101000级，高度在，覆盖面

13、积在10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。洁净室的分类18c.并装局部洁净室（Clean Spot）：17矢流洁净室：由扇形高效过滤器圆心沿各方向半径送出的具有相同速度的矢量流，应用这种气流的洁净室称为矢流洁净室。此类洁净室理论研究不多，并且应用实例较少，大多在欧美。矢流洁净室的净化原理不同于乱流的稀释作用，也不同于单向流的活塞作用。它是靠流线（迹线） 不交叉的气流斜推作用，将室内空气排出室外，已达到净化的目的。国内外研究表明，它可以达到ISO5级，在某些场合可替代单向流洁净室。洁净室的分类19矢流洁净室：由扇形高效过滤器圆心沿各方向半径送出的具有18洁净室的分类不同洁净级别洁净厂

14、房的送风量、冷量投资耗电的指标20洁净室的分类不同洁净级别洁净厂房的送风量、冷量投资耗电的19洁净室的构成是由下列各项系统所组成，在所组成的系统分子中是缺一不可的，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。1.天花板系统：包括吊杆（Celing rod）、纲梁（I-Beam或U-Beam）、天花格子梁（Ceiling grid或Ceiling frame）。2.空调系统：包括空气仓、过滤器系统、风车等。3.隔墙板系统（Partitional wall）：包括窗户、门。4.地板：包括高架地板或防静电舒美地板（华夫板）5.照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。洁净室的构造21洁净室的构成是由下列各项系统

15、所组成，在所组成的系统分子中20洁净室的构造22洁净室的构造21洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋混凝土或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下条件：A.不会因温度变化与振动而发生裂痕B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子C.吸湿性小D.为了维持洁净室内之温湿度条件，热绝缘性要高洁净室的构造23洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋混凝土或骨水泥，但无论221.天花板特点功能：由轻质合金铝料构成，重量轻，负荷强度高一级变形量低的特点。能承载以及配合其他相关系统的操作，如过滤风扇、洒水喷头等。用途：a.彩钢板吊顶：级别较低无尘室b.Ceiling Grid系统 铝合金龙骨+盲板系统，用于高级别无尘室铝

16、合金龙骨表面经阳极化处理洁净室的构造241.天花板洁净室的构造232.空调系统控制洁净车间温湿度、洁净度及压力的系统。室外空气经过空调器处理后，由风机经风管 送入各个房间。MAU（新风机组）+FFU（风机过滤单元）+（干盘管）洁净室的构造静压箱生产层下技术夹层洁净室风机过滤单元干盘管回风井道252.空调系统洁净室的构造24.隔墙板：双层净化板特点功能：采用优质钢板及特殊层钢板，内夹高密度聚氨酯。优点：节能、环保、经济美观保温、隔热性能好；整体刚性好，承载力高；连接合理简便，施工费用低常用材料为：彩钢夹芯板按照夹芯材料的不同分为：a.岩棉夹芯板：防火性能佳b.聚苯乙烯夹芯板：经济c.蜂巢板（铝蜂

17、巢、纸蜂巢及陶瓷蜂巢）：强度好洁净室的构造26.隔墙板：双层净化板洁净室的构造254.地板：环氧树脂、PVC地面优点：附着力强、无缝、防尘、防潮、耐油污、韧性好、强度高、耐磨、耐化学腐蚀、耐化学品液、易清洁、保养容易、达镜面效果。地板类型环氧自流平EPOXYPVC地砖高架地板a.冲孔板：开孔率17%25%b.隔栅板板：40%50%c.盲板：不开孔洁净室的构造274.地板：环氧树脂、PVC地面洁净室的构造265.照明：主要作用是使工作活动清晰可见，从而形成安全、舒适、有效的工作条件包含：普通照明、黄光灯、应急照明等洁净室的构造照度（illumination）：光照强度的简称，是一种物理术语，指单

18、位面积上所接受可见光的能量，是关于照明量的指标，单位勒克斯（Lux或Lx）。可通过照度计来测量。眩光 （glare）：是指视野中由于不适宜亮度分布，或在空间或时间上存在极端的亮度对比，以致引起视觉不舒适和降低物体可见度的视觉条件，是关于照明质量的指标。285.照明：洁净室的构造照度（illumination）：27由洁净室的定义可知，洁净室的主要控制参数有以下几种，即：洁净室的主要控制参数洁净室洁净度温度湿度压力静电气流噪音振动照度29由洁净室的定义可知，洁净室的主要控制参数有以下几种，即：281.洁净度洁净度指洁净空气中空气含尘（包括微生物）量多少的程度，单位为pc/m3。我们一般用洁净度来

19、衡量洁净室的空气质量，同时，洁净度也是洁净室洁净等级划分的依据。洁净室的主要控制参数尘埃粒子直径示意图301.洁净度洁净室的主要控制参数尘埃粒子直径示意图29洁净室尘埃粒子的来源洁净室的主要控制参数31洁净室尘埃粒子的来源洁净室的主要控制参数30洁净室尘埃粒子的去除尘埃粒子的去除是靠过滤器多级过滤实现的，而决定无尘室洁净度大小的是末端过滤器，末端过滤器过滤等级越高（Hepa、Ulpa），满布比越大，无尘室的洁净等级也就越大，反之亦然。其他低级别过滤器的设置主要是为了保证和延长末端过滤器的使用寿命。洁净室的主要控制参数32洁净室尘埃粒子的去除洁净室的主要控制参数31不同级别过滤器过滤效率、过滤粒

20、径及初阻力的对比洁净室的主要控制参数过滤器级别过滤粒径效率效率（%）初阻力Pa初效过滤器对5um微粒子80E2050中效过滤器对1um微粒子70E2080高中效过滤器对1um微粒子99E70100亚高效过滤器对0.5um微粒子E95120高效过滤器对0.5um微粒子E99.99220超高效过滤器对0.1um微粒子E99.99928033不同级别过滤器过滤效率、过滤粒径及初阻力的对比洁净室的主32空气过滤器过滤级别比较洁净室的主要控制参数34空气过滤器过滤级别比较洁净室的主要控制参数332.温度、湿度洁净室的温、湿度主要是根据工艺要求来确定的，在满足工艺要求的条件下，还应满足人员的舒适感。温度对

21、生产工艺的影响，主要是从产品精度和合格率来考虑的。洁净室的主要控制参数湿度的影响很多，如： a.湿度过高，冷却水管壁上容易结露，水滴会引起各类事故b.湿度过高，物体表面灰尘难以清除c.湿度低于30%，静电力作用使粒子吸附在物体表面，还会是半导体器件发生击穿。无尘室热量来源352.温度、湿度洁净室的主要控制参数湿度的影响很多，如：无341）温度控制原理a.升温：常用空气加热器或电加热器处理空气，在处理过程中，空气的温度增加，但含湿量没有发生变化，又称为干式加或等湿加热热。b.降温干式冷却：用表面温度低于空气温度却又高于空气露点温度的空气冷却器来处理空气的过程。处理过程中不产生冷凝水，常用DCC（

22、干盘管）来实现这一过程减湿冷却：用温度低于空气露点温度的空气冷却器来处理空气的过程，空气中的水蒸气凝结为水，温度降低的同时相对湿度升高，绝对湿度降低洁净室的主要控制参数361）温度控制原理洁净室的主要控制参数352）湿度控制原理a.除湿处理过程见“减湿冷却”b.加湿洁净室的主要控制参数等焓加湿：利用喷水室喷循环水处理空气时，水吸收空气的热量蒸发成水蒸气进入空气，使空气失去显热的同时，增加了潜热，焓值基本保持不变，近似与等焓过程。我们公司采用此种加湿方式372）湿度控制原理洁净室的主要控制参数等焓加湿：利用喷水36洁净室的主要控制参数等温加湿：通过向空气中喷蒸汽来实现。空气中增加蒸汽后焓值和含湿

23、量均有增加。当蒸汽温度为100 时，近似等温。38洁净室的主要控制参数等温加湿：通过向空气中喷蒸汽来实现37洁净室的主要控制参数静压箱生产层下技术夹层洁净室风机过滤单元干盘管回风井道温湿度及洁净度控制示意图39洁净室的主要控制参数383.压力对于大部分洁净室，为了防止外界污染的侵入，需保持室内压力（静压）高于外部的压力（静压），压力的维持一般应符合以下原则：洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净级别低的空间的压力相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间洁净厂房设计规范规定：不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的降压差，应不小于。洁净区与室外的静压差，

24、应不小于洁净室的主要控制参数403.压力洁净室的主要控制参数394.静电1）静电的危害：产生的电磁场能击穿电子和微电子产品，造成废品静电放电产生电磁波会引起电子仪器的误动作，产生火花会使感光材料曝光静电聚集放电会诱发火灾和爆炸，影响洁净室安全2）静电的产生原因：接触带电、感应带电、流动带电、电晕带电洁净室的主要控制参数414.静电洁净室的主要控制参数403）静的消除洁净室维护防静电：即用高导电率材料来建造洁净室的维护（墙、顶、地）地面要采用由电阻值为104106导静电材料或电阻值为106109抗静电材料制作，并由良好的接地墙和顶要采用表面电阻值为106109铝蜂窝或岩棉彩钢板等金属材料制作，并

25、有良好接地 人员防静电：洁净室作业人员要穿防静电的而洁净工作服，在衣织中加入金属纤维、碳素纤维等导电材料。必要时，在手腕上配带接地腕环若生产工艺允许还可以通过提高洁净室相对湿度的办法来消除静电洁净室的主要控制参数423）静的消除洁净室的主要控制参数415.气流1）气流的重要性洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器间隔、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。这些尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此，必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。2）气流的控制洁净室气流的控制主要从两个方面来实现，即a.气流速度：风速越高气流的抗干扰的能力越强，但是，由于流速提高，运行成本也随之

26、提高，所以从经济性和适用性两方面考量，气流速度一般取之间洁净室的主要控制参数435.气流洁净室的主要控制参数42b.气流均一性若气流均一性无法保持，则表示风速有异，特别是在壁面，气流会沿着壁面发生涡流作用，很难实现洁净度的控制。3）影响因素洁净室的影响因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材料、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。洁净室的主要控制参数44b.气流均一性洁净室的主要控制参数431.风淋室、货淋室是安装于洁净室与非洁净室之间的局部净化设备。其吹出的洁净空气可去除人与货物所携带的尘埃，能有效的阻断或减少尘源进入洁净区。风淋室/货淋室的前后两道门为电子互锁，又可起到气闸的作用，阻止未净化的空气进入洁净区域。洁净室的主要设备介绍451.风淋室、货淋室洁净室的主要设备介绍442.传递窗传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间，或洁净室与洁净室之间的