镀膜基础知识课件

1、镀膜基础知识镀膜基础知识厦门驭达光电有限公司目 录一、培训意义二、培训目的三、镀膜设备平面分布图四、滑阀泵工作原理及作用五、罗茨泵工作原理及作用六、分子泵工作原理及作用2022/9/102厦门驭达光电有限公司目 录一、培训意义2022/9/4厦门驭达光电有限公司培 训 意 义11、职业培训能提高员工的工作能力2、职业培训有利于企业获得竞争优势3、职业培训有利于改善企业的工作质量4、职业培训有利于高效工作绩效系统的构建5、职业培训要可以满足员工实现自我价值的需要， 在现代企业中，员工的工作目 的更重要的是为 了“高级”需求-自我价值实现2022/9/103厦门驭达光电有限公司培 训 意 义11、

2、职业培训能提高 培训的目的就是要提升你们的职业能力，使其更好地胜任现在的日常工作及未来的工作任务。在能力培训方面，传统上的培训重点一般放在基本技能与高级技能两个层次上，但是未来的工作需要更为广泛的专业知识，培训学会知识共享，创造性地运用知识来调整产品或服务的能力。同时，培训使你们的工作能力提高，为取得良好的工作绩效提供了可能，也为你们提供更多的晋升和较高收入的机会。厦门驭达光电有限公司培 训 目 的2022/9/104 培训的目的就是要提升你们的职业能力，使其更好地胜任现在1：H150GB滑阀泵（极限真空：0.8Pa） 2：ZJP300罗茨泵 (极限真空：5*10-2 ) 3：ZJP600B罗

3、茨泵 4：ZH50G滑阀泵 5：300G罗茨泵 6：H150GB滑阀泵 7：ZJP600B罗茨泵 滑阀泵罗茨泵电阻规气缸分子泵铌Nb、硅靶SiITO靶(In2O3+SnO2氧化铟锡)插板阀厦门驭达光电有限公司14缓冲室15出片室12镀膜室13缓冲室11过度室10过度室3缓冲室2缓冲室4镀膜室9过度室8镀膜室7镀膜室1进片室6镀膜室5镀膜室123455-1764-11-12-13-1镀膜一线平面图2-12室每个箱体内有18组加热器；13室10组加热器2022/9/1051：H150GB滑阀泵（极限真空：0.8Pa） 2：厦门驭达光电有限公司14缓冲室15出片室12镀膜室13缓冲室11镀膜室10过

4、度室3缓冲室2缓冲室4镀膜室9过度室8镀膜室7镀膜室1进片室6镀膜室5镀膜室123455-1764-11-12-13-1镀膜二线平面图滑阀泵罗茨泵电阻规气缸分子泵铌Nb、硅靶SiITO靶(In2O3+SnO2氧化铟锡)插板阀旋转靶移动靶1：H150GB滑阀泵（极限真空：0.8Pa） 2：ZJP300罗茨泵 (极限真空：5*10-2 ) 3：ZJP600B罗茨泵 4：ZH50G滑阀泵 5：300G罗茨泵 6：H150GB滑阀泵 7：ZJP600B罗茨泵 2022/9/106厦门驭达光电有限公司14151213111034987651厦门驭达光电有限公司2022/9/107厦门驭达光电有限公司20

5、22/9/49厦门驭达光电有限公司1213453454541-泵体 2-轴 3-偏心轮 4-滑阀套 5-滑阀板 6-滑阀导轨 7-排气阀门2022/9/108厦门驭达光电有限公司1213453454541-泵体 2滑阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片泵一样，也是一种变容式气体传输泵。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵0.6Pa，对大泵1.3Pa（均关气镇），双级泵的极限压力0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心

6、，如果滑很好的质量平衡，在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡，减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。2022/9/109滑阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片泵一样，也是一种变容式气厦门驭达光电有限公司出现故障及解决办法 真空度不高 1、油被污染2、密封漏气3、排气阀门失灵4、有大气漏入2022/9/1010厦门驭达光电有限公司出现故障及解决办法 厦门驭达光电有限公司解决方法1、更换新真空泵油2、更换轴端密封3、修理排气阀门.或更换新阀门、阀片4、检查真空管路，修补漏气部位2022/9/1011厦

7、门驭达光电有限公司解决方法1、更换新真空泵油2022/9/厦门驭达光电有限公司泵有异常噪音和剧烈振动 1、基础不牢固2、零部件松动或损坏3、排气阀门工作不正常4、异物落入泵内5、轴承磨损或润滑不良6、严重漏气2022/9/1012厦门驭达光电有限公司泵有异常噪音和剧烈振动 1、基础不牢固2厦门驭达光电有限公司2022/9/1013厦门驭达光电有限公司2022/9/415厦门驭达光电有限公司罗茨真空泵的结构工作示意图2022/9/1014厦门驭达光电有限公司罗茨真空泵的结构工作示意图2022/9/厦门驭达光电有限公司ZJ系列罗茨泵的结构如上图所示。在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在

8、一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体

9、压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。工作原理2022/9/1015厦门驭达光电有限公司ZJ系列罗茨泵的结构如上图所示。在泵腔内厦门驭达光电有限公司如图为罗茨泵转子由0转到180的抽气过程。在0位置时（图中a），下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45位置时（图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90位置时（图中c），下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135时（图中d），上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180（图e）位置和0位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个

10、v0体积的气体。2022/9/1016厦门驭达光电有限公司如图为罗茨泵转子由0转到180的抽气厦门驭达光电有限公司1转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙，互不接触，不需要用油润滑。2转子具有良好的几何对称性,可以提高转速,从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。3泵工作时振动小,容积大,容积利用系数0.5左右。4在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象,因此它不需要排气阀。也正因如此，可抽除可凝性蒸汽。5启动快，能够在短时间内达到极限真空。功率小，运转维护费用低。6罗茨泵在很宽的压力范围内（1000Pa1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵(1000Pa1Pa

11、)时抽速都很小的缺陷。因此,它最适合作增压泵用。罗茨泵的特点是2022/9/1017厦门驭达光电有限公司1转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间厦门驭达光电有限公司使用特点ZJ罗茨真空泵的最大优点是在较低人口压力时对具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，必须有一台前级泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时，罗茨真空泵才能开始工作，并且在一般情况下，罗茨真空泵不允许高压差时工作，否则将会过载和过热而损坏，因此使用罗茨真空泵时必须合理地选用前级真空泵，安装必须要的保护设备 2022/9/1018厦门驭达光电有限公司使用特点ZJ罗茨真空泵的最大优点是在较低厦门驭达光电有限公

12、司出现故障及解决办法 极限压力不高1、管道、系统漏气2、泵部分漏气3、前级泵极限压力下降4、润滑油太脏或牌号不符5、油封磨损6、溢流阀漏气2022/9/1019厦门驭达光电有限公司出现故障及解决办法 解决方法系统检漏对泵检漏修理或更换前级泵调换润滑油调换油封对溢流阀进行修理厦门驭达光电有限公司2022/9/1020解决方法系统检漏厦门驭达光电有限公司2022/9/422厦门驭达光电有限公司声音异常 1、装配不良2、导向齿轮与转子位置偏移使转子相碰3、入口压力过高4、过载或润滑不良造成齿轮损伤5、轴承磨损 2022/9/1021厦门驭达光电有限公司声音异常 1、装配不良2022/9/42厦门驭达

13、光电有限公司解决方法1、重装2、调整位置，保证间隙3、调整、控制入口压力4、调换齿轮5、调换轴承 2022/9/1022厦门驭达光电有限公司解决方法1、重装2022/9/424厦门驭达光电有限公司电动机过载 1、入口压力不高2、转子端面现端盖单面接触3、前级泵返油进泵腔4、溢流阀卡住，使出口过高2022/9/1023厦门驭达光电有限公司电动机过载 1、入口压力不高2022/9厦门驭达光电有限公司解决方法1、调整、控制入口压力2、调整转子端面间隙3、装置防返油设备4、对溢流阀进行清理2022/9/1024厦门驭达光电有限公司解决方法1、调整、控制入口压力2022/厦门驭达光电有限公司2022/9

14、/1025厦门驭达光电有限公司2022/9/427厦门驭达光电有限公司二、分子泵原理、结构分子泵原理分子泵是一种动量型真空获得设备，在分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，最后被抽除。2022/9/1026厦门驭达光电有限公司二、分子泵原理、结构分子泵原理2022/厦门驭达光电有限公司2022/9/1027厦门驭达光电有限公司2022/9/429厦门驭达光电有限公司二、分子泵原理、结构 分子泵结构按抽气特性结构分类涡轮分子泵 涡轮级动、静叶列复合型分子泵 涡轮级+拖动级 按使用特点分类风冷型：中小型分子泵水冷型：中大型分子泵防腐型：抽除腐蚀

15、性气体2022/9/1028厦门驭达光电有限公司二、分子泵原理、结构 分子泵结构按抽气特厦门驭达光电有限公司二、分子泵原理、结构 分子泵结构按制造结构分类 油润滑 脂润滑 磁悬浮 2022/9/1029厦门驭达光电有限公司二、分子泵原理、结构 分子泵结构按制造结厦门驭达光电有限公司二、分子泵原理、结构 分子泵结构精密的转子制造精密的动、静间隙配合高精度的轴系加工高精度轴承精密的整机平衡可靠的阻尼减振系统高效的变频电机、冷却系统2022/9/1030厦门驭达光电有限公司二、分子泵原理、结构 分子泵结构精密的转厦门驭达光电有限公司 分子泵特点连续抽除气体节省能源可获得清洁的真空对被抽气体无选择性，

16、对各种类气体，抽速变化不大起停机时间短振动小，噪音低操作维护方便，免维护周期长复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速2022/9/1031厦门驭达光电有限公司 分子泵特点连续抽除气体2022/9/4厦门驭达光电有限公司 分子泵特点油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。脂润滑分子泵：油脂量极小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。2022/9/1032厦门驭达光电有限公司 分子泵特点油润滑分子泵：润滑油量小，且KYKY分子泵型号及意义F F - / 特征代号（ 空、T、N、F、 Z） 抽气速率, L/s 抽

17、气口通径, mm 复合代号 分子泵代号厦门驭达光电有限公司2022/9/1033KYKY分子泵型号及意义F F - / KYKY分子泵种类 涡轮泵 按结构分 复合泵 油润滑 润滑方式 脂润滑 风冷 冷却方式 风水两用泵 水冷 普通泵 功能 防腐蚀泵厦门驭达光电有限公司2022/9/1034KYKY分子泵种类 涡轮泵 厦门驭达光电有限公司2022/9/1035厦门驭达光电有限公司2022/9/437电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，并在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动，该电子的运动路径很长，在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低，摆脱磁力线的束缚，远离靶材，最终沉积在基片上。 电子运动路径变长，与Ar原子碰撞几率增加， 提高溅射效率。电子只有在其能量将耗尽时才会落到基片上，