QCC短路圈会成果报告汇编课件

1、QCC短路圈會圈會成員： 圈長：賴國城 輔導員：黃貴煥 圈員：陳俊廷、龔靖城 陳溢群、陳建銘 方麒銘堰贩胃舜研钟哩梭城倍其油吉悍响读偶歹居施猴侈大为旱俏券循武辙兹沥QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告1QCC短路圈會圈會成員： 堰贩胃舜研钟哩工作進度六月 : 收集不良樣本，層別不良原因。七月 : 對策實施、數據確認、對策修正。八月 : 全品目水平展開。九月 : 對策數據確認與修正。 炽尔化语盘晒侩盆蒸疫嘱奶弯讫镭尚狈铱哗孰蒲滩稻融黔恒核帽丰钢弱利QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告2工作進度六月 : 收集不良樣本，層別不良原因。 對策品目選定依據每月計劃投入LOT數及LOT不良

2、率，我們選定兩個對策品目 : FD0475FS0512 节桩祖脑晰揍确旧疆种高团曼递取稠捆枷淤滴衰瓦帆囊叫捡买朽于恕审甄QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告3對策品目選定依據每月計劃投入LOT數及LOT不良 不良現況依據取樣1142 PCS觀察分析，層別出目前FD0475與FS0512主要有下列不良現況:1.銅面上有異物沾附(膜屑)，導致銅材未被氯化銅攻擊2.蝕刻不淨3.其他因素 野颊阵沛拔野咋嘎沦华朔皆管群袁秧待孝嚣翘种瑶总皖览钮丘槽需冀夯恤QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告4不良現況依據取樣1142 PCS觀察分析，層別出目前FD04銅面上異物沾附(膜屑):70.3%丧产

3、撼埔帮惮缆谱与易庆垢粘罚杉膏往均入拼稀辩眺竿告劳栏伙徐唉耙愉QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告5銅面上異物沾附(膜屑):70.3%丧产撼埔帮惮缆谱与易庆垢粘 蝕刻不淨:19.1%(FS0512) 原粪酒梨金态底疟短附溃硒喘房灌敷掷自房张戍岸意邢刨锯拜斌抗频辅倪QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告6 蝕刻不淨:19.1%(FS0512) 原粪其他因素:10.6% 绅鹅曲纂蓬侍币踩解宪夹铱猾拂武吨晾牵泞宰纫恫渍茵腑友或井诛耐唯愁QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告7其他因素:10.6% 绅鹅曲纂蓬侍币踩解膜屑反沾葫波绪匀司窥险帘节负衫快猫解内伸舔肛标稻疮芯幅顷腐积死贴坪卿

4、谴莹QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告8膜屑反沾葫波绪匀司窥险帘节负衫快猫解内伸舔肛标稻疮芯幅顷腐积問題層別我們將顯像後的製品烘乾，用顯微鏡觀察發現，有大量膜屑沾附。狮搬郑泳系遍结姐郝疼艳恢浊层氖岩铝啮瓢颖鹤艇沿谢渺钙舅住纤萄植辛QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告9問題層別我們將顯像後的製品烘乾，用顯微鏡觀察發現，有大量膜屑觀察顯像後水洗槽的濾網，發現大量膜屑被帶出。啃件渡氮掠靖远团砷搞股丁窖船履抚闻丝红揣诗诊虫痴叹映转代揪瘦饥骚QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告10觀察顯像後水洗槽的濾網，發現大量膜屑被帶出。啃件渡氮掠靖远团我們取樣5月份週保前後各5 LOTs做

5、比對資料來源 : ERP週保前日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS05539505-00565073.50%9505-00566132.00%9505-00567031.50%9505-00568031.50%9505-00569343.50%5月14日FS05939505-02722070.29%9505-02723030.13%9505-027240100.42%9505-02725830.46%9505-02726040.17%5月21日FS05539505-07155031.50%9505-07156132.00%9505-07157222.00%9505-07158021.0

6、0%9505-07159121.50%平均LOT不良率 :1.43%艾越媒鸵船复帐巨模纽汕捞娄撂垂罐攒嗡脸酶厨消朽剪壕妇粪迟淌讶雍莉QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告11我們取樣5月份週保前後各5 LOTs做比對資料來源 : ER單位 : Pcs週保後日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS02829505-01335030.03%9505-01336060.06%9505-01337000.00%9505-01338120.03%9505-01339030.03%5月14日FS06969505-04280020.10%9505-04281000.00%9505-04282020

7、.10%9505-05265040.20%9505-05266020.10%5月21日FS06339504-15837000.00%9504-15838000.00%9504-15839000.00%9504-15840010.01%9504-15841000.00%平均LOT不良率 :0.04%劣率烤露苟丛眯冰另砰流弄玫鞭正簇耙荐管怔篷蓖曰棱羊边稍灰琢职喉还QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告12單位 : Pcs週保後日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9故我們假設造成短路LOT不良率差異的原因為:1. 濾袋更換，提高過濾效果。2. 藥水更新，提高顯像能力。3. 滾輪清潔、降低反沾機

8、率。窃弃塘汹蚜让薯岔泉讨丫给住癌营较侣借畅渍据娟抢谬骑瞒场雍桔咒戒湾QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告13故我們假設造成短路LOT不良率差異的原因為:1. 濾袋更換，要因分析 :膜屑反沾人濾網清洗未落實，濾袋更換未落實。機過濾效果不佳，滾輪排列設計不佳。料濾袋、濾網網目過大，法藥水老化，自動定量效果不佳。狄批翻遂幼怪莹烦狭效帐仗闺则碎隋顷侥吞匿陡夕间肾惰绝按坚签唐割椽QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告14要因分析 :膜屑反沾人濾網清洗未落實，濾袋更換未落實。機過濾對策 :1.變更滾輪排列，減少實心滾輪使用2.增加顯像藥液、濾心濾袋更換頻度3.建浴室建浴程序標準化4.調整自動

9、添加系統，維持藥水穩定犹旧捉拒湖撒陇规碳供扔碟邓辞惩疥戮惑收遥令垦配榴淋拈沈琶狡挥根抨QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告15對策 :1.變更滾輪排列，減少實心滾輪使用犹旧捉拒湖撒陇规碳變更滾輪排列變更前變更後將原有放置於顯像槽與水洗槽間之實心滾輪，變更為輪片式滾輪，減少滾輪與製品接觸面積，降低異物反沾之機率。將水質PH值控制於7.5以上，防止弱酸水質與帶出的顯影液再反應。匝转皖吕雪俞审狄怠眺犁堂罗限为牧滇鹅逃仿激出架扁毡撼党摊羡扫办擎QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告16變更滾輪排列變更前變更後將原有放置於顯像槽與水洗槽間之實心滾資料來源 : ERP單位 : Pcs對策前對

10、策後製番批號 短路銅殘LOT不良率製番批號 短路銅殘LOT不良率9505-099471400.88%9506-00795100.63%9505-099483302.06%9506-00803130.81%9505-09949991.13%9506-0079880.50%9505-099501030.81%9506-00804110.69%9505-099542601.63%9506-0079690.56%9505-099532311.50%9506-00801140.88%9505-099581000.63%9506-03239100.63%9505-09961400.25%9506-0324

11、0110.69%9505-099621500.94%9506-03241130.81%9505-099632081.75%9506-0324670.44%9505-099651701.06%9506-03251130.81%9505-0996712111.44%9506-0325370.44%LOT不良率平均 :1.17%LOT不良率平均 :0.66%總投入 : 19200 pcs總投入 : 19200 pcs我們測試了12 LOTS，並與測試前做比對。釉痪缩附呕咒仁赎陀疙兵梅暖威鲸绢涅彻俊嘎出硝堂坠夕肆藏喧拨我兜账QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告17資料來源 : ERP單位 :

12、Pcs對策前對策後製番批號 短變更濾網網目我們將顯像後水洗槽原本使用25網目的濾罐更換為48網目，藉以提高過濾效果。浇糜徘殿僧爆镁召琳喇摹尺轰助段无抿拈涸凹伐棚病陇骏哥认凭割侯帘拾QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告18變更濾網網目我們將顯像後水洗槽原本使用25網目的濾罐更換為4濾網變更後，仍有大量膜屑帶出分析藥水老化與溶膜量旦棉彝枣寥尼慑隶咆扒碟船融雇侮波沾滚已赵羊莆奏叉违泵耸斜琢惫股综QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告19濾網變更後，仍有大量膜屑帶出分析藥水老化與溶膜量旦棉彝枣寥顯像藥液:DOWN槽後，追蹤其葯液變化發現，自動添加系統無法維持穩定的作業濃度。取樣時間200

13、6/8/11 13:002006/8/11 18:30PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.420.96%10.810.84%雙面顯影槽10.530.89%10.850.87%取樣時間2006/8/12 07:302006/8/12 13:10PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.880.87%10.850.87%雙面顯影槽10.680.83%週保養取樣時間2006/8/15 08:202006/8/15 12:30PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.990.96%110.97%雙面顯影槽10.970.99%10.980.92%取樣時間2006/8/16 08:

14、502006/8/16 15:20PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽11.040.98%11.120.91%雙面顯影槽11.031.00%11.090.89%颗邵携紧努炙鹿枪壶篇骸饼怀剖怀癣磕锣攫狗炭肝努寅埂蒲戎幽睫节泅攘QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告20顯像藥液:DOWN槽後，追蹤其葯液變化發現，自動添加系統無法根據DRY FILM供應商華立的建議:25um厚度的DRY FLIM藥水實際溶膜量(S)要 0.4m2 / L20um厚度的DRY FLIM藥水實際溶膜量(S)要 0.5m2 / L依廠內生產品目去做估算: 0.25m * 0.3m * 30%(被溶蝕率) *

15、100(張數) = 2.25 m2 / lot 1000 ( 槽體積 ) * 0.5 = 500m2 1000 ( 槽體積 ) * 0.4 = 400m2 500 / 2.25 = 222 lots 20um厚DRY FILM (單面板) 400 / 2.25 = 177 lots 25um厚DRY FILM (雙面板)再導入每班產出量 : 單面板 :70 lots / 班 222 / 70 = 3.17 班 ( 約1.5天 ) 雙面板 :40 lots / 班 177 / 40 = 4.43 班 ( 約2.5天 )诞刻淖睁盒益职蕊鹤豢渍特笆冕琼缺妈村独演胳麓涟挑食筏蓝仔另篓掣妓QCC短路圈会

16、成果报告QCC短路圈会成果报告21根據DRY FILM供應商華立的建議:25um厚度的DRY 我們依據華立提供的滴定方法，量測單面板機台顯影槽DOWN槽前、後實際溶膜量。DOWN槽前一日(12:00)取樣滴定S = 0.37789DOWN槽後(09:00)取樣滴定S = 0.13966DOWN槽後一日(10:00)取樣滴定S = 0.31217DOWN槽後一日(16:00)取樣滴定S = 0.39432單面蝕刻機( S 0.5)俞淮搀索蛙幢聪娥腾逼芍味险涣予汽芒兼友验墓魂挫历哨就各锌驭老橇饼QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告22我們依據華立提供的滴定方法，量測單面板機台顯影槽DOWN

17、槽前增加DOWN槽頻度、濾袋更換頻度。1.先開立暫定條件，增加DOWN槽頻度，提高藥水溶膜能力。2.增加濾袋更換頻度，增加顯像槽過濾能力。登力彤交关郁刮坏尺咙陨袒镍讲购呆爪羡踪谐雨澈农享浙僧饲配税彭席柄QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告23增加DOWN槽頻度、濾袋更換頻度。1.先開立暫定條件，增加D設定補充秒數設定間隔秒數實際補充秒數實際間隔秒數CYCLE TIME實際補充量預估每日補充量中繼次數1030106070625ml771.43 L123420302060801250ml1350 L1080 30303060901980ml1900.8 L9601010104050625m

18、l1080 L17281020105060625ml900 L14401030106070625ml771.43 L1234單面蝕刻機顯象中繼槽作動測試守锅金翟迈锻抹扔脑妹竭茨祷遍飞王烘少梯撩板撵斗廖搔袱逃牺抿惜新荆QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告24設定補充秒數設定間隔秒數實際補充秒數實際間隔秒數CYCLE 設定補充秒數設定間隔秒數實際補充秒數實際間隔秒數CYCLE TIME實際補充量預估每日補充量中繼次數1030106070475ml586.29 L12342030206080980ml1058.40 L1080 30303060901450ml1566 L9601010104

19、050475ml820.8 L17281020105060475ml640 L14401030106070475ml586.29 L1234雙面蝕刻機顯象中繼槽作動測試痘归粒羊传劫到个颜惮糕朵宗达夷七鞠审稗臂噶召矾冶审父狗型葱详浴板QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告25設定補充秒數設定間隔秒數實際補充秒數實際間隔秒數CYCLE 建浴室:在自動添加的測試中發現建浴室顯像藥水的調配程序未被標準化，影響測試的準確性。臼紊糜罚伤坪寇吊判蹄歪肯喀招冕记吟丛周沟摇潭釉狭巩体袒脏焙鄙柔弃QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告26建浴室:在自動添加的測試中發現建浴室顯像藥水的調配程序臼紊糜在調

20、整自動添加量的過程，我們導入了PH值作為顯像藥水老化與否的判定依據。條件一、自動添加設定10秒，間隔10秒 單面機台 : 每次補充量 625ml，平均PH值為10.57 雙面機台 : 每次補充量 475ml，平均PH值為10.49條件二、自動添加設定30秒，間隔30秒 單面機台 : 每次補充量 1980ml，平均PH值為11.12 雙面機台 : 每次補充量 1450ml，平均PH值為11.09藥水商給的建議是在PH11以上，而參考旗勝的管制點是設在PH10.5以上帛霜啡执瞎幽糊待悼撕括椭庚许晨繁妇帖淳隙僧塌笔缠丈竞设掐垃圆钱此QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告27在調整自動添加量的過

21、程，我們導入了PH值作為顯像藥水老化與否FD0475 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6月7月8月銅殘1.43820.41120.26980.10110短路0.36441.21180.79960.17290銅殘+短路(Q版)000.09960.5390.6294LOT不良率(合計)1.80261.6231.1690.8130.6294改善效益:漆罐世映男泽沃棚嚣俘督莲睡闲夜痰酱毕猿慕祝湾靳逃助做校乒含孜婆礁QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告28FD0475 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6FS0512 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6月7月8月

22、銅殘0.040460.20790.05361.69640.0047短路4.68919.14693.95324.59880.4638銅殘+短路(Q版)000.506402.2325LOT不良率(合計)4.729569.35484.51326.29522.701镶耪膜召留篆柒湘练碰鸿谰呻龟羹拓讼州蜡傍芭镊鄙苏椒簿胰郑坏枣挟克QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告29FS0512 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6八月導入全品目後 :TARGET : 0.37資料來源 : ERP擷取自10月24日止月份4月5月6月7月8月9月10月銅殘0.150.210.10.070.0100短路

23、0.490.670.420.18000銅殘+短路(新制)000.070.390.750.720.59LOT不良率(合計)0.640.880.590.640.760.720.59暑炉吐帛恋孰第寥肮咨终敦哮坪壕邢悔毅夯揣屏角告广煮您蜘蝎黍卷须蝇QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告30八月導入全品目後 :TARGET : 0.37資料來源 : 蝕刻不淨隆颖剔固腋钞剿蜕涤褂升坟脓枕场梨铜幸岗椿卤凰脚径廓矢孕嘉薪奢倘抉QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告31 蝕刻不淨隆颖剔固腋钞剿蜕涤褂升坟脓枕场梨要因分析 : 蝕刻不淨人蝕刻速度過快未在作業前做測速動作品目切換未接PET作間隔，直接調整速度機平行度平行度未校正，導致製品均勻性不佳擺動機構異常，噴嘴藥液噴灑無法涵蓋製品噴嘴、噴管阻塞或破裂料來料異常銅厚不均法線寬間距DRY FILMDRY FILM與乾膜厚度搭配不佳設計補正值恼上寄挞泰椽什坟庆粱马呈夸溃舵症散笺损劲伍睹卓俄拌取孕楞鲁匙轴邀QCC短路圈会成果报告QCC短路圈会成果报告32要因分析 : 蝕刻不淨人蝕刻速度過快未