真空设备的维护和维修

真空设备的维护和维修§1爱护部分K机械真空泵的爱护和保养：泵及其四周环境应经常保持淸洁。泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。70°C。新泵在使用100h左右应换1 2次汕，待换下的油内不再发觉含黑色金属粉末后，可加长换油期限。依照说明书规泄和使用实际情形来确定换油期限。新泵和修理后的泵应现作运转试验4 6h,检査泵是否符合使用要求。泵使用较长时刻以后（2 3年不等），极限真空度下降，应进行一次检修。同时也应对统、管道、阀门和电动机等加以淸洗、检修。系统连接的真空管（关低真空阀或夹真空夹），防止喷油，污染工作场地。泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。泵不用时，应用橡皮塞（帽）把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。经常注意真空技术进展动向，尽量及早地引入新技术、新材料（如新泵油等），有系统的性能。以上数点，可按具体情形，订出相应操作规程，严格施行。、整套设备的日常爱护：操作人员要熟悉各种外表、泵，设备的各部分。阅读并明白得各种说明书。冷却水水压应保持0.1 0.2Hpa之间，出水温度W45°C。压缩空气压力在0.4 0.5Mpa之间。每炉开机前，要检查爱护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。开机后如有专门情形，应赶忙排除或停机査找缘故。经常检査各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。内的循环水放掉。放洁净。扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理洁净，然后再换上新汕。99.99臥本设备不承诺使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为爱护气氛。抹布擦拭。气动系统的气动三连件上的汕水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。设备的整机电压要保证在350 420V范畴内。三相要平稳。气。以上各部分及法兰连接处不承诺长期使用真空封泥密封。各部分的螺栓定期检査，如发觉松动，及时拧紧。题。设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10 40°C。在拆修设备时，各部分不许重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。设备在工作时，操作人员不得长时刻离岗。§2修理部分真空设备修理的要点：修理真空设备的要点是判左故障。往往是真空抽不上去，缘故可能有几个，一泄要搞淸晰是什么缘故，也许真空机组的抽气能力不够，也可能是漏率偏髙，又或者两种可能都有。这时，应该耐心观看和记录，从中找出故障。比如，抽空时刻相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针专门快下降，多数情形是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空il指针下降专门慢，多封漏油等故障。一、检测漏率：用户最头疼的问题确实是检测漏率。漏一一分内漏和外漏，外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点能够用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点邻近逐步査寻，会发觉火苗向漏点偏移，则可找到漏点。漏和微漏的査找：机组的抽气能力和漏率平稳了，然后再喷射。最好是反复几次，确认漏点°漏和外漏的査找：内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发觉疑点，然而却有以下现象：机械泵的抽速明25kg中频炉，配有2X-70ZJ-150罗茨泵加到一起抽也10Pa,ZJ-150二、故障点的处理：要求。三、修理时要注意的环节：修理应注意几个环节。即拆卸、淸洁、检验及装配。一左不能用大锤去敲。倒去。检验是个细致活，每个细肖都不要落掉，任何细微的地点都可能是问题所在，因此不能存在侥幸心理。不论是用汽油依旧其他溶剂淸洗的真空泵件，一立要等到汽油或溶剂完全挥发了才能进行装配貞空泵油若与英他的油或溶剂或水混合会破坏其性能，阻碍真空泵的性能指标。 胶圈要擦洁净，认頁检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确，尺寸不对将阻碍密封。凡是有加 热位豊的胶圈，每次拆卸淸洗时必须换，比如汕增压泵各个接口，装配时泵件同样需要轻拿轻放：紧螺丝时用力要均，要从对角紧起。动密封多用轴封，上轴封时要细心，先检査轴封本身有无缺陷，密封面是否平坦，轴封簧弹性如何，在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂,上轴封时用力要均，秤架轴封不要压偏了，偏了就会漏汕、漏气，轴封簧别挤到里面去，没了轴封簧轴封就失效了。注意轴封与轴的同心度，有的泵是用对轮连接的，对轮的同轴性要求专门严格，装配时要从轴的四而去量，保证平行一致。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个8型齿轮不相碰。扩散泵的内壁和喷射塔淸洗洁净后最好用电力纺擦干。由于国内生产的扩散泵要紧靠电炉丝的2修理切记不可操之过急，故障没搞淸晰就想因此的开始动手拆卸，旧病未除又添新病,把简单的问题复杂化了。、几种情形下处理方式:2.1应急处理建有备用水箱或连有自来水管。护，充气压力为-0.02MPa中造成的管路内存有的大气抽岀，使充气管路保持淸洁。工作完毕后，再做处理。如不能确左泄露处，则应赶忙停止工作，然后检修。5070Pa20°C髙炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却。如此使设备内部空间保持淸洁。2.2机械泵的滋见故障及修理：故障现象

产生缘故

排除方法1）不能达到所要求的1.进气管路及连接处漏气。极限真空度。所抽吸气体温度过高。油量不足或油质不对。4真空油已污损。油温太低。排气阀片损坏漏气。

封堵。低进气温度。增加新的机械泵用的真空油。更换新的真空油。更换新的排气阀片。更换新的橡胶密封垫圈。所抽吸气体中含有可凝性蒸8.须用气镇装置或加装蒸汽捕集气。 置。机件损坏。机件损坏。选用真空计不对。2）油温过高。真空泵漏油。泵运转不正常。有杂物或铁屑吸入泵体。吸入气体温度过高。足。泵油、轴封损坏。油箱螺钉松动或垫片损坏。泵润滑不良。三角带太松或太紧。泵体内有污物或磨损零件测得全压强作参考。将泵拆开检查修理，取出杂物。进口管路上，装冷却装置。量。换新的轴封。换新的垫片拧紧螺钉。检查淸理润滑系统。调整三角带的紧度。3.将泵拆开检查排除之。2.2.3罗茨泵的常见故障：5X10"Pa,又称机械增加泵。其工作原理是通过二个修理保养：① 应经常保持泵房环境淸洁干燥。② 的压差范畴内，否则易烧坏电机。③ 在拆修时各部件不能用重锤敲打。④ 起再装配后漏气现象，泵不能复原原有性能。⑤⑥按规定要求调整。⑦密封。

拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙瞇淸洗，干燥后才能装配。装配时要注意转子两端与左右侧盖的间隙，转子与转子，转子与泵体的间隙泵体左右侧盖之间之结合面均采纳107树脂（即室温硫化硅橡胶）⑧ 箱一侧为右旋，从动轴上则相反。故障 故障缘故 采取措施真空度达 被抽容器或连接管路漏气不到要求 本泵汕封损坏漏气（油杯的油漏进泵内）本泵各部螺丝松声音专门 轴承疲劳损坏转子间隙发生变化联轴器疲劳损坏齿轮疲劳损坏电机烧毁 泵腔内落入较大异物溢流阀锈死

更换油封更换轴承拆下齿轮经淸洗后重新装上并调整转子之间间隙更换齿轮排除异物拆开溢流阀淸洗后重新装回2.4油扩散泵故障处理可关闭冷却水。泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。泵如临时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水内的剩水吹净。储存场地的室温应在10°C 40°C之间。泵在正常运行时如突然显现性能变坏，应先检査加热器是否正常。泵在长期工作后，性能会逐步变坏，应左期检修。泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。零件及泵腔先用航空汽油淸洗，然后用丝绸蘸乙醸或丙酮进行擦洗，并置于 80°C 100°C温下烘干或用电吹风吹干。好。2.2.5整套设备的故障处理:故障现象1.粗抽阀无法开启缘故压缩空气压力是否够粗抽阀的电磁换向阀不工处理方法0.4—0.6Mpa3作3.高真空阀上的行程开关未3.调整行程开关与上而盖板的位压紧苣合适2.电磁换向阀不工作1.接通电无吸合动作1.线圈损坏，更换线圈或更换全电磁阀2.工作环境温度低2.室温高于+5°C3.阀体有堵塞3.通过手动一电动检查淸洗阀体，然后注入泵油4.气源气压不足4.达到0.4 0.6Mpa3.前级阀无法开启1.气压不足1.参照故障32.电磁换向阀工作2.参照故障34.高真空阀无法开启1.粗抽阀上行程开关未压紧1.调整行程开关与上盖板位苣合适2.气源压力不足2.达到0.4-0.6Mpa3.电磁换向阀3.参照故障34.真空度不够（没达到真空4.复合真空计（工作时）设定不计设定一上限小于5Pa5.前级阀未开5.在一泄条件开启前级阀5.罗茨泵不启动1.真空电接点压力表未接触1.抽真空，使大圆表黑针到左边上尽头2.延时时刻未到2.等待3.空气开关未合上3.检査无问题，合上开关6.扩散泵不工作1.加热时刻不够1 KT—4001小时；2.油污染KT—60080分钟2.换扩散泵油（3号）3.真空粗抽不够高3.真空度在5Pa以上4.冷却水不畅通4.淸洗泵冷却水路5.油量不适5.油少加汕，油多放掉些7.充气系统不工作1.粗抽阀、高真空阀上的行1.调整行程开关和上而盖板的位程开关未压紧宜合适2.电磁充气阀不动作2.线圈断路，更换线圈或者换新电磁阀8.风机不启动1.电接点压力表未接触上1.等充气圧力达到-0.02Mpa2