GB 51401-2019 电子工业废气处理工程设计标准

中华人民共和国国家标准P电子工业废气处理工程设计标准中华人民共和国住房和城乡建设部treatmentengineering主编部门：中华人民共和国工业和信息化部住房和城乡建设部关于发布国家标准为GB51401—2019,自2020年4月1日起实施。其中，第3.0.3、2019年11月22日晶体管液晶显示器(TFT-LCD)以及新型有机发光显示器 4.1一般规定 4.2污染物控制 4.3应急设施 5碱性废气系统 5.1一般规定 5.2处理流程和方法 5.3处理设备 5.4风管及附件 6酸性废气系统 6.1一般规定 6.2氮氧化物、高浓度酸及电镀废气 7挥发性有机物废气系统 7.1一般规定 7.3处理系统 7.4处理设备 7.5自动控制及安全措施 8.1一般规定 8.2烷类尾气处理系统 8.3全氟化合物(PFC)尾气处理系统 8.4其他特种尾气处理系统 8.5中央废气处理系统 9.1一般规定 9.3处理设备 9.4风管及附件 10.1一般规定 10.3处理设备 11.1一般规定 11.2系统设计及有害气体净化 12.1供配电与照明 附录A电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH) 本标准用词说明 引用标准名录 4Processandprocessingequipment 4.1Generalrequireme 6.2Nitricox 8.2Alkanespoint-of-useexhausts 8.3Perfluorocompoundspoint-of-useexhaust Explanationofwordinginthisstandard Listofquotedstandards Addition:Explanationofpro 11.0.1为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关碳化物(HFCs),如四氟化碳(CF₄)、六氟乙烷(C₂F₆)、八氟丙烷三氟甲烷(CHF₃)。上述的全氟化合沸点在50℃~250℃间，温度293.15K时蒸汽压大于或等于0.01kPa,或者能够以气态分子的形态排放到空气中的所有有机2.0.12尾气处理设备point-of-useabatement(PO42.0.20时间加权平均容许浓度permissibleconcentration-2.0.21短时间接触容许浓度permissibleconcentration-shorttermexposurelimit(PC3.0.4当排风点需求压力相差250Pa以上，且所需压力绝对值1含有燃烧爆炸性物质的局部排风系统应按物理化学性质2排风中污染物浓度或排放速率超过国家和地区污染物排3.0.7排除有燃烧爆炸性危险物质的排风系统风量应经计算确下风管内燃烧爆炸性危险物质的浓度不大于爆炸下限的50%10%及以上时；含尘浓度为其爆炸下限的25%及以上时。3.0.9当排风中含有的燃烧或爆炸危险物质可能出现的最高浓度超过爆炸下限值的10%时，废气处理系统的设备、风管和配件3当风管和配件的法兰密封垫或螺栓垫圈采用非金属材料1排风管道应设置不小于0.5%的坡度；1)保证每1000m³/h废气量不小于1.5m³/h;4空塔滞留时间宜大于1s。于1000Pa。量应保证系统排风量不小于正常运行时系统排风量的50%;1排气筒的高度不应低于15m,且应符合环境影响评率标准值严格50%执行；度除应符合本条第1款、第2款要求外，还不应低于25m;4排气筒的出口风速宜为15m/s～20m/s;5排气筒上应设置用于检测的采样孔，并应设置相应的监测6一定区域内同种污染物的废气系统，其排气筒宜合并7排风口与机械送风系统的进风口的水平距离不应小于20m,当水平距离不足20m,排风口应高出进风口，并不应小3.0.19废气处理系统的风管应符合下列规定：1风管材料的防腐蚀性能应与其所接触的腐蚀性介质相2集成电路前工序工厂和平板显示类工厂的排风管应采用3风管内的风速应符合生产环境对防微振的要求；5穿过沉降缝时应设置软连接，其材质应符合本条第1款6风管的支吊架应根据风管的尺寸及重量进行设计。2输送高温烟气的金属风管；3线膨胀系数不小于50×10-⁶℃¹,且直段连续长度大于20m的非金属风管。1安装在洁净室(区)内排风管的隔热应采用不产尘的绝热该风阀在工作压力下的漏风率不应大于1%。续工作时间不应短于3个月。其他废气系统的排风管宜采用圆形或长边与短边之比不大于4的1设备的额定处理风量应在系统计算的总风量上附加10%;2循环泵的流量应在系统需求流量值上附加10%;的漏风率不应大于1%;4处理设备的承压能力不应低于工作压力的1.5倍。1应满足工况参数及废气的温度、腐蚀性、爆炸性等特性2风机的风量应在系统计算的总风量上附加10%;压力作为额定风压，但风机电动机的功率应在计算值再附加5排风机的选用设计工况效率不应低于风机最高效率的90%。3.0.34处理设备的入口和出口应设置采样口，宜设在气流稳3.0.36排风系统应设置运行状态及排风系统故障的监控报警4.1.1工艺设备应根据废气污染物的性质分类独立设置排出4.1.2生产所用的原辅材料应符合清洁生产要求以及相关限制4.3.3使用有毒有害化学品和特殊气体的工艺设备应设置事故应急设施，并应具备接受外部报警信号并实施紧急切断和报警的5.1.4电子工业洁净厂房的碱性废气系统处理设备和排风机应机风量应大于系统排风量的50%。5.3.2处理设备塔体应由耐酸碱腐蚀的材料制作。塔体应能承不应低于5年。5.3.5每套处理设备的循环喷淋泵应设置备用。循环喷淋泵流压力的1.2倍。循环喷淋泵入口应设置过滤器。5.3.6喷淋管道应为耐腐蚀管道，管道及配件承压不应低填料持液量之和的2倍。5.3.9除雾器对大于10μm粒径的水雾除雾效率不应低于99%。5.3.10填料洗涤式废气处理设备应设置日用加药罐和加药泵，5.3.14填料洗涤式废气处理设备的自动控制设置应符合下列5.4.1排风管道法兰垫片应采用可耐受排风中碱物质化学腐蚀5.4.2排风管道宜顺气流方向设置坡度，低点应设置排水收集6酸性废气系统6.1.1一般酸性废气系统的设计要求应按本标准第5章的相关2当二氧化氮(NO₂)含量超出排放标准时，应采用还原4综合处理效率不应低于90%;1宜在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置尾气处理设1溶液(镀)槽宜采用槽边排风罩、吹吸罩等有效的排风化处理气体的颗粒物浓度应低于10mg/m³(T=293K,P=时，挥发性有机物的处理效率不应低于95%,当入口浓度小于2不锈钢管道和设备的保温材料氯离子含量应小于使用一级负荷供电的风机风量应大于系统排风量的50%。7.2.2经处理后的工艺设备排出的挥发性有机物废气不应循环7.2.3设计排风管路系统时，应避免风管内挥发性有机物蒸汽7.2.5挥发性有机物废气排风管的设计不宜选用易出现气体泄2浓度不高于1000mg/m³时，宜采用转轮浓缩和热氧化2所用活性炭的四氯化碳吸附率质量分数宜大于60;3活性炭颗粒直径不宜大于3mm;于3个月。3脱附风温度宜为180℃~220℃,不应高于300℃;4浓缩后的挥发性有机物废气风管内宜设置温度和浓度监1热氧化净化效率不应低于99%;2热氧化后烟气中的氮氧化物浓度不宜大于10mg/m³;3热回收系统的综合效率不应小于80%。3蓄热效率不应小于90%;4压力损失不宜大于3500Pa;5热氧化净化效率不应低于98%;2热氧化净化效率不应低于99%;3所选用催化剂的空间速度不宜小于15000h-¹;3热氧化净化效率不应低于98%;4其他应符合本标准第7.3.6条中第3款～第5款规定。7.3.8含高沸点挥发性有机物废气宜采用冷凝过滤处理的方式2冷却器内的冷水供水温度不宜大于8℃;3冷却器出风温度不应大于12℃;于1000Pa;1吸附区的设计面风速不宜大于3m/s,转轮厚度不宜小于400mm;2转速宜为2转/h～6转/h;1废气热氧化温度应控制在730℃~850℃,滞留时间不宜小于0.75s;高于60℃;3换热器宜采用管壳式。7.4.4蓄热氧化设备的设置应符合下列规定：1废气热氧化室温度宜控制在780℃~880℃,滞留时间不宜小于0.75s;2蓄热层的面风速宜为1.1m/s～1.5m/s;3蓄热材料的高度宜为0.8m～1.6m;4切换阀门泄漏率不应大于0.5%;5蓄热氧化设备应设置保温，并保证炉体外表面温度不应高于60℃;6蓄热材料的膨胀系数不应大于6×10-⁶m/(m·℃);7蓄热氧化设备应设置自动控制。7.4.5旋转蓄热氧化设备的设置应符合下列规定：1宜划分为6个以上的偶数区；2吹扫风量不应小于总风量的1/6;3其余要求应符合本标准第7.4.4条的第1款～第7款规定。7.4.6催化氧化设备的设置应符合下列规定：1催化温度宜控制在350℃~500℃,滞留时间不宜小于0.75s;2催化区域的面风速宜为1.3m/s;3设计出口温度不应大于550℃;4催化设备启动时，预热时间不宜少于2h;5当挥发性有机物废气中的浓度、成分不稳定时，加热系统应设置自动调温设备，并维持出口温度不应大于550℃;6催化氧化系统应设热回收设备。7.4.7蓄热催化氧化设备设置应符合下列规定：1燃烧室温度宜控制在280℃~500℃,滞留时间不宜小于0.75s;2其余要求应符合本标准第7.4.4条的第2款～第7款和第7.4.6条的第2款～第5款规定。7.4.8高沸点挥发性有机物废气冷凝过滤设备设置应符合下列1冷凝过滤设备应由预过滤器、冷却盘管、除雾器、过滤装2预过滤器滤料宜采用不锈钢制作，过滤效率不应低于3液体收集罐区域应配置可燃气体报警装置。4冷却器和设备壳体应采用不锈钢制作。5冷凝和过滤设备应设置观察窗及检修门。6除雾器设置应符合下列规定：1)宜采用高通量的丝网制作；2)去除率应大于99%(≥10μm);3)应配备水冲洗装置，喷头材质应为不锈钢或聚偏氟乙烯7末端过滤装置对0.1μm～10μm雾滴的去除效率应大于8设备阻力不应大于1000Pa。7.5自动控制及安全措施7.5.1挥发性有机物废气处理系统应配置以下安全保护装置：1风量或风压低于设定值报警装置；2炉膛超温时高温烟气从炉膛直排烟道的应急排放管。7.5.2使用挥发性有机物的工艺设备，排风支管宜设置可显示其排风系统状态的流量计或压力表。7.5.3挥发性有机物废气处理系统应设置监测、日常操作及保养所需的辅助设施及控制系统失效情况下的紧急安全处理措施。7.5.4挥发性有机物排风系统应配设如下运行监测内容：1工艺设备排风的出口温度；1应根据工艺设备生产过程中产生的污染物性质和浓度等8.1.4工艺真空泵与尾气处理设备之间以及尾气处理设备之后8.1.8淋洗式尾气处理设备后的管道应设置1%的坡度，坡向处1设备的处理效率不应低于99%;3处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25%2磷烷(PH₃)宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸8.2.4从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列1管道的材质宜采用不锈钢304或316;8.2.5尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀、导静电的8.3.1对化学气相沉积(CVD)、干法刻蚀工艺生产工程中散发1三氟化氮(NF₃)不应低于98%;2其他不应低于95%。8.3.3全氟化合物(PFC)尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两1设备的处理效率不应低于99%;3处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25%8.4.3三氟化硼(BF₃)和三氯化硼(BCl₃)宜采用等离子和淋洗8.4.4从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列1管道的材质宜采用不锈钢304或316;8.4.5尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐、导静电的8.5.2中央废气处理系统应根据污染因子特性进行设计。8.5.3从尾气处理设备出口至中央废气处理设备的管路应保持8.5.4当尾气处理设备产生粉尘时，系统的设置应符合下列1废气排入大气前应进行除尘处理；2除尘器宜靠近尾气处理设备；4尾气处理设备与除尘器之间的管路，应按除尘系统的要求8.5.5当废气经过尾气处理设备处理后，其燃烧爆炸性气体度超过爆炸下限的10%时，系统应按防爆系统设置。9.1.1除尘系统的设计寿命应与工艺生产设备的剩余寿命相适2粉尘性质相同并需要回收利用的尘源可划分为同一个除9.2.5当除尘系统为下列情况之一时，不应采用压入式除尘2粉尘浓度不小于3g/m³;9.2.7袋式除尘器的过滤风速应小于1.8m/min,滤筒式除尘器1密闭罩100%;2半密闭罩95%;3吹吸罩90%;4含有毒有害、燃烧爆炸性污染源控制装置100%。9.2.10焊接烟气排风系统设计应符合下列规定：1当吸风距离不大于200mm时，排风罩罩口风速应为2焊接烟气排风系统应同时安装净化过滤设备或整体通风净化系统；3当焊接烟尘中含有有毒有害物质时，除尘系统应设置净化设备，且排风罩宜靠近焊接作业点；对非固定式焊接作业点，宜设置可移动式排风罩。9.2.11除尘器卸灰和输灰应符合下列规定：1除尘器卸、输灰宜采用机械输送或气力输送；2卸、输灰过程不应产生二次扬尘；3输灰装置的输灰量应大于卸灰阀的卸灰量。9.2.12排气筒底部应设置积灰坑，并应设置检修门且严格密封。9.3.1除尘器的类型应根据烟气中粉尘的物化特性、粒径、浓度等因素选择。9.3.2除尘器在标态工作压力下的漏风率应小于3%。漏风率可按下式计算：式中：α——漏风率(%);Qin——除尘器入口风量(m³/h)(标态);Qout——除尘器出口风量(m³/h)(标态)。9.3.3除尘器的清灰方式应根据粉尘的物理性质确定。9.3.4过滤爆炸性粉尘的除尘器应符合现行国家标准《粉尘爆炸危险场所用收尘器防爆导则》GB/T17919的有关规定。9.3.5除尘器的净化效率应根据初含尘浓度和允许排放浓度9.3.6当采用滤料过滤方式处理粉尘时，滤料选择应符合下列1滤料的连续使用温度应高于除尘器进口烟气温度及粉尘7对含有火星的气体，除应符合木标准第9.2.6条的要求应小于2年；2干管上所连接的支管数量不宜超过6根；为8m/s～20m/s,水平风管内的风速宜为10m/s～25m/s。关规定执行。当除尘风管内输送介质烟气温度大于350℃时，风管壁厚不应小于5mm。2当风管直径大于1500mm时应在风管外表面均匀设置加现行行业标准《火力发电厂烟风煤粉管道设计技术规程》DL/T9.4.7输送燃烧爆炸性粉尘的风管设泄爆装置应符合现行国家10电子玻璃窑炉废气系统废气相对湿度不宜超过10%。10.2.6废气脱硝可采用20℃~60℃的常温脱硝、80℃~120℃的低温脱硝、180℃~450℃的中温脱硝及800℃~1100℃的高温2低温脱硝宜采用活性焦炭逆流式选择性催化还原法4高温脱硝宜采用选择性非催化还原法(SNCR)或高效选10.2.7当生产碱性玻璃时，不应采用中温选择性催化还原法率不应超过8mg/m³。10.3.2当采用袋式除尘器处理粉尘时，除尘设备应符合下列3过滤风速应小于1.8m/min;压力波动不大于30%;1工况下风管内平均风速宜为13m/s～15m/s;4风管应采用耐高温、耐腐蚀、抗拉强度大的不锈钢材料6风管应设置0.5%～1%的坡度，并应在低点设置排液口，次数不应小于每小时12次。3位于房间下部的吸风口，其下缘距地面间距不应大于2排风口与机械送风系统的进风口的水平距离不应小于20m;当水平距离不足20m时，排风口应高出进风口，并不应小补风系统，补风量宜为排风量的80%,补风机应与事故排风机1含有剧毒和较毒物质的事故排风系统的排气筒高度不应低于15m;2含有极毒物质的事故排风系统的排气筒高度不应低于25m;3排气筒出口处的有毒有害物质浓度应低于立即危害生命和健康浓度的50%。电子工业常用高毒物品的立即危害生命和3应符合本标准第3.0.2条的要求；11.2.7采用稀释方式处理事故排风时，系统设计应符合下列1稀释风量应按系统中所储存的各种有毒有害物质中单个储罐中的有毒有害物质稀释至立即危害生命和健康浓度的50%3处理系统的吸附速率应满足完全吸附系统中任意一个储11.2.10极毒和剧毒物质的储存间和输配管廊内应设置气体检11.2.12采用热氧化方式处理可燃性有毒气体时，应符合下列危害生命和健康浓度的50%;2燃料气体供应和燃烧系统以及电气系统的设置应符合现12.1.1废气处理装置的用电负荷等级应与工艺设备用电负荷同同时应符合现行国家标准《供配电系统设计规范》GB50052的有12.1.2废气处理装置和排风机应由变电站专用低压馈电线路12.1.3废气系统处理设备和排风机应根据工艺要求配置应急电源。对排风系统有特殊要求的生产设备，与之关联的废气处理系统宜采用不间断电源或防止电压骤降装置。12.1.4废气处理装置区域照度值应符合现行国家标准《建筑照1废气处理装置在室内安装时，备用照明宜作为正常照明的一部分，且不应低于该场所一般照明照度值的20%;2废气处理装置在室外含屋面安装时，经常操作的区域、现场控制和检查点的备用照明照度值不应低于20Ix。12.2.1突出屋面的废气处理设备和排风管的防雷应符合下列1应根据废气处理设备和排风管的布置及废气性质设置防2含有燃烧爆炸性废气的排放口应处于接闪器的保护范围隔100m接地一次。平行风管净距离小于100mm时，应每隔20m12.2.4防静电接地为单独接地时每组接地电阻宜小于毒物名称毒物名称氨苯苯胺二氧化氮氟化氢氟及其化合物(不含氟化氢)金属铬250mgCr/m³铬二价化合物250mg铬三价化合物25mg汞基]10mgHg/m²汞(有机)烷基化合物甲醛磷化氢氯、氯气(按CN计)3无机化合物硝基苯(按CN计)——引用标准名录《环境保护产品技术要求工业废气吸附净化装置》HJ/T386和城乡建设部2019年11月22日以第321文公告批准发布。 4.1一般规定 4.2污染物控制 4.3应急设施 5.1一般规定 5.2处理流程和方法 5.3处理设备 5.4风管及附件 6.1一般规定 7.1一般规定 7.3处理系统 7.4处理设备 7.5自动控制及安全措施 8.1一般规定 8.2烷类尾气处理系统 8.3全氟化合物(PFC)尾气处理系统 8.4其他特种尾气处理系统 8.5中央废气处理系统 9.1一般规定 9.3处理设备 9.4风管及附件 10电子玻璃窑炉废气系统 10.1一般规定 10.3处理设备 10.4风管及附件 11.1一般规定 11.2系统设计及有害气体净化 12电气设计 12.1供配电与照明 12.2防雷与接地 1.0.1本条规定了制定本标准的目的。电子工业废气处理工程1防止不同种类和性质的有害物质混合后引起燃烧或爆炸3.0.4规定此条主要是考虑节能，当个别排风点的需求压力较2电子工厂如芯片制造生产设备的局部排风系统中有毒有硝酸(HNO₃)、氨(NH₃)等；有机类：异丙醇(IPA)、三氯甲烷(CHCl₃)、六甲基二硅胺(HMDS)、丙酮等；特种气体：砷烷六氟化钨(WF₆)、三氯氢硅(SiHCl₃)、四氟化碳(CF₄)、六氟化硫3.0.7本条规定了燃烧爆炸性危险物质的排风系统风量确定原等于其爆炸下限的25%时，或含甲、乙类物质的浓度高于或等于管路中的冷凝液渗漏事故，所以规定排风管路系统要有防渗漏1规定断面风速是为了保证废气与洗涤液有充分的接触时2填料洗涤式废气处理设备的填料厚度对处理效率起到至染因子、填料形式等有关，需根据厂家提供的公式计算或曲线是为了保证废气与吸收液进行充分的质交换；规定第2项是为了4规定此款是为了保证被处理废气与吸收液有足够的接触8有些工程中填料洗涤式处理设备补充水采用纯水制备系洗涤塔的补水。所以填料洗涤式处理设备的补充水一般为自第2～4款规定主要考虑有毒有害物质虽然经废气处理系统第5款规定是为了方便环保监测人员测试废气处理效果及废将此类排风系统停止运行。因为一方面排风系统可兼作排烟功末端设置微压计，是利于系统风量和压力平衡以及二次配管的求流量的基础上附加10%。率不要低于最高效率的90%。一般认为在最高效率的90%以上3.0.34废气处理设备的入口和出口设置采样口，以便于采样表1是电子工业典型生产工序排出的废气类别，表2是典型生产工序废气废气机物废气特种废气玻璃窑炉废气外延√√√√光刻√√√√√化学气相沉淀√√√√√√√√√√√电路板清洗√√黑化、棕化工序√电镀与化学镀工序√√混料工序√涂布干燥工序√玻璃窑炉√生产工序外延三氯氢硅、氢气水、臭氧、异丙醇、二氧化氮、乙酸、丙酮、氢氧化钾光刻四甲基氢氧化铵、六甲基二硅胺、异丙醇，醋酸丁酯、丙二化学气相沉淀电路板清洗二甲苯、甲苯、苯、酯类、酮类、醇类等黑化、棕化工序电镀与化学镀工序混料工序涂布干燥工序甲基吡咯烷酮、丙二醇甲醚醋酸酯玻璃窑炉4.1.4半导体集成电路和平板显示生产过程中，化学气相淀积、干法刻蚀等工序使用的具有全球变暖潜能(GWP)的氟化合物，包括全氟化合物：四氟化碳(CF₄)、六氟乙烷(C₂F₆)、八氟丙烷(C₃F₈)、八氟环丁烷(c-C₄F₈)、三氟化氮(NF₃)、六氟化硫(SF₆)、三氟4.1.5根据排放废气的种类和性质，集4.1.6考虑当有毒有害气体发生泄漏事排放压力设定见表3～表6。序号设备排出口负压(Pa)工艺设备1挥发性有机物排气光刻机、湿蚀刻2酸性排气3碱性排气4特殊排气(有毒)序号设备排出口负压(Pa)工艺设备备注1挥发性有机物排气光刻机、湿蚀刻2酸性排气3碱性排气光刻机显影设备4特殊排气干刻蚀、等离子增强化学气5挥发性有机物排气光刻机、湿蚀刻6酸性排气7碱性排气光刻机显影设备序号设备排出口负压(Pa)工艺设备1挥发性有机物排气涂胶、湿法刻蚀、化学机械抛光2酸性排气光刻机、离子注入、金属溅镀、炉管、气相淀积3碱性废气涂胶、湿法刻蚀、化学机械抛光4金属溅镀、气相淀积序号设备排出口负压(Pa)工艺设备1挥发性有机物排气光刻机、湿蚀刻2酸性排气3碱性排气4特殊排气(有毒)4.3.1工艺设备的安全保护系统通过配备紧急状态侦测切断装4.3.2有毒有害物质的化学品和特气分配供应系统应该有泄漏腐蚀洁净室吊顶及FFU,严重的会影响洁净室内工艺生产。因5.3.3碱性废气处理设备塔体设置观察窗便于观察塔内填料分5.3.7吸收液均匀分布并充分湿润填料，能够增加气液接触效5.3.8集水槽为整体构件可以避免漏液。集水槽有效容积规定5.3.10为保证碱性废气处理设备吸收液pH值6酸性废气系统6.2.1集成电路和平板显示类工厂的酸性废气中含有NO和1在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置POU,采用喷7.1.4目前，转轮系统从材料和密封性角度均能满足大于95%大于100mg/m³时对挥发性有机物的吸附净化效率不应低于95%,而浓度低于100mg/m³时，因入口浓度低，达到95%存在困7.1.5从安全角度提出的挥发性有机物废气处理系统设计最基7.1.8风机进出口设置软连接可阻隔风机振动通过管道向外传递。软连接材料包括不锈钢波纹节、各类玻纤布软管及涂胶帆非负压状态或负压值不能满足设定的负压要求，生产设备将因连锁装置而出现停机。因此设计排气系统时，要按不低于一级负荷7.2.2电子行业的挥发性有机物气体大多数为有毒有害气体，从保护生产设备周边工作人员、生产车间环境空气质量及职业卫生7.2.3设计风管时应尽量避免因风管上下绕弯、液体冷凝沉造成局部区域挥发性有机物的蒸汽积聚，浓度超过爆炸下限而导7.2.5挥发性有机物废气排风管系统泄漏易造成事故或污染环7.3.1一般半导体及光电产业的挥发性有机物废气排放浓度为炭吸附进行一定程度的减排。浓度不高于1000mg/m³,因浓度较的方式进行直接处理，一方面因为蓄热氧化的热回收效率已达7.3.2对于低浓度挥发性有机物废气的一次性活性炭吸附抛弃因此建议采用3mm以下的粒径。从工艺控制的角度，当活性炭于3个月。采用工艺排气作为转轮冷却用气主要是可以减少吸附处理气冷却转轮并使转轮恢复吸附功能的废气将进入换热器，通过与热氧化炉膛内抽出来一定流量烟气换热升温至180℃~220℃后返回进入转轮的脱附区，将吸附浓缩在转轮上的VOCs脱附出排气筒转轮一次风机二次风机由于转轮本身的特性，其再生温度需180℃以上才能较好的完成脱附工作，但脱附温度到300℃以上时可能会造成部分挥发目前挥发性有机物排放限值比较严格的行业或地区要求在以上，因此要求净化效率不小于99%。在保证热氧化条件合理的情况下，99%的热氧化效率是完全可以做到的。由于氮氧化物也是目前我国纳入总量控制的污染物，因此要求在控制挥发性有机物污染的热氧化过程中要防止出现氮氧化物的二次污染。热回收效率是指实际预热废气所利用热量与最大需求热量的m。——氧化装置排出气体的质量流量(kg/h);Tc——氧化装置燃烧室温度(℃);T。——氧化排气在热回收系统出口处的气体温度(℃);7.3.5“转轮浓缩十蓄热氧化”工艺流程如图2所示。“转轮浓缩十蓄热氧化”系统由转轮吸附浓缩系统、蓄热热氧化系统和自动控制系统等组成。燃料气燃料气旋转式蓄热氧化设备(天然气)脱附风机吹扫风机热交换器有机废气助燃风机于90%。于3500Pa。大于1%。过陶瓷蓄热材料将待处理气体预热，然后将VOCs在300℃左右7.3.8体积浓度>1%,沸点>150℃的剥离液挥发性有机物废气阻工艺所涉及的挥发性有机物性能情况分别见表7和表8。品名主要成分DMSO(25%)、MEA(70%)、Catechol(5%,InhiAmineHybroxylamine、MEA、PyrocatecholMEA(20%)、BDG(60%)、H₂O(溶剂密度沸点亨利常数备注高 高高— 低 低低中低中低因此建议采用5℃~8℃的冷却水，通过合理换热面积的冷凝器确保冷凝系统的最终排气温度不大于12℃,控制排气中的气态体中的颗粒物浓度一般不大于1mg/m³,安装床层温度及超温报7.4.2转轮吸附浓缩系统采用憎水性的吸附材料附载于蜂窝基酮类物质的挥发性有机物气体)通常配置氮气自动充气及消防水度要控制在730℃~850℃,停留时间一般不小于0.75s的下限条温度不大于60℃,通常炉体绝热材料厚度不小于150mm。换热器的换热效率不小于65%,由于是气气换热，因此建议采用管壳式氧化温度控制在780℃~880℃(与非蓄热氧化相比，混合程度相速一般为1.1m/s～1.5m/s(标准工况下),蓄热材料的高度一般阀门的泄漏率不应超过0.5%。蓄热氧化设备设置的超温强制排大于60℃。炉膛绝热层的要求如下：陶瓷纤维棉，厚度不小于250mm,耐热温度不小于1250℃。炉体绝热层厚度不小于大于6×10-⁶m/(m·℃)的蓄热材料来避免因蓄热材料风化而7.4.5旋转蓄热氧化设备(RRTO)较普通蓄热氧化设备增加了旋转阀和清洗功能，RRTO进出气配热氧化设备根据风量不同一般划分为6个以上的偶数区(2n,n≥个区为待机区。吹扫风量不小于总风量的1/6。吹扫风由吹扫风机提供压力，静压不小于3500Pa。床层吹扫空气造成催化剂的烧结失活，因此要求催化温度控制在350℃~500℃,停留时间不小于0.75s。催化区域的断面风速一般在时，加热系统需设置自动调温装置，并维持出口温度不大于造成催化剂的烧结失活，因此要求催化温度控制在280℃~值(LEL),因此要求在液体收集罐周边的区域配置可燃气体报警7.5.2当排风风管比较复杂时，易出现排风支管风量降低的情7.5.4本条规定了挥发性有机物排风系统运行监测的内容。1排风系统在工艺设备排风出口处监测气体温度(应给出温度值),以监测异丙醇(IPA)、单甲基醚丙二醇(PGME)是否因高温发生脱水作用而产生低沸点易燃性的丙烯(Propylene)。2管道系统设置废气温度检测还可以了解热回收设可能出现凝结水或结冰等现象。3风管内压力不足意味着管道内的气体流量偏离正常设计7.5.5从安全的角度出发，要设计安装一定序列的阀组8.1.1本条规定了特种废气处理系统的设置要求。1特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式、淋3尾气处理设备的入口、设备腔体内、管路以及等离子头等需要定期清理，短则2个月～3个月，长则3个月～6个月。为了8.1.2本条规定了管道连接的要求。1不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时，一般采用图4、图7接法；工艺设备不同腔体使用不相容气体时，要采用图5接法，不要采用图4、图7接法。2工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口，要一一对应图4、图5接法；图6合并使用的接法，在接头处易造成堵塞，故一工艺设备工艺设备真空泵真空泵真空泵TT艺设备真空泵真空泵真空泵减少管路中的弯头和变径。当处理气体有含有自燃气体(如硅8.1.5在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测。8.1.8采用淋洗式尾气处理设备时，由于其排出的气体中含有水8.2烷类尾气处理系统8.2.1PC-TWA值见《工作场所有害因素职业接触限值第18.2.3本条规定了几种尾气的处理方式。8.3.2由于中央废气处理设备对全氟化合物的效率几乎为“O”,8.3.4由于全氟化物经POU处理，气体分解后会产生强腐蚀性定了本条第2款规定。染环境。因此压入式除尘系统只适用于含尘浓度小于3g/m³,粉集尘罩除尘器风机排气筒(