高纯气体管路检漏技师（中级）考试试卷及答案

高纯气体管路检漏技师（中级）考试试卷及答案一、填空题（每题1分，共10分）1.高纯气体管路检漏灵敏度最高的方法是______检漏法。2.氦质谱检漏仪的核心部件是______。3.检漏前需用______吹扫管路，去除杂质水分。4.泄漏率常用单位有Pa·m³/s和______（体积流量单位）。5.皂泡检漏的压力一般不超过______MPa（表压）。6.真空检漏背景真空应达______Pa以下。7.高纯管路常用密封垫材质是______（金属类）。8.卤素检漏法检测含______元素的气体。9.压力衰减法需记录初始压力、______和时间。10.氦质谱检漏常用模式：真空吸嘴法和______法。二、单项选择题（每题2分，共20分）1.适用于微小泄漏（1e-8Pa·m³/s以下）的是（）A.皂泡法B.氦质谱法C.卤素法D.压力衰减法2.检漏前吹扫气体选（）A.压缩空气B.高纯氮气C.氧气D.氢气3.氦质谱检漏仪检测限可达（）A.1e-6B.1e-8C.1e-10D.1e-124.皂泡法优点不包括（）A.操作简单B.成本低C.定位泄漏点D.灵敏度高5.压力衰减法泄漏判定：压力下降速率>______（）A.0.1%/hB.0.5%/hC.1%/hD.2%/h6.真空检漏时检漏仪与管路（）A.串联B.并联C.接大气D.接真空泵出口7.卤素检漏仪不能检测（）A.氟利昂B.四氯化碳C.氨气D.氯甲烷8.高纯管路不选用的材质是（）A.316L不锈钢B.铜C.碳钢D.镍9.氦质谱喷吹法原理是（）A.氦气从泄漏点进入检漏仪B.检漏仪喷氦气C.氦气反应D.氦气吸附10.检漏后管路需（）A.再次吹扫B.直接使用C.充高纯气体D.压力测试三、多项选择题（每题2分，共20分）1.检漏前检查项目（）A.管路连接B.阀门关闭C.检漏仪校准D.吹扫完成2.常用检漏方法（）A.皂泡法B.氦质谱法C.卤素法D.压力衰减法3.氦质谱仪校准参数（）A.背景氦浓度B.泄漏率标准C.真空度D.温度4.皂泡法注意事项（）A.避免低温B.皂液浓度适中C.压力稳定D.可测真空5.压力衰减法适用条件（）A.容积已知B.压力稳定C.温度恒定D.泄漏点可见6.高纯管路密封方式（）A.卡套连接B.焊接C.法兰密封D.螺纹密封7.卤素法缺点（）A.灵敏度低B.污染环境C.检测范围窄D.操作复杂8.真空检漏系统组成（）A.真空泵B.检漏仪C.真空规D.接头9.泄漏率影响因素（）A.泄漏点大小B.管路压力C.气体种类D.温度10.检漏安全要求（）A.禁明火B.戴防护用品C.可燃气体管控D.设备检查四、判断题（每题2分，共20分）1.皂泡法适用于所有压力管路（）2.氦质谱检漏无需抽真空（）3.压力衰减法可测微小泄漏（1e-8Pa·m³/s）（）4.卤素检漏仪对氨气敏感（）5.检漏前必须吹扫管路（）6.scc/s表示标准状态下每秒泄漏体积（）7.真空背景越高，检漏灵敏度越高（）8.皂泡法低温下失效（）9.氦质谱检测限达1e-12Pa·m³/s（）10.高纯管路密封垫需用金属垫（）五、简答题（每题5分，共20分）1.简述高纯气体管路检漏前的准备工作。2.氦质谱检漏仪的基本工作原理是什么？3.压力衰减法检漏的操作步骤有哪些？4.皂泡检漏法的适用范围及注意事项？六、讨论题（每题5分，共10分）1.比较氦质谱检漏法与皂泡检漏法的优缺点。2.高纯气体管路检漏中，如何判断泄漏点的位置及大小？---答案部分一、填空题答案1.氦质谱2.质谱分析室3.高纯氮气4.scc/s5.0.16.1e-27.316L不锈钢垫（或铜垫）8.卤素（氟/氯）9.终止压力10.喷吹二、单项选择题答案1.B2.B3.D4.D5.C6.B7.C8.C9.A10.A三、多项选择题答案1.ABCD2.ABCD3.ABC4.ABC5.ABC6.ABC7.ABC8.ABCD9.ABCD10.ABCD四、判断题答案1.×2.×3.×4.×5.√6.√7.√8.√9.√10.√五、简答题答案1.①检查管路连接：确认法兰、卡套无松动；②吹扫：用高纯氮气吹扫30min以上，去除杂质；③校准检漏仪：氦质谱仪校准背景氦及泄漏率；④安全检查：禁明火、戴防护用品；⑤隔离非检测管路。2.检漏仪电离氦气，通过质谱分析室分离（m/e=4），检测离子流强度，强度与泄漏率成正比，因氦气背景浓度低，灵敏度极高。3.①封闭管路；②充高纯氮气（0.1-0.2MPa）；③稳定压力15min后记录P1、t1；④每15min记录P2、t2，共3次；⑤若衰减速率>1%/h，判定泄漏。4.适用：中低压（≤0.1MPa）、泄漏点可见；注意：皂液浓度适中、避低温、压力稳定、清理残留皂液、不可测真空。六、讨论题答案1.氦质谱法：优点→灵敏度高（1e-12）、定位准；缺点→设备贵、需抽真空。皂泡法：优点→操作简单、成本低；缺点→灵敏度低（1e-4）