半导体洁净室运维技师考试试卷及答案

半导体洁净室运维技师考试试卷及答案试题部分一、填空题（每题1分，共10分）1.半导体洁净室常用洁净度等级标准是______。2.FFU的中文全称是______。3.HEPA过滤器对0.3μm粒子的过滤效率不低于______。4.半导体洁净室温度一般控制在______℃（±1℃）。5.相邻洁净区压差应至少保持______Pa。6.防静电手环电阻要求为______Ω。7.无尘服清洗后存放于______环境。8.洁净室VOC监测常见指标含苯系物和______。9.洁净室压缩空气露点要求低于______℃。10.洁净室照明显色指数（Ra）不低于______。二、单项选择题（每题2分，共20分）1.FFU故障优先排查（）A.风机电源B.HEPA过滤器C.初效过滤器D.控制面板2.HEPA更换核心依据是（）A.使用满1年B.风速降30%以上C.检漏不合格D.外观破损3.压差异常降低常见原因（）A.新风过大B.回风口堵塞C.过滤器堵塞D.门未关闭4.ESD手环正确佩戴要求（）A.仅套手腕B.与皮肤直接接触C.套无尘服外D.电阻越小越好5.VOC超标第一步措施（）A.开活性炭吸附B.增新风量C.排查工艺源D.关闭洁净室6.洁净室湿度控制范围（）A.30%-40%RHB.40%-50%RHC.50%-60%RHD.60%-70%RH7.HEPA检漏常用方法（）A.称重法B.气溶胶扫描法C.目视法D.压力差法8.无尘布使用后处理（）A.直接丢弃B.清洗重复用C.分类待处理D.送回洁净区9.压缩空气压力波动主要影响（）A.设备故障B.洁净度下降C.温湿度波动D.静电增加10.门禁权限管理核心（）A.仅员工进入B.分区授权C.24小时开放D.仅需刷卡三、多项选择题（每题2分，共20分）1.每日监测参数包括（）A.温度B.湿度C.压差D.洁净度E.静电2.HEPA检漏合格标准（）A.气溶胶浓度稳定B.扫描速度≤5cm/sC.泄漏率≤0.01%D.无漏点E.风速达标3.ESD防护关键措施（）A.戴ESD手环B.防静电地板接地C.离子风机D.禁塑料物品E.校准静电仪4.压差梯度作用（）A.防污染扩散B.维持气流方向C.节能D.提高洁净度E.减少能耗5.无尘服维护要点（）A.每3-7天清洗B.破损即换C.洁净柜存放D.混普通衣物E.无需消毒6.压缩空气维护内容（）A.换过滤器B.露点监测C.压力校准D.油含量检测E.管道清洗7.VOC控制方法（）A.新风稀释B.活性炭吸附C.工艺废气收集D.减化学品E.关新风8.照明维护要求（）A.清洁灯罩B.换LED灯C.避免眩光D.Ra≥80E.亮度越高越好9.FFU运维注意事项（）A.查风机振动B.每1-3月换初效C.每半年检漏D.调风速E.避遮挡进风口四、判断题（每题2分，共20分）1.压差越大，洁净度越高（）2.HEPA可清水清洗重复用（）3.无尘服必须每天清洗（）4.ESD手环电阻越小越好（）5.VOC仅需每月监测一次（）6.温湿度控制满足工艺需求（）7.压缩空气露点越低越好（）8.FFU转速越高，洁净度越高（）9.门禁必须双人双锁（）10.HEPA安装后立即检漏（）五、简答题（每题5分，共20分）1.简述FFU日常运维要点。2.压差梯度的作用及维护方法。3.ESD防护在半导体洁净室的重要性及关键措施。4.HEPA过滤器更换依据及流程。六、讨论题（每题5分，共10分）1.如何制定半导体洁净室年度运维计划？2.洁净室突发洁净度超标时的应急处理及预防措施。---答案部分一、填空题答案1.ISO14644-1标准2.风机过滤机组3.99.97%4.225.56.1MΩ（1×10⁶）7.洁净柜8.总挥发性有机物（TVOC）9.-4010.85二、单项选择题答案1.A2.C3.D4.B5.C6.B7.B8.C9.A10.B三、多项选择题答案1.ABCDE2.BCD3.ABCDE4.ABD5.ABC6.ABCDE7.ABCD8.ABCD9.ABCDE四、判断题答案1.×2.×3.×4.×5.×6.√7.×8.×9.×10.√五、简答题答案1.FFU运维要点：①每日查风机振动、噪音；②每周清洁初效表面；③每1-3月换初效；④每半年检漏HEPA；⑤校准风速（±10%设计值）；⑥检查吊顶密封；⑦记录运行参数。2.压差梯度：作用是防低洁净区污染扩散、维持气流定向。维护：①每日测压差（≥5Pa）；②查门密封胶条；③清回风口滤网；④调新风/回风平衡；⑤关未用门。3.ESD防护：重要性是避免半导体器件静电击穿报废。措施：①手环接地（1MΩ）；②防静电地面/工作台接地；③离子风机消静电；④禁非防静电物品；⑤定期校准静电仪。4.HEPA更换：依据是检漏不合格、风速降≥30%、用满3-5年、破损。流程：①关FFU电源；②拆旧HEPA（清密封胶）；③装新HEPA（核对型号、密封）；④检漏合格；⑤恢复运行记录。六、讨论题答案1.年度运维计划：①调研工艺参数（洁净度、温湿度）；②梳理设备台账（FFU、过滤器等）；③定周期：初效1-3月换、中效6-12月换、HEPA3-5年换；④校准计划（压差、静电仪每季度）；⑤应急方案（超标、故障）；⑥预算（耗材、人工）；⑦