CN115938898B 数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质 （纽富来科技股份有限公司）

速且准确地进行包含曲线的图形的像素覆盖率描绘图案的形状且由在规定方向上依次配置的多个控制点定义的参数曲线在极值以及拐点的位置分割而生成多个参数要素，对于各参数要提取出的控制点在上述规定方向上依次连结而照射对象而得的多个矩形的划分区域各自的基2将表现描绘图案的形状且由在规定方向上依次配置的多个控制点定义的参数曲线在对于各参数要素，从上述多个控制点中提取一部分控制点，将提计算以规定尺寸分割带电粒子束的照射对象而得的多个矩形的划分区域各自的基于求出上述多个参数要素与上述多个矩形的划分区域的四边的交点控制带电粒子束照射装置而以计算出的上述照射量向上述照射对象照射上述带电粒将上述贝塞尔曲线在极值以及拐点的位置分割而从上述多个贝塞尔要素分别包含的多个控制点中提取开始点以及结上述开始点以及结束点在上述规定方向上依次用直线使用上述参数要素与上述划分区域的四边的交点，将上述划分区域将表现描绘图案的形状且由在规定方向上依次配置的多个控制点定义的参数曲线在极值以及拐点的位置分割而生成多个参数要对于各参数要素，从上述多个控制点中提取一部分控制点，将提计算以规定尺寸分割带电粒子束的照射对象而得的多个矩形的划分区域各自的基于求出上述多个参数要素与上述多个矩形的划分区域的四边的交点控制带电粒子束照射装置而以计算出的上述照射量向上述照射对象照射上述带电粒3从上述多个贝塞尔要素分别包含的多个控制点中提取开始点以及结上述开始点以及结束点在上述规定方向上依次用直线连结而生成上上述程序使计算机执行如下处理：使用上述参数要素与上述划分区域的四边的交点，控制部，将表现描绘图案的形状且由在规定方向上依次配置算以规定尺寸分割上述带电粒子束的照射对象而得的多个矩形的划分区域各自的基于上上述照射部以计算出的上述照射量向上述对象物照射上述带电将上述贝塞尔曲线在极值以及拐点的位置分割而从上述多个贝塞尔要素分别包含的多个控制点中提取开始点以及结上述开始点以及结束点在上述规定方向上依次用直线上述控制部使用上述参数要素与上述划分区域的四边的交点，4装置对抗蚀剂进行曝光而形成图案的所谓的电子[0006]本发明提供一种能高速且准确地进行包含曲线的图形的像素覆盖率计算的数据[0007]本发明的一个方式的数据生成方法将表现描绘图案的形状且由在规定方向上依5[0023]本发明的一个方式的数据生成方法将表现描绘图案的形状且由在规定方向上依[0025]图1是实施方式的描绘装置的概要构成图。如图1所示，描绘装置100具备描绘部[0026]在描绘室103内配置有XY工作台105。在XY工作台105上配置有作为描绘对象的基6[0030]图2是表示成形孔径阵列板203的构成的概念图。如图2所示，在成形孔径阵列板口203a均由相同的尺寸形状的矩形或者圆形形成。电子束200的一部分别通过这些多个开个消隐器进行通过成形孔径阵列板203的多个开口203a后的多射束中的、分别对应的射束[0032]从电子枪201(发射部)发射的电子束200借助照明透镜202对成形孔径阵列板203[0033]多射束20a～20e通过与消隐孔径阵列板204分别对应的消隐器内。消隐器分别对单独地通过的电子束中的截止的射束进行消隐偏转。消隐器不对接通的射束进行消隐偏[0035]限制孔径部件206使由消隐孔径阵列板204的消隐器偏转为射束接通的状态的射[0036]通过限制孔径部件206后的多射束由物镜207聚焦，在基板101上形成所希望的缩以成形孔径阵列板203的多个开口203a的排列间距乘以上述的所希望的缩小率而得的间距7以用于校正邻近效应等的校正系数。照射时间计算部112将照射量除以构成多射束的多个移动，调整为使得通过一次多射束的照射而能够控制点位于曲线上。多个控制点沿着图形的周围在顺时针或者逆时针的规定方向依次定[0049]面积密度计算部111将4个控制点所示的曲线在极值以及拐点的位置处分割成更8[0058]对于每个像素，判定像素的边界线与基本贝塞尔要素的曲线是否交叉(步骤[0059]如图12所示，也可以用Δt划分曲线上的t＝0到t＝1，在各位置计算曲线上的坐[0062]将对第2像素映像图进行在步骤S107中进行的旋转、反转的反向操作而得的映像9[0064]在不利用上述实施方式的方法的情况下，贝塞尔曲线(参数曲线)根据曲线的次[0065]通过贝塞尔曲线的分割而生成的多个贝塞尔要素能够作为并行处理的单位加以[0071]此外，也可以将实现控制计算机110的至少一部分的功能的程序经由因特网等的