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文档简介

四川机电职业技术学院机械工程系PAGEPAGE10《冶金机械设备维修》教案学习情景2:冶金机械设备现代维修技术授课日期授课时数2授课形式项目教学模块八其它修复技术简介教学目的1、理解表面形变强化、表面热处理强化和表面化学热处理强化、电火花强化。2、了解激光表面处理、电子束表面处理。3、训练学生处理实际设备修理能力。4、培养团队意识、职业责任感及自学能力。教学重点、难点重点:各类表面处理技术原理及方法难点:各类表面处理技术的实际运用课外作业阅读专业杂志及书籍,多参加实际锻炼课后体会讲授方法得当,层次分明,重点突出,启发思维,互动良好授课主要内容或纲要使用教具、挂图或其它教学手段时间分配●课程介绍、学习要求:各类表面处理技术是现代维修技术中常见的修理技术。通过学习,训练学生针对冶金机电设备的常见故障,能合理确定维修策略,选取恰当的维修方法,并能熟练使用各种常见工器具,处理设备问题的能力。●总结1、讲解了表面形变强化、表面热处理强化和表面化学热处理强化、电火花强化。2、介绍了激光表面处理、电子束表面处理。●布置作业1、粘接与粘涂技术实施要点演示文档(PPT)、机电设备载体、各类维修技术工器具和材料、技术资料引题5分钟;授课40分钟;实训30分钟;总结5分钟学习情境2:冶金机械设备现代维修技术模块8:其它修复技术简介在检修过程中,对零件进行修复时,一方面希望能恢复零件尺寸,保持其配合关系,另一方面,还希望能赋予零件表面更好的性能,如更高耐磨性、更好的承载能力和抗疲劳强度等等。另外,由于工作中的零件表面常处于最大应力状态,且在不同的介质环境中工作,使得零件的失效和破坏大多发生在表面或从表面开始,所以需要对零件表面进行强化。所谓表面强化[P101]:就是改善机械零件和构件表面性能、提高疲劳强度和耐磨性能的工艺方法,又叫表面处理。采用表面强化工艺能改善工件表面的硬度、组织和残余应力状况,提高零件的物理力学性能,从而获得良好的表面质量,延长零件的使用寿命,有时还能提高其耐腐蚀性能,另外,还可节约稀有贵重金属,对各种高新技术的发展具有重要推动作用。表面强化技术一般可分为以下几类:(1)、表面形变强化(又称,表面机械强化):是在常温下,利用机械冷压加工方法使金属表面层发生冷塑变形,增大表面硬度,在表面层形成残余压应力,提高它的抗疲劳性能;同时将微观不平的顶峰压平,减小表面粗糙度值,使加工精度有所提高,从而形成高硬度,高强的硬化层,常用的方法喷丸,滚压和内挤压。表面形变强化方法简单,效果较好,但对耐磨性能影响较小。(2)、表面热处理强化。是利用固态相变,通过快速加热的方法对零件表面淬火(如感应淬火,火焰淬火,激光淬火等),可提高材料的耐磨性和抗疲劳强度。(3)、表面化学热处理强化。是利用外来元素的固态扩散渗入,来改变金属表面层的化学成分以实现表面强化,如渗碳、渗氮、渗金属等。化学处理需要专门的设备,处理周期长、成本高。(4)、表面合金化(例如:P112~P113激光、电子束的表面合金化)。一般是指利用工件表层金属的重新熔化和凝固,以得到预期成分或组织的一种表面技术。它是采用高能量密度的快速加热,将金属表层熔化,或将涂覆在金属表面的合金材料熔化,随后靠激冷却进行凝固而得到硬化层,而使表层具有高的耐磨性。(5)、表面薄膜强化。是通过物理的或化学的方法在金属表面被覆与基体材料不同的膜层,形成耐磨膜,抗蚀膜等。主要方法:电镀、气相沉积(P112激光气相沉积)、离子注入等。需要有专门的设备,技术性高,成本高,形成的薄膜很薄,不宜长期使用。一、表面形变强化(或称表面机械强化)表面形变强化原理是,通过机械手段(滚压、内挤压和喷丸等)在金属表面产生压缩变形,使表面形成形变硬化层(此形变硬化层的深度可达0.5~1.5mm),从而使表面层硬度、强度提高,有利于提高零件抗疲劳强度和使用寿命。表面形变强化工艺方法简单、成本低廉、强化效果显著,在机械设备维修领域中常用,其名目也十分繁多,常用的强化方法主要有滚压、内挤压和喷丸等,现对其介绍如下:[注:常用的冷压强化工艺方法示意图附后(本教案P5)]1、滚压强化滚压强化技术是1929年由德国人提出的,1933年在美国铁路上开始应用滚压方法,1938年前苏联应用于机车车轴轴颈。1950年美国、前苏联在军用、民用飞机上大量应用孔挤压技术,如提高干涉配合铆接、干涉配合螺接;1970年国内航空部门开始将冷挤压工艺应用到飞机制造及维修中。滚压强化是指利用经过淬硬和精细抛光过的、可自由旋转的滚柱或滚珠,对零件表面进行挤压,以提高加工表面质量的一种机械强化加工方法。滚压强化工艺是一种无切削加工工艺,表面滚压可以显著地提高零件的疲劳强度,并且降低缺口敏感性,提高零件承载能力。滚压加工可减小表面粗糙度值2~3级,提高硬度10%~40%,表面层耐疲劳强度一般提高30%~50%,耐磨性提高1.5~3倍,可以修正和提高形状误差和表面粗糙度,而且滚压过程操作方便,效率高、净洁无污染,其具有应用范围宽,滚压后的零件使用寿命长等特点,适用于对粗糙度和硬度均有一定要求的零件表面。滚轮滚压加工可加工圆柱形或锥形的外表面和内表面曲线旋转体的外表面、平面、端面、凹槽、台阶轴的过渡圆角,特别适用于形状简单的大型轴类、套筒类零件内、外旋转表面的加工、滚压螺钉、螺栓等零件的螺纹以及滚压小模数齿轮和滚花等,尤其是尺寸突然变化的结构应力集中处,如火车轴的轴径等,通过表面滚压处理后,其表面质量有了显著提高,很好的提高了经济效益。如天津大学内燃机研究所通过对370Q型汽油机、376Q型柴油机进行的曲轴负荷分析、强度估算及弯曲疲劳强度实验表明,与未滚压曲轴相比教,经圆角滚压的曲轴疲劳强度增加了92.3%,安全系数由1.18提高到2.28并大幅度提高曲轴疲劳强度;还有如柳州南方汽车缸套厂在对缸套进行滚压试验后发现同一材料、硬度和壁厚的气缸套,由原来的直槽改制成为沉割槽,其破断力在原来基础上提高了35%以上,技术指标显著增加,获得明显效果。滚柱或滚珠材质通常采用高速钢或硬质合金。目前主要的滚压加工工具有硬质合金滚轮式滚压工具、滚柱式滚压工具、硬质合金YZ型深孔滚压工具、圆锥滚柱深孔滚压工具、滚珠式滚压工具。滚柱滚压是最简单最常用的冷压强化方法。单滚柱滚压压力大且不平衡,这就要求工艺系统有足够的刚度;多滚柱滚压可对称布置滚柱以滚压内孔可外圆,减小了工艺系统的变形;这种方法也可滚压成形表面或锥面。滚珠滚压接触面积小,压强大,滚压力均匀,用于对刚度差的工件进行滚压,亦可做成多滚珠滚压。离心转子滚压是利用离心力进行滚压的方法。滚球或滚柱的重量、转子直径及转速决定了滚压力的大小,一般成正比关系。2、内挤压强化挤压加工是利用截面形状与工件孔形相同的挤压工具(胀头),在两者间有一定过盈量的前提下,推孔或拉孔而使表面强化的工艺措施。内挤压强化原理是:利用棒、衬套、模具等特殊的挤压工具,对零件孔或周边连续、缓慢、均匀地挤压,形成塑性变形成的硬化层。塑性变形层内组织结构发生变化,引起形变强化,并产生残余压应力,降低了孔壁粗糙度,对提高材料疲劳强度和应力腐蚀能力很有效。其效率较高,效果较好,方法简单,使用于高强度钢,合金结构钢、铝合金、钛合金以及高温合金等零件,主要被挤压孔的形状是圆孔、椭圆孔、长圆孔、台阶孔埋头窝孔和开口孔等。可采用单环可多环挤刀,后者与拉刀相似,挤后工件孔质量提高。由于内挤压特殊的高效而简单的强化工艺,使得内挤压强化工艺得到了一系列广泛的应用,并也取得了良好的效果,也由于内挤压的特殊工艺性,这就要求挤压时一定要均匀、缓慢、连续的挤压孔,不允许有冲击和暂停现象。3、喷丸强化1908年,美国制造出激冷钢丸,金属弹丸的出现不仅使喷砂工艺获得迅速发展,而且导致了金属表面喷丸强化技术的产生。1929年,在美国由Zimmerli等人首先将喷丸强化技术应用于弹簧的表面强化,取得了良好的效果。20世纪40年代,人们就发现了喷丸处理可在金属材料表面上产生一种压缩应力层,可以起到强化金属材料、阻止裂纹在受压区扩展的作用。到了20世纪60年代,该工艺逐步应用于机械零件的强化处理上。20世纪70年代以来,该工艺已广泛应用于汽车工业,并获得了较大的经济技术效益,如机车用变速器齿轮、发动机及其他齿轮均采用了喷丸强化工艺,大幅度提高了抗疲劳强度。进入20世纪80年代后,喷丸处理技术在大多数工业部门,如飞机制造、铁道机车车辆、化工、石油开发及塑料模具、工程机械、农业部门等推广应用,到了20世纪90年代其应用范围进一步扩大,如电镀前进行喷丸处理可防止镀层裂纹的发生。喷丸强化是用压缩空气或离心力等将珠丸高速、连续喷出,撞击金属工件表面,使之产生屈服,形成冷硬层和残余压应力。形成压缩应力层的目的是预防工件疲劳破坏,把易产生疲劳破坏裂纹部位的拉应力转为压应力,从而有效地控制裂纹扩展。通过喷丸可以明显改变金属表面的应力状态、显微硬度、表层的微观形貌和相成分,从而提高零件的疲劳强度、抗冲击磨损及抗应力腐蚀性能,延长零件使用寿命。喷丸所用丸珠可以是铸铁的,也可以是砂石,还有用钢丸的,其尺寸为0.2~4mm。对软金属,如铝制品,为了避免喷丸加工后在表面残留铁质颗粒而引起电解腐蚀,应使用铝丸或玻璃丸。喷丸表面粗糙度与珠丸的直径成正比,尺寸较小,表面粗糙度值要求较小的工件用较细小的珠丸,但过小则强化作用不大,只能增加美观。喷丸强化主要用于强化形状比较复杂的零件,如齿轮、连杆、曲轴、链条等,也可用于一般零件,如板弹簧、螺旋弹簧、履带销、焊缝、轴、叶片等。图:常用的冷压强化工艺方法a)单滚柱或多滚柱滚压b)单滚珠或多滚珠滚压c)钢珠挤压和涨孔d)喷丸强化二、表面热处理强化和表面化学热处理强化1、表面热处理强化表面热处理是通过对零件的表层进行加热、冷却,表层发生相变,从而改变表层组织和性能,而不改变其表层成份的热处理工艺,也称作表面淬火技术。表面热处理是一种发展较早、应用较广的表面工程技术。随着科学技术的进步,尤其是新型热源的出现,使表面热处理技术日益完善。表面淬火的原理是:用电磁感应、火焰、激光等加热方法对零件表面迅速加热,使表面材料快速加热到相变临界点以上而转变为细小的奥氏体组织,心部材料仍保持在相变临界点以下,保持原有组织,其后用水或油、或依靠母材快速冷却达到淬火目的,获得微细的马氏体组织,从而提高了零件的表面硬度和耐磨性。而零件心部因未发生相变,仍保持其强度高、韧性好的性能特点。这种表面处理方法常用于齿轮、轴类的表面强化。按照加热方式,传统表面热处理可分为感应加热、火焰加热、电接触加热、浴炉(高温盐溶炉)加热等表面淬火工艺。其中,感应加热多数用于工业金属零件表面淬火,是使工件表面产生一定的感应电流,迅速加热零件表面,然后迅速淬火的一种金属热处理方法。感应加热表面淬火设备按输出电流的频率可分为工频、中频及高频表面淬火设备。[选讲:感应加热的原理:工件放到感应器内,感应器一般是通入中频或高频交流电(500-300000Hz)的空心铜管,产生交变磁场,在工件中产生出同频率的感应电流,这种感应电流在工件的分布是不均匀的,在表面强,而在内部很弱,到心部接近于0,利用这个集肤效应,可使工件表面迅速加热,在几秒钟内表面温度上升到800-1000℃,而心部温度升高很小。感应加热频率的选择:根据热处理及加热深度的要求选择频率,频率越高加热的深度越浅。其中(1)高频加热的深度为0.5-2.5mm,一般用于中小型零件的加热,如小模数齿轮及中小轴类零件等。(2)中频加热深度为2-10mm,一般用于直径大的轴类和大中模数的齿轮加热。(3)工频加热淬硬层深度为10-20mm,一般用于较大尺寸零件的透热,大直径零件(直径φ300mm感应加热表面淬火具有表面质量好,脆性小,淬火表面不易氧化脱碳,变形小等优点,所以感应加热设备在金属表面热处理中得到了广泛应用。另外,电接触加热表面淬火是利用低电压、大电流(350~400A/cm2),当电极和工件表面接触时通过两者之间的接触电阻,使工件表面局部快速加热和急速冷却来完成淬火的。火焰加热表面淬火是将高温火焰或燃烧后的炽热气体喷向工件表面,从而实现工件表面淬火。[选讲]实例:齿轮是机械工业中应用最广的零件之一,主要用于传递动力、调节速度和改变运动方向,工作时受力情况复杂。由于传递扭矩,齿轮承受很大的交变弯曲应力和较大的冲击载荷,齿面相互滚动或滑动接触,承受很大的弯曲应力,并发生强烈的摩擦。齿轮的主要失效形式有疲劳断裂和过载断裂,齿面磨损及接触疲劳破坏等。机床齿轮运转较平稳,无强烈的冲击载荷,因而通常采用45、40Cr等中碳钢制造。中碳钢经调质处理后,其抗拉强度σb可达800~1000Mpa,冲击韧度αk为500~600KJ/cm2,强度高,韧性好。经表面淬火后,表面硬度可达55~58HRC,并在表面造成一定压应力,提高了齿轮齿面的耐磨性和抗疲劳性能。用中碳钢制造的主轴或曲轴也可用表面淬火方法提高其轴颈表面的硬度和耐磨性。2、表面化学热处理强化化学热处理是古老的工艺之一,在中国可上溯到西汉时期。已出土的西汉中山靖王刘胜的佩剑,表面含碳量达O.6~0.7%,而心部为O.15~O.4%,具有明显的渗碳特征。明代宋应星撰《天工开物》一书中,就记载有用豆豉、动物骨炭等作为渗碳剂的软钢渗碳工艺。明代方以智在《物理小识》“淬刀”一节中,还记载有“以酱同硝涂錾口,煅赤淬火”。硝是含氮物质,当有一定的渗氮作用。这说明渗碳、渗氮或碳氮共渗等化学热处理工艺,早在古代就已被劳动人民所掌握,并作为一种工艺广泛用于兵器和农具的制作。随着化学热处理理论和工艺的逐步完善,自二十世纪初开始,化学热处理已在工业中得到广泛应用。随着机械制造和军事工业的迅速发展,对产品的各种性能指标也提出了越来越高的要求。除渗碳外,又研究和完善了渗氮、碳氮和氮碳共渗、渗铝、渗铬、渗硼、渗硫、硫氮和硫氮碳共渗,以及其他多元共渗工艺。化学热处理:指金属或合金工件置于一定温度的活性介质中保温,使一种或几种元素渗入它的表层,以改变其化学成分,组织和性能的热处理工艺。化学热处理与一般热处理的区别在于:它通过改变钢表面的化学成分和组织,达到改善表面性质的目的,使得用单一材料制作的零件,在表面和心部具有显著不同的两种性能。它在工业中得到越来越广泛的应用。按渗入元素的性质,化学热处理可分为渗非金属和渗金属两大类。前者包括渗碳、渗氮、渗硼和多种非金属元素共渗,如碳氮共渗、氮碳共渗、硫氮共渗、硫氮碳(硫氰)共渗等;后者主要有渗铝、渗铬、渗锌,钛、铌、钽、钒、钨等也是常用的表面合金化元素,二元、多元渗金属工艺,如铝铬共渗、钽铬共渗等均已用于生产。此外,金属与非金属元素的二元或多元共渗工艺也不断涌现,例如铝硅共渗、硼铬共渗等。化学热处理的目的:主要是提高钢件表面的硬度,耐磨性,抗蚀性,抗疲劳强度和抗氧化性等。每一种化学热处理工艺都各有其特点,可根据工件的材质和工作条件选择相应的化学热处理工艺。三、电火花强化电火花强化[2-P108]是以直接放电的方式向零件表面提供能量,并使之转化为热能和其它形式的能量,以达到改变表层化学成分和金相组织的目的,从而是表面性能提高。1、电火花强化原理[其过程示意图参见P109。左图:R:限流电阻;C:储能电容器]组成电火花强化设备的最基本部件是脉冲电源和振动器。前者供给瞬时放电能量;后者使电极振动并周期地接触工件当电极棒(焊条)在工作表面旋转,当某些部位间隙很小时,使主机放电回路形成通路。在他们相互接触的微小区域瞬时流过电流,电流密度可达到105~106A/cm2,而放电时间仅10-6~10-5秒,由于放电能量在时间上和空间上高度集中,在放电微小的区域内产生了约8000℃~10000℃的高温,使该区域的局部材料高能离子化,电极棒(焊条)在等离子冶金状态下高速转移到工件表面,并扩散进入到工件表层,形成冶金型牢固结合的沉积层。主机电源放电周期为10-3~10-1秒,高频率的放电和电极棒(焊条)在工件表面的高速旋转扫描,可实现大面积高效率的沉积涂层。简单地说,2、电火花强化过程该过程包括强化前准备,实施强化和强化后处理三个方面。强化前准备:首先了解工件的性质和要求,以便确定是否采用电火花强化工艺。其次,确定强化的部位,并清洁强化部位,最后选择好强化设备、强化规准和电极材料。在有条件的情况下,或强化的工件比较特殊的时,最好能用同样材料制成的试块进行强化试验。实施强化,是电火花强化的重要环节,包括安置设备、工件及电极;调整电极与工件强化表面的夹角;选择电极移动方式和掌握电极移动速度;去除瑕疵等强化后处理包括表面清理和表面质量检查等。3、电火花在机械设备维修中的应用我国运用电火花运用电火花强化工艺始于五十年代。由于当时在基础理论和应用技术等方面缺乏研究,加之强化设备本身也存在某些问题,因此未能得到推广。在七十年代,这项被遗忘的工艺因在刀具、模具等上的运用所取得的明显的效果,而重新引起重视。目前,已被广泛应用在模具强化、刀具强化、机械零件(尤其是易摩擦磨损的零件)强化、磨损件的微量修补。此外,通过使用强化机上配置的附件和极性开关,还可以对工件进行电火花加工,用于取出折断的丝锥或钻头,在淬硬的工件上加工小孔等。但是应该注意电火花加工也存在一些缺点:通常使用的设备的强化厚度仅0.02~0.05mm;表面粗糙度一般仅为Ra1.25~5μm;手工操作的强化速度较慢,强化生产率为0.2~0.3cm2/min;强化层的均匀性、连续性较差。因此,限制了强化工艺在某些场合的运用。然而,如果我们能充分认识该工艺的特点,并合理运用,作为一项特殊的表面处理技术,它将具有广泛的应用潜力。四、激光表面处理激光是20世纪以来,继原子能、计算机、半导体之后,人类的又一重大发明。它的原理早在1917年已被著名的物理学家爱因斯坦发现,但要直到1958年美国科学家肖洛和汤斯发现了一种神奇的现象:当他们将内光灯泡所发射的光照在一种稀土晶体上时,晶体的分子会发出鲜艳的、始终会聚在一起的强光。根据这一现象,他们提出了"激光原理"。1960年5月15日,美国加利福尼亚州休斯实验室的科学家梅曼宣布获得了波长为0.6943微米的激光,这是人类有史以来获得的第一束激光,梅曼因而也成为世界上第一个将激光引入实用领域的科学家。激光是在有理论准备和生产实践迫切需要的背景下应运而生的,它一问世,就获得了异乎寻常的飞快发展,激光的发展不仅使古老的光学科学和光学技术获得了新生,而且导致整个一门新兴产业的出现。激光可使人们有效地利用前所未有的先进方法和手段,去获得空前的效益和成果,从而促进了生产力的发展。1、激光的特点(1)、定向发光普通光源是向四面八方发光。要让发射的光朝一个方向传播,需要给光源装上一定的聚光装置,如汽车的车前灯和探照灯都是安装有聚光作用的反光镜,使辐射光汇集起来向一个方向射出。激光器发射的激光,天生就是朝一个方向射出,光束的发散度极小,大约只有0.001弧度,接近平行。1962年,人类第一次使用激光照射月球,地球离月球的距离约38万公里,但激光在月球表面的光斑不到两公里。若以聚光效果很好,看似平行的探照灯光柱射向月球,按照其光斑直径将覆盖整个月球。(2)、亮度极高在激光发明前,人工光源中高压脉冲氙灯的亮度最高,与太阳的亮度不相上下,而红宝石激光器的激光亮度,能超过氙灯的几百亿倍。因为激光的亮度极高,所以能够照亮远距离的物体。红宝石激光器发射的光束在月球上产生的照度约为0.02勒克斯(光照度的单位),颜色鲜红,激光光斑明显可见。若用功率最强的探照灯照射月球,产生的照度只有约一万亿分之一勒克斯,人眼根本无法察觉。激光亮度极高的主要原因是定向发光。大量光子集中在一个极小的空间范围内射出,能量密度自然极高。(3)、颜色极纯光的颜色由光的波长(或频率)决定。一定的波长对应一定的颜色。太阳光的波长分布范围约在0.76微米至0.4微米之间,对应的颜色从红色到紫色共7种颜色,所以太阳光谈不上单色性。发射单种颜色光的光源称为单色光源,它发射的光波波长单一。比如氪灯、氦灯、氖灯、氢灯等都是单色光源,只发射某一种颜色的光。单色光源的光波波长虽然单一,但仍有一定的分布范围。如氪灯只发射红光,单色性很好,被誉为单色性之冠,波长分布的范围仍有0.00001纳米,因此氪灯发出的红光,若仔细辨认仍包含有几十种红色。由此可见,光辐射的波长分布区间越窄,单色性越好。2、激光表面处理技术激光表面处理原理通过将高功率密度激光束向工件表面进行照射,光能被工件表面所吸收,并转换成热能,由此实现表面处理。激光表面处理设备主要包括激光器、功率计、导光聚焦系统、工作台、数控系统和软件编程系统等构成。激光表面处理技术主要有激光表面强化、激光表面涂敷、激光表面非晶态处理、激光表面合金化、激光气相沉积等。其中:激光表面强化:用激光向零件表面照射加热,在极短时间内,零件表面极薄层就达到相变或熔化温度,从而使表面性能提高。激光表面涂敷:激光表面涂敷原理和堆焊类似,把预先配好的合金预刷在要处理的表面上,然后用激光熔化,或激光熔化的同时把合金粉末喷注在熔池内。涂敷材料有:Co基、Ni基和Fe基金属粉,非金属陶瓷材料有SiC、WC、TiC、Al2O3、ZrO2、Y2O3、BN等。其目标主要是提高表面耐磨损、耐热和耐腐蚀性等。激光表面非晶态处理:金属及合金极易结晶,传统的金属材料都以晶态形式出现。但如将某些金属熔体,以极快的速率急剧冷却,例如每秒钟冷却温度大于100万度,则可得到一种崭新的材料。由于冷却极快,高温下液态时原子的无序状态,被迅速“冻结”而形成无定形的固体,这称为非晶态金属;因其内部结构与玻璃相似,故又称金属玻璃。非晶态金属的突出特点是强度和韧性兼具,即强度高而韧性好,一般的金属这两者是相互矛盾的,即强度高而韧性低,或与此相反。其耐磨性也明显地高于钢铁材料,同时还具有优异的耐蚀性、优良的磁学性能等。除熔体急冷法外,激光表层熔化法是目前制备非晶态合金的实验技术和工业方法之一,另外还有气相沉积法、、离子注入法、等,较快速、经济是化学沉积法和电沉积法。激光表面合金化:一般情况下,在廉价材料的表面上添加新的合金元素,用高能激光束辐照熔化、新添元素和基体表层熔合而形成一种和基体与新添材料性质完全不同的新的合金表层,达到表面改性的目的激光气相沉积:所谓气相沉积技术,是一种在基体上形成一层功能膜的技术,它是利用气相中发生的物理、化学过程,在材料表面沉积单层或多层具有特种性能的金属或化合物镀膜,从而使材料或制品获得所需的各种优异性能。该技术在1970年前也称作干镀。1980年前后被广泛用于电子和装饰方面的无公害加工以及刀具的硬面涂层,近20年来,随着电子器件的小型化、高可靠性、超高集成度以及各类尖端科学技术的发展,使得气相沉积技术得到了迅速发展和广泛应用。而激光气相沉积就是以激光束作为热源在金属表面形成镀膜,通过控制

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