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1第九章位移的测量（1）被测位移使传感器结构发生变化，把位移量转换成电量，如电位器式传感器、电容式传感器、电感式传感器、差动变压器式传感器、电涡流式传感器、霍尔式传感器（2）利用某些功能材料的效应，如压电传感器、金属应变片、半导体应变片等，通过将2分辨率很高，受被测物体材对温度、湿度不敏感，可在非线性误差与电压比及测量1″结构简单、动态特性好，分辨大便用于小位移的测量（几微米~几毫米）。差动变压3微电子技术、通信领域、计算机、光学、IT和办公自动化等民用高技术方面的领先也是与（4）X射线干涉仪和F-P干涉仪：分辨率接近皮米（pm，10-12m,测量范围从几纳米析工具。STM的发明使人类第一次能够实时地观测单个原子在物STM的基本原理是基于量子力学的隧道效应和三维扫描。它是用一个极细的尖针（针子便会穿过针尖和样品之间的势垒而形成纳安级（10-9A）的隧道电流4针在垂直于样品方向上高低的变化就反映出样品表面的起伏从而得到样品表面态密度的分布及原子排列图像。这种扫描方式可用于观察表面形貌起伏较大的样品，且可通过加在z（2）可实时地得到在实空间中表面的三维图像，可用于（3）可以观察单个原子层的局部表面结构，而不是体相或整个表面的平均性（4）可在真空、大气、常温等不同环境下工作，甚至可将样品浸在水和其它（5）配合扫描隧道谱可以得到有关表面电子结构的信STM主要用来描绘表面三维的原子结构图，在纳米控制控制反馈单元计算机数字信号处理偏压探头探针样品样品台基座STM的原理要求所观测的样品必须有一定程度的导电性，对绝缘体就无法观测。1986年受邀前往美国的G.Binnig在斯坦福大学与C.F.Quate等人在STM的基础上发明了原子力显5与STM相比AFM有两个比较关键的技术，一是AFM力传感器的制备，二是力传感器悬臂梁形

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