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文档简介

一、单选题(只有一个正确答案)解析:热偶真空计是利用气体热传导原理工作的,其有效测量范解析:水银的密度极大(约13.6×10³kg/m³),在测量相同压差时所需液柱高度7.真空检漏的目的是什么?12.热导式真空计(如皮拉尼真空计)的测量结果会受哪种因素显著影响?A.卤素检漏仪15.测量高真空度时,经常采用冷阴极电离真空计(潘宁规),其优点是?解析:放气是指真空系统中的固体材料(如器壁、工件)在真处理?A.涂抹润滑油C.表面喷漆A.分子间碰撞越频繁C.环境的湿度22.标准漏孔在真空检漏中的主要作用是?23.下列哪种泵属于捕集式真空泵(无油真空泵)?A.油封旋片泵C.低温冷凝泵A.抽气速率计算出系统的总漏率(包含漏气和放气)。A.冷却水套C.强磁场B.表压力(相对压力)解析:吸枪模式(正压检漏)是将示漏气体充入被测件内部使D.反应时间极快(微秒级)理性质(如热导率或电离率),因此测量的绝对压力与气体种类无关。泵油?解析:油封旋片泵在抽除大量可凝性气体(如水蒸气)时,由34.在测量高真空或超高真空时,电离真空计的读数会因X射线效应而产生什么影A.读数偏低A.玻璃真空系统36.麦氏真空计(麦克劳真空计)是基于什么原理测量真空度的?C.波义耳-马略特定律(等温压缩原理)原因是?解析:离子轰击依赖气体电离产生等离子体,如果真空度过低(处于粗真空范围),解析:扩散泵依靠冷壁将喷射的泵油蒸汽冷凝回落,若冷却不足,油蒸汽无法有效冷凝,会大量向高真空端返流,严重污染真空系统。氦气?C.粘滞流(湍流或层流)解析:表压为-0.1MPa(即-1个标准大气压)时,根据公式绝对压力=41.在真空度测量中,麦氏计(麦克利夫真空计)主要用于测量?C.全量程真空度C.冷却C.肥皂泡法解析:扩散泵不能直接对大气抽气,必须通过前级泵(如旋片扩散泵的临界前级压力(通常在几帕至十几帕)以下,才能开启加热。46.罗茨真空泵(机械增压泵)的最大特点是?B.在中高真空范围抽速极大47.真空系统的“抽速”是指?A.低真空(10^5-10^2Pa)B.中真空(10^2-10^-1Pa)C.高真空及超高真空(10^-1-10^-8Pa及以上)52.在进行真空系统氦质谱检漏时,如果采用“喷吹法”,喷吹氦气的方A.从上到下53.扩散泵的工作液体通常是?C.酒精B.系统内部存在“放气”(解吸)现象解析:材料表面和内部吸附的气体在抽真空时会缓慢释放(放气),这是限制高真55.维护分子泵时,最需要注意的是?解析:涡轮分子泵属于高速旋转的精密机械(转速达数万转),对轴承要求极高,解析:1标准大气压为101325Pa,等于760Torr,因此1Torr=101325/760C.冷凝泵(冷阱配合前级泵)通过通电加热(除气)使这些气体提前脱附并被抽走,以保证测量准确。A.极限真空度极高解析:干式螺杆泵在抽气过程中不接触任何工作液体(无油),因此不会产生污染,C.振动环境空)状态有助于提升密封效果。B.铜丝C.铁丝D.关闭主阀,保持泵内真空解析:停泵前必须打开放气阀(或气镇阀)向泵腔内放入大气64.真空镀膜工艺中,为什么要在镀膜前对基片进行离子轰击(辉光放电清洗)?B.排除可凝性蒸汽(如水蒸气),防止泵油污染B.粘滞流A.听音法(嘶嘶声)B.真空计法(观察压力变化)C.肥皂水涂抹法(外部加压)D.氦质谱检漏法(抽真空模式)果系统是抽真空状态(负压),外部肥皂水会被吸入而无法形成气泡,故不适用。C.关闭气镇阀C.导电性好材料(如不锈钢、无氧铜)必须具备极低的饱和蒸汽压和化学稳定B.皮拉尼规和电容式规D.电离规和磁悬浮规解析:复合真空计通常将测量中低真空的热偶计(或皮拉尼计C.粘度(如重烃),压缩比越高;分子量越小的气体(如氢气、氦气),压缩比越低。A.环境湿度增加76.标准状态下,1摩尔的气体体积约为?解析:根据理想气体状态方程,在标准状态下(OC°,1标准大气压),1摩尔任气体漏入(漏孔)或内部材料在大量释放吸附气体(放气源)。解析:低温吸附泵利用多孔性吸附剂(如活性炭、分子筛)在极低温度(如液氮温解析:真空设备常伴随高温(加热器、泵体)、化学油品及高C.密度82.当使用兆欧表(摇表)测量电机绝缘电阻时,应将摇表转速稳定在每分钟多少C.负压吸扁,损坏设备A.气体体积B.石棉垫片A.最低刻度解析:油槽油位应处于中间刻度(通常为2/3处),油量不足会导致泵过热或润A.只能测量正压C.既能测量正压也能测量负压90.当真空阀门关闭严密时,随着时间推移,系统真空度通常会呈现什么变化趋势?91.干式真空泵(如螺杆泵、罗茨泵)与油封泵相比,其最大优点是?A.极限真空度高B.运行平稳目的是?A.透明胶带B.每周C.进行饱和测试(活化)C.任意顺序解析:必须先关闭通往真空泵的阀门(隔离系统),切断污染源,待泵内真空恢复98.下列哪种材料不适合用作超高真空(10^-7Pa级)的密封垫片?解析:橡胶材料在超高真空下会释放大量气体(脱气),不适合超高真空环境,通A.温度场不均匀C.泵损坏B.干燥处理(使用干燥塔)C.加压A.冷却水堵塞B.真空球阀C.针阀105.检查真空系统耐压(保压)测试时,保压时间一般要求为多少?解析:通常保压测试时间为30分钟至2小时,具体视系统大小和重要性而定。B.打开破坏阀(大气阀)A.玻璃本身变质B.玻璃表面吸附了水蒸气(真空泄漏)110.罗茨真空泵属于什么类型的泵?A.分子泵112.在真空冷冻干燥(冻干)过程中,升华干燥阶段的主要目的是?解析:升华干燥主要除去产品中的共晶点水分(自由水),冻干结束后再进行解析B.兆欧表(摇表)C.钳形电流表B.塞尺C.游标卡尺117.下列哪种情况不属于真空泄漏?通常表示?B.泵油已脏C.存在严重漏气二、多选题(有2个以上正确答案)1.下列属于真空获得设备的有?3.在真空技术中,常用的真空测量仪器有?解析:选ABC是因为热偶计、电离计和皮拉尼计都是测量低气压(真空度)的常用仪器;不选D是因为水银气压计主要用于测量大气压(1个标准大气压左右),4.造成真空系统漏气的原因通常有?5.下列属于真空系统常用密封材料的有?B.聚四氟乙烯C.氟橡胶不选D是因为泵油的作用是降低极限压强(提高真空度),而不是增加极限压强。C.升压检漏法解析:选ABC是因为氖质谱法灵敏度高、气泡法适用于外漏A.气体渗透率低B.出气率低9.旋片式真空泵的常见故障有?C.喷油11.下列属于分子流特征的是?D.自来水护靶材和舱壁;不选D是因为镀膜过程必须在负压(真空状态)下进行,微正压15.下列属于真空阀门作用的是?B.调节气流量16.冷井(冷阱)在真空系统中的作用是?A.捕集水蒸气D.提高系统极限真空可凝性气体,提高极限真空度;不选C是因为强),而不是降低真空度。20.真空干燥技术广泛应用于?B.气泡法(对于可疑的外漏点)解析:选AB是因为在低真空(粗真空)下,气体密度大,分子间碰撞剧烈,常表A.预冻使水分成冰30.下列属于罗茨真空泵工作特点的是?A.不能直接抽大气A.提供过滤的动力(压差)解析:选ABC是因为短而粗的直管能最大程度降低流导损失(流阻),提升系统A.氦气B.氮气C.氢气42.下列哪些参数直接影响真空系统的极限真空度?A.基底温度过高解析:极限真空度达不到、关泵后真空度迅速下降(压升率大)是典型的漏气特征;47.真空计的校准通常需要使用什么?C.校准漏孔解析:校准需要标准的测量环境(真空室)、标准的参考仪器(标准真空计)以及49.下列材料中,适合作为高真空冷规(电离真空计)收集极材料的是?C.锡50.真空系统密封圈(如O型圈)使用前,应做哪些处理?C.涂抹润滑油C.溅射功率D.磁场强度C.玻璃A.机械打磨56.分子筛吸附剂在使用前需要?D.注入油解析:分子筛吸附水汽后需经高温(如300-400℃)烘烤活化以释放吸附的水分,57.下列哪种情况会导致溅射靶材(如铝靶)过热熔化?A.溅射功率过大解析:功率大、冷却效果差(水温高)直接导致升温;氩气流59.下列属于高真空计测量范围的有?C.极高真空D.超高真空C.存在严重漏气61.柱塞阀(柱塞式截止阀)的特点是?解析:基底不洁、温度波动、真空度低(氧化)都会导致膜层致密性下降产生针孔;A.氦气瓶C.质量分析器C.抽速不够D.油污解析:密封面是密封的关键,任何划痕、凹凸、碰撞或油污都会破坏密封性。69.气动隔膜阀的特点是?A.不会产生火花解析:隔膜阀由弹性膜片隔离流体和驱动部件,耐腐蚀、无泄漏(密封性好)、无C.减少阴影效应72.真空放电现象主要利用的是?解析:真空放电(如辉光放电、弧光放电)是利用气体在低气A.溅射气压C.基底温度B.尽量短C.减少弯头75.真空规管(传感器)的维护包括?B.保持系统正压(充氮气)D.避免膜层在高温下氧化解析:冷却后通常充入氮气保护膜层(特别是金属膜),防止吸氧变色;开室需待B.水压法79.下列关于机械真空泵(如旋片泵)常见故障及可能原因的描述,正确的有?解析:热偶真空计(A)测量范围通常在低真空到中真空区域(约10^-1至10^-真空和超高真空(10^-2至10^-8Pa及更低)的标准仪器,选C;U型管真空计 B.系统内壁表面吸附的大量气体(如水汽)缓慢释放为“虚漏”,选B、C、D。87.在真空测试操作中,若系统采用热传导真空计(如电阻真空计)进行测量,可解析:高湿度环境会影响某些检漏仪(如卤素仪)的灵敏度,氨气检漏则需注意腐12.使用热传导真空计(如皮拉尼计)测量高真空时,读数会逐渐归零。解析:扩散泵中的泵油蒸气是被扩散泵工作气体(如水蒸气或解析:伺服阀能根据控制信号精确调节气流,是现代真空系统中实现精确控制的关至2倍,以保证测量的准确性。解析:通常认为10^-1Pa至10^-5Pa(含)为高真空区间。23.当真空系统出现反喷(如水环泵)现象时,应立即关闭吸入阀和排出阀。解析:应先开启阀门的气路端(靠近系统端),再开启泵端,以保护真空泵免受大密(接近大气压)。解析:高质量的真空油脂(如阿皮松)常用于动密封33.真空系统的耐压强度测试(如打氮气)结36.测量超高真空(10^-6Pa以下)时,必须使用冷规(电离真空计的一种)。41.真空测试时,真空表指针出现缓慢回转现象,说明系统有微小的泄漏点。隙,一般推荐油位在1/2至3/4之间。解析:水银真空计(如U型管压力计)的读数受液柱高度差和温度影响较大,只解析:拧松螺母时,应遵循反旋紧方向,即通常向右(顺时针64.对于高真空系统,为了提高检漏效率,应使用高频火花检漏仪进行大面积扫查。解析:优质的耐高温真空垫片(如氟橡胶)在

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