CN119395898A 一种校准系统及校准方法 （深圳中科飞测科技股份有限公司）

本申请实施例提供了一种校准系统及校准2分束器，所述分束器用于将所述校准光分为向所述测第一光学元件，设置于所述检测装置和所述分束器之间的光路第二光学元件和第一相机，所述第一相机位于所述第三光学元件和第二相机，所述第二相机位于所述所述第一图像和所述第二图像用于调整所述参考物镜和/或所述测量束校验所述测量物镜安装位相对于所述检测装置的光束校验所述参考物镜安装位相对于所述检测装置的光所述倾斜量为所述参考物镜和/或所述测量物镜的径向平面相对于预设轴线检测装置的倾斜度，所述偏心位移量为所述参考物镜和/或所述测量物镜的光轴中心相对于预设轴线检测装置的径向移动量，所述轴向位移量为所述参考物镜和/或所述测量物镜的光轴中所述预设轴线为所述测量光束的方向线或所述参考3在所述第一光学元件、所述测量物镜和所述参考物镜在所述第一光学元件、所述测量物镜和所述参考物镜被配置于根据所述第三成像位置相对于所述第一成像位置的第一相对偏移信在所述第一光学元件、所述测量物镜和所述参考物镜位于光路中配置所述第一光学元件在垂直于光轴方向上进行移动，直至在所述第一光学元件、所述测量物镜和所述参考物镜位于光路配置所述参考物镜在垂直于光轴方向上进行移动，直至所述第四成配置所述检测装置和/或测量物镜安装位的倾斜度，直至所述检测装置发出的校准光经过所述分束器被第一反射镜反射后，在所述检测装置中的第五成像位置与标准位置重4配置所述第一反射镜移出光路，并在所述测量光路、所述参考调整所述测量反射镜的倾斜度直至所述检测装置发出的校准光经过所述分束器分光调整所述参考反射镜的倾斜度，直至所述检测装置发出的配置参考物镜安装位的倾斜度，直至所述检测装置发出的校准光调整所述测量反射镜至所述测量物镜的焦面，以及调整沿所述参考物镜的光轴方向调整所述参考物镜，以使所述干涉条纹的在垂直所述参考物镜的光轴方向的平面内调整所述参考物镜5[0011]所述第一图像和所述第二图像用于调整所述参考物镜和/或所述测量物镜的位6述分束器和所述第三光学元件在所述第二相机中三成像位置和第四成像位置；所述第三成像位置为所述校准标记经过所述第一光学元件、7[0029]在本申请实施例中，利用校准系统可以对干涉测量装置的参考光路以及分束器103到PDA108可以依据干涉图像判断待测物110与测量物镜104之间的距离。在参考物镜104和测量物镜8[0033]第一光学元件202设置于所述检测装置和所述分束器之间的光路上，可以用于对[0034]第一相机205可以位于所述第二光学元件203的焦平面处，以便在第一相机205中[0035]第二相机206位于所述第三光学元件204的焦平面处，以便在第二相机206中聚焦[0036]第一图像和第二图像用于调整参考物镜105和/或测量物镜104的位置，参考物镜面相对于预设轴线的倾斜度，偏心位移量为物镜的光轴中心相对于预设轴线的径向移动104的倾斜量、偏心位移量和轴向位移量。在参考物镜105和测量物镜104的位置均不固定是分别用于将校准光聚焦在第一相机205和第二相机206中的，第二光学元件203和第三光一图像和第二图像的差异可以更加准确的校准参考物镜105或测量物镜104，使参考物镜9机205和第二相机206，参考图3所示，为本申请实施例提供的又一种校准系统的结构示意四图像为自准直仪201发出的光束经过分束器103和第三光学元件204被第二相机206接收[0042]在本申请实施例中，既可以仅调整参考物镜105的位置，也可以仅调整测量物镜105位置调节测量物镜104位置，或者同时调整参考物镜105和测量物镜104为例进行说明，[0044]具体地，第一图像和第三图像的区别在于光路中是否存在第一光学元件202和测镜104和第二光学元件203后，在第一相机205中形成第一图像，可以在调整第一光学元件[0045]具体地，参考物镜105的光轴与测量物镜104的光轴可以关于分束器103的分光面[0046]具体地，第二图像和第四图像的区别在于光路中是否存在第一光学元件202和参相机206中形成第四图像，检测装置201发出的校准光依次经过第一光学元件202、分束器光学元件202的焦面与测量物镜104的后焦面可以重合，能够使检测装置201发出的校准光[0048]在一种情况下，参考物镜105的后焦面与测量物镜104的后焦面可以关于分束器直仪201发出的光束在第二图像中的成像清晰，避免由于成像模糊造成第二相对偏移信息验参考物镜安装位相对于检测装置的光轴的倾斜度。第二反射镜可以确定参考物镜105的机205中的成像位置；第二成像位置为校准标记经过分束器103和第三光学元件204在第二第二光学元件203可以对从检测装置201发出的测量光束进行会聚，配置第三光学元件204第一图像中的第三成像位置。第三成像位置为检测装置201发出的光束经过第一光学元件四成像位置为校准标记经过第一光学元件202、分束器103、参考物镜105和第三光学元件准标记在第二相机206中的成像位置由第二成像位置变化[0070]具体地，第一相对偏移信息可以表示在测量光路中加入测量物镜104和不加测量参考物镜105的成像位置的变化。可以根据第一相对偏移信息和第二相对偏移信息调整参聚焦在第一光学元件202焦面上即测量物镜104的后焦面上，然后光经过测量物镜104变化[0075]可以通过在与第一光学元件202的光轴垂直的平面内上下或左右移动第一光学元的第二图像的成像清晰度较高，避免由于成像模糊造成第二相对偏移信息出现较大误差，后焦面和参考物镜105的后焦面重合，能够在轴向位置上保持测量物镜104和参考物镜105以表示测量物镜104的光轴和参考物镜105的光轴关于分束器103对称，能够快速的调出干物镜105的加入对参考光路的成像位置也基本镜104所在的平面上的第一反射镜并发生反射，反射光在检测装置201中形成十字形的成装置201发出的校准光经过分束器103分光形成的测量光束被测量反射镜207反射后，在检校准光经过分束器103分光形成的参考光束被参考反射镜106反射后，在检测装置201中的述第一成像位置为所述校准标记经过所述分束器和所述第二光学元件在所述第一相机中