2025 电子气体 六氟化硫

GB/T18867—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子工业用气体六氟化硫与相比除结

GB/T18867—2014《》,GB/T18867—2014,

构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了范围见第章年版的第章

———(1,20141);

更改了六氟化硫应符合的技术要求见第章年版的第章

———(4,20143);

更改了采样的要求见第章年版的

———(5,20144.1.3、4.1.5);

更改了纯度计算方法见年版的

———(6.1,20144.2);

更改了氧氩氮四氟化碳一氧化碳二氧化碳甲烷含量的测定方法见年版的

———+、、、、、(6.2,2014

4.3);

增加了氢六氟乙烷和八氟丙烷含量的测定方法见

———、(6.2);

增加了尾气处理的要求见

———(6.6);

更改了检验规则见第章年版的

———(7,20144.1);

更改了标志包装运输及贮存的要求见年版的

———、、(8.1、8.2,20145.1);

更改了安全信息的内容见年版的

———(8.3,20145.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位昊华气体有限公司福建德尔科技股份有限公司浙江省化工研究院有限公司

:、、、

福建永晶科技股份有限公司上海上芃电气有限公司北京普瑞分析仪器有限公司南大光电淄博有

、、、()

限公司中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司广东华特气体股份有限公司福建恒申电子材料科技

、()、、

有限公司昊华气体有限公司西南分公司中昊光明化工研究设计院有限公司大连大特气体有限公司

、、、、

上海华爱色谱分析技术有限公司联雄投资上海有限公司杭州新世纪混合气体有限公司沈阳中复

、()、、

科金压力容器有限公司宿州伊维特新材料有限公司北京睿信捷环保科技有限公司广东电网有限责

、、、

任公司电力科学研究院国网山东省电力公司电力科学研究院深圳供电局有限公司国网湖南省电力

、、、

有限公司电力科学研究院上海凡伟仪器设备有限公司西南化工研究设计院有限公司

、、。

本文件主要起草人陈兴龙汤月贞陈施华林德荣史婉君钟卉菲刘春花李文陈凯史兰

:、、、、、、、、、、

黄秀荣张艳志张露露陈艳珊吕磊谢世鹏郭琼孙福楠依俊廷杜雨桐方华黄辉杨金山

、、、、、、、、、、、、、

鲍光强王大为李明谈益强尹乐乐赵洁唐念李丽齐国栋唐峰吴俊杰何波唐中伟赖晓峰

、、、、、、、、、、、、、、

周鹏云唐霞梅

、。

本文件于年首次发布年第一次修订本次为第二次修订

2002,2014,。

Ⅰ

GB/T18867—2025

电子气体六氟化硫

1范围

本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求采样检验规则标志包装运输贮存描述了相应的

、、、、、、,

试验方法提供了六氟化硫的安全信息

,。

本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB/T7144

铝合金无缝气瓶

GB/T11640

工业六氟化硫

GB/T12022

液化气体气瓶充装规定

GB/T14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

大容积钢质无缝气瓶

GB/T33145

气瓶集束装置充装规定

GB/T34528

气体分析采样导则

GB/T43306

特种设备生产和充装单位许可规则

TSG07

气瓶安全技术规程

TSG23

移动式压力容器安全技术监察规程

TSGR0005

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义

。

4技术要求

六氟化硫的技术要求应符合表的规定

1。

1

GB/T18867—2025

表1技术要求

项目指标

六氟化硫纯度摩尔分数-2

(SF6)()≥99.9995×10

氢含量摩尔分数-6

(H2)()<0.1×10

氧氩含量摩尔分数-6

(+)(O2+Ar)()<0.5×10

氮含量摩尔分数-6

(N2)()<2.0×10

四氟化碳含量摩尔分数-6

(CF4)()<0.5×10

一氧化碳含量摩尔分数-6

(CO)()<0.1×10

二氧化碳含量摩尔分数-6

(CO2)()<0.3×10

甲烷含量摩尔分数-6

(CH4)()<0.1×10

六氟乙烷含量摩尔分数-6

(C2F6)()<2.0×10

八氟丙烷含量摩尔分数-6

(C3F8)()<1.0×10

水分含量摩尔分数-6

(H2O)()<1.0×10

可水解氟化物以氟离子计含量质量分数-6

()()<1.0×10

酸度以计质量分数-6

(HF)()<0.1×10

杂质总含量摩尔分数-6

()≤5.0×10

5采样

六氟化硫的采样应符合的规定

GB/T43306。

6试验方法

警告———本文件规定的试验过程可能导致危险情况使用者应采取适当的安全和健康防护措施

,。

61六氟化硫纯度

.

611杂质总含量

..

杂质总含量按公式计算

(1):

x=x+x+x+x+x+x+x+x+x+x

1112345678910………………(1)

式中

:

x杂质总含量摩尔分数

11———();

x氢含量摩尔分数

1———();

x氧氩含量摩尔分数

2———(+)();

x氮含量摩尔分数

3———();

x四氟化碳含量摩尔分数

4———();

x一氧化碳含量摩尔分数

5———();

x二氧化碳含量摩尔分数

6———();

x甲烷含量摩尔分数

7———();

2

GB/T18867—2025

x六氟乙烷含量摩尔分数

8———();

x八氟丙烷含量摩尔分数

9———();

x水分含量摩尔分数

10———()。

612六氟化硫纯度

..

六氟化硫纯度按公式计算

():

2-

x=-x×2×2

(1001110)10…………(2)

式中

:

x六氟化硫纯度摩尔分数

———()。

62氢氧+氩氮四氟化碳一氧化碳二氧化碳甲烷六氟乙烷和八氟丙烷含量的测定

.、、、、、、、

621测定方法

..

按规定的方法测定六氟化硫中氢氧氩氮四氟化碳一氧化碳二氧化碳甲烷

GB/T28726、+、、、、、、

六氟乙烷和八氟丙烷含量可采用其他等效的方法测定当对测定结果有异议时以本文件规定的方

。。,

法为仲裁方法

。

622预分离柱

..

预分离柱长约内径约的不锈钢管内装粒径为的改性碳

:0.6m、2mm316L,0.18mm~0.25mm

分子筛或采用其他等效预分离柱

,。

623色谱柱

..

6231色谱柱长约内径约的不锈钢管内装粒径为的

...Ⅰ:2m、2mm316L,0.18mm~0.25mm5A

分子筛或其他等效色谱柱该柱用于测定氢氧氩氮一氧化碳甲烷含量

,。、+、、、。

6232色谱柱长约内径约的不锈钢管内装粒径为的高分

...Ⅱ:6m、3mm316L,0.18mm~0.25mm

子聚合物乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物或其他等效色谱柱该柱用于测定四氟化碳二氧化

(),。、

碳六氟乙烷八氟丙烷含量

、、。

624标准样品

..

标准样品中组分含量为-6-6摩尔分数平衡气为高纯氦应符合的

1×10~5×10(),,GB/T4844

规定

。

63水分含量的测定

.

按的规定执行可采用或其他等效的方法测定当对测定结果有异

GB/T5832.3。GB/T5832.1。

议时以规定的方法为仲裁方法

,GB/T5832.3。

64酸度的测定

.

按的规定执行

GB/T12022。

65可水解氟化物以氟离子计的测定

.()

按的规定执行

GB/T12022。

66尾气处理

.

测定时应有六氟化硫尾气处理措施以防止六氟化硫对环境的污染

,,。

3

GB/T18867—2025

7检验规则

71瓶装六氟化硫的抽样判定和复验

.、

711同一生产线连续稳定生产的六氟化硫构成一批每批产品质量不超过

..,5t。

712应逐一检验氧氩含量氮含量水含量当检验结果均符合表的规定时则判该产品合格

..(+)、、,1,。

当检验结果不符合表的规定时则判该产品不合格

1,。

713表中所列出的除氧氩含量氮含量水含量之外的其余杂质含量应按表规定的抽样数量

..1(+)、、2

随机抽样检验当检验结果符合表的规定时则判该批产品合格当检验结果不符合表的规定时

。1,。1,

则应自同批产品中重新加倍随机抽样检验若检验结果符合表的规定时则判除不合格的那瓶产品

,1,

外该批产品合格若检验结果仍不符合表的规定时则判该批产品不合格

,;1,。

表2瓶装六氟化硫抽样表

单位为瓶

每批气瓶数最少抽样气瓶数

1~101

11~202

>205

72集装格装及槽车装六氟化硫的抽样判定

.、

对于集装格装及槽车装六氟化硫产品应逐一检验并验收当检验结果均符合表的规定时则判

,。1,

该产品合格当检验结果不符合表的规定时则判该产品不合格

。1,。

8标志包装运输及贮存

、、

81标志

.

811六氟化硫出厂时应有产品质量合格证其内容至少应包括

..,:

产品名称生产厂名称危险化学品生产许可证编号

———,,;

生产日期或批号以及保质期

———,;

充装质量

———(kg);

本文件号及六氟化硫的纯度

———。

812包装容器上应涂刷电子气体六氟化硫字样

..“”。

813六氟化硫的包装标志应符合的规定颜色标志应符合的规定标签应符合

..GB190,GB/T7144,

的规定

GB15258、GB/T16804。

82包装运输及贮存

.、

821采用钢质气瓶时应符合所有部分或的规定采用铝合金气瓶时应

..,GB/T5099()GB/T33145。,

符合的规定气瓶集束装置应符合的规定

GB/T11640。GB/T34528。

822六氟化硫的充装及贮运应符合的规定充装及贮运

..GB/T14193、TSG07、TSG23、TSGR0005,

的安全管理条例见危险化学品安全管理条例特种设备安全监察条例

《》《》。

823宜使用进行内表面处理的气瓶处理后的气瓶应满足本文件的要求瓶阀出气口连接方式宜使

..,。

4

GB/T18867—2025

用

CGA590、DISS716。

824应防止泄漏和瓶口被污染

..。

825六氟化硫产品应存放在阴凉干燥通风的库房内不应暴晒远离热源

..、、,,。

83安全信息

.

六氟化硫的安全信息见附录

A。

5

GB/T18867—2025

附录A

资料性

()

安全信息

A1基本信息

.

A11化学式中文名六氟化硫英文名

..:SF6;:;:Sulfurhexafluoride。

A12相对分子质量按年国际相对原子质量计算

..:146.055(2022)。

A13代码号危险货物编号

..:CAS:2551-62-4;UN:1080。

A14物理性质沸点熔点临界温度临界压力相对蒸气密度

..:-63.8℃,-50.8℃,45.6℃,3.76MPa;

空气

(=1):5.11。

A2危险性说明

.

A21六氟化硫在常温常压下为无色无臭无毒的不燃气体遇热有爆炸危险

..、、,。

A22六氟化硫气体可能会引起昏昏欲睡或眩晕空气中高浓度六氟化硫可引起缺氧有神志不清和

..。,

死亡危险

。

A23六氟化硫的化学性质不活泼热稳定性好在下对大多数材料仍能完全保持稳定加热

..,,204℃,,

到以上时该物质分解生成硫氧化物和氟化物等有毒腐蚀性烟雾

500℃,。

A24在放电条件下六氟化硫会分解出一系列含硫的氟化物其分解产物具有腐蚀性当含有这些杂

..,,,

质时便变成有毒物质

。

A3操作注意事项

.

A31生产过程密闭操作生产装置全面通风操作人员经过专门培训严格遵守操作规程

..,。,。

A32操作人员穿戴适当的个人防护装备现场配备正压空气呼吸器

..。。

A4紧急情况应对措施

.

A41发生火灾时切断气源消防人员佩戴防毒面具穿全身消防服在上风向灭火切断气源用

..,。,,。,

水冷却容器根据着火原因选择适当灭火剂灭火

,。

A42如果误吸入六氟化硫迅速脱离现场至空气新鲜处保持呼吸道通畅如呼吸困难给氧如呼

..,,。,。

吸停止心跳停止立即进行心肺复苏术并就医

、,,。

A5泄漏处理处置