杭州华昇迈科技高端光源项目环境影响报告表

建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：杭州华昇迈科技有限公司高端光源项目编制日期：二〇二六年一月中华人民共和国生态环境部制1 码位点标济别C3562半导体器件专质改建扩建技术改造首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目批文号（选填）否是：价况根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类试行）》，表1-1本项目专项评价设置情况专项评价的类别设置原则本项目情况大气排放废气含有有毒有害污染物①、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标②的建设项目。本项目废气不涉及《有毒有害大气污染物名录（2018年）》的污染物、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气，因此无需设置大气专项评价。地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂。本项目生产废水不直排，也不属于污水集中处理厂项目，因此无需设置地表水专项评价。环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量③的建设项目。本项目危险物质的存储量未超过临界量，因此无需设置环境风险专项评价。生态取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目。本项目未从河道取水，无取水口，因此无需设置生态专项评价。海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目。本项目非海洋工程建设项目，因此无需设置海洋专项评价。注：①废气中有毒有害污染物指纳入《有毒有害大气污染物名录》的污染物（不包括无排放标准的污染物）。②环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。③临界量及其计算方法可参考《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169）附录B、附录C。况况析规划范围：钱塘芯谷核心区块位于长三角南翼地塘江沿岸，规划范围东至六工段直河，北至滨江二路发、金融服务、居住配套等功能于一体，产业优势明规划主导产业：规划主导产业为汽车制造和集成重点以半导体产业和未来产业为主导方向，发展集成电终端、人工智能、增材制造等产业，打造半导体千亿产规划结构：规划形成“一核一轴一廊一带，三园产业总体布局：形成“两园三区”的产业结构。两园：设地点位于杭州钱塘区芯谷产业园内，规划为工业用地为激光器制造，属于“C3562半导体器件专用设备制造”行产业。因此项目建设符合杭州钱塘芯谷核心区HANGZHOUQIANTANGXINGUHEXINQUHANGZHOUQIANTANGXINGUHEXINQUZONGT本项目位于杭州市钱塘区河庄街道东围路9号和达芯谷一期13幢101,对照规划环评清单1生态空间清单，项目位于萧山区大江东产业集聚重点管控单元，编码：ZH33010920013。根据《杭州市生态环境分区管控动态更新方案》,项目所在区域已经调整为钱塘区大江东产业集聚重点管控ZH33011420004,属于重点管控单元。清单1生态管控清单见表1-2。表1-2生态空间清单(清单1)管控单元分类空间布局引导根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。污染物排放管控严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。所有企业实现雨污分流。环境风险防控强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。资源开发效率要求/现状用地类型工业用地、农林用地激光器，属于规划区的主导产业，符合规划产业定位，且项目已取得备案，符合产业准入条件。本项目周边500m范围无现状及规划居住区，有防护绿地等隔离带。本项目新增污染物总量按要求削减替代，符合总量控制要求。本项目已落实表1-3环境准入负面清单（清单5）分类行业清单工艺清单产品清单禁止准入类产业新建、扩建火力发电（燃煤）；49、饲料添加剂、食品添加剂制造；75、轮胎制造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶染整工段的）；114、原油加工、天然生物制油及其他石油制品；117、基本颜料、油墨及其类似产品制造；合成材料制造；专用化学品制造；炸药、火工及焰火产品制造；水处理剂等制造单纯混合或分装外的）；118、肥料制造：化学肥料制造（单纯混合和分装外的119、日用化学品制造（单纯混合或分装的除外120、化学药品制造；121、化学纤维制造（单纯纺丝除外）；123、轮胎制造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新（轮胎制造；有炼化及硫化工艺的）；131、铁合金制造；132、有色金属冶炼（含再生有色金属冶炼133、有色金属合金制造；135、金属制品表面处理及热处理加工（有电镀工艺的（现有企业不增加总量技改项目除外）；有钝化工艺的热镀锌）。///工艺金属制品制造的金属表面处理等必须工艺环节除外）。//单纯的表面喷涂项目//水洗工艺的服装制造。//距离居住区规划边界200米范围内布置溶剂型油漆喷涂项目。/禁止危化品货物分拨中心和仓库建设；危险化学品/危险废物仓储（企业配套原料或产品库除外）//废旧资源（含生物质）加工再生、利用等//57、制鞋业制造（使用有机溶剂的）///现有氨纶、锦纶等三类项目技改不得增加产低于区域减排目标。/注：本次环境准入负面清单仅针对钱塘区大江东产业集聚重点管控单元（ZH33011420004）区块，钱塘区大江东城镇生活重点管控单元（ZH33011420002）区块未设置工业用地，因此不会新增工业企业，现有企业按《杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案》管控要求提升整治。规划环评审查意见：杭州市生态环境局钱塘分局关于抄告《杭州钱塘芯谷核心区块总体规划环境影响报告书审查小组意见》和《关于杭州钱塘芯谷核心区块总体规划环境影响报告书的复核报告》的函，对规划近期建设项目环评的指导意见：近期建设项目必须关注基础设施支撑能力，根据环境准入条件清单和环境制约因素控制规划区产业发展方向和建设项目的规模、布局。近期建设项目在开展环境影响评价时，涉及区域环境概况、规划符合性等内容可适当简化，强化污染符合性分析：本项目符合产业准入条件，符合当地产业政策，本项目废气、废水、噪声经治理后达标排放，一般固废综合利用，危险废物委托有资质单位处能够满足相应标准要求，对周围环境影响不大，对新增污染物总量进行区域平衡替代削减，不会改变项目所在区域环境质量等级，不突破环境质量底线。综上，规划范围：东、西、北均以钱塘江界线为界，南至红十五线、十二棣横河及绍兴县接壤的北侧河道，西南至杭州江东工业园区与杭州空港经济开发区的边界线。规划总面积427平方千米，其中陆域面积348平方千米，钱塘江水域近期重点建设以智慧和人才为导向的产业平台，侧重吸引人口集聚，逐步远期逐步成为产城融合、生态和谐、创新高效、服务完善的国际一流的智三区一城，即“国家自主创新示范区、长三角产城人融合先行区、浙江产业③特色定位：创新智造航母、陆空海一体门户、生态休闲江湾、宜居宜业家规划布局结构：规划形成“四区多园、三心“四区”：即江东、前进、临江、临空四大产业片，分别分布于由钱江通道和江东大道构成的四个象限内。每个产业片区基本包含四项要素，分别为特色“三心”：即三级服务中心，包括“城市服务核心—产业服务中心—产业邻里）：特色产业园区，1处传化智慧物流园，3处临江创新单元，临江职业高中、临江D.临空产业片区：重点发展临空会展商贸园、临空制造园、民营经济创新规划符合性分析：本项目拟建地属于江东产业片区，该区是重点发展江东先进装备制造园、江东战略性新兴产业园等2处特色产业园区。本项目从事激光器的制造，符合江东产业片区的功能定位。根据《杭州大江东产业集聚区（大江东本项目建设符合《杭州大江东产业集聚区（””本项目位于杭州大江东产业集聚区(大江东新区)分区的区块七，本项目属于“C3562半导体器件专用设备制造”项目，规划环区块产品业/汽车及零部件、智能机东产业集聚重点管控单元2(ZH33010920013),ZH33011420004化学肥料制造（单纯混合和分装外的制品制造及翻新（轮胎制造；有炼化及有色金属冶炼（含再生有色金属冶炼有钝化工艺的热镀锌）。/工艺金属制//单纯的表面喷涂项目；87、黑色金属压延延加工//洗工艺的服装制造//距离居住区规划边界200米范围内布置溶剂型油漆喷涂项目/禁止危化品货物分拨中心和仓库建设；危险化学品/危险废物仓储（企业配套原料或产品库除外）//废旧资源（含生物质）加工再生、利用等//）；//类产业/纶等三类项目技改不得污染物削减量不低于标。/镀、磷化、电化学镀、铸造工艺的金属制品制造加工，不涉及溶剂型油漆喷涂工艺；项目实施后新增污染物总量指标可在区域内进行削减替代平衡，不会导致区域污染物排放量突破总量管控限值。综上分析，本项目符合杭州大江东产业集聚析根据《浙江省建设项目环境保护管理办法》（2021年修正）的要求，对本项根据《杭州市生态环境分区管控动态更新方案》，本项目所在钱塘区的环境表1-5环境质量底线要求符合性分析内容管控目标本项目符合性分析是否符合环境质量底水环境质量底线目标地表水市控以上断面达到或优于Ⅲ类水质比例保持在100%。本项目所在地附近水环境质量能满足Ⅳ类水功能要求，地表水水质较好。本项目废水经预处理后纳管排放，不会对附近地表水造成影符合线大气环境质量底线PM2.5年均浓度完成市下达的目标；空气质量优良天数比率完成市下达的目标。本项目所在区域环境空气中O3有超标现象，杭州市人民政府办公厅已发布杭州市大气环境质量限期达标规划，环境空气质量将逐步改善。本项目废气配有治理措施，并能做到达标排放，项目实施后对所在地环境质量影响较小。符合壤境量线土环质底重点建设用地安全利用率达到97%以上。本项目实施后将做好分区防渗措施，在此基础上不会对土壤环境产生明显影响，可确保达到区域土壤环境质量底线目标。符合表1-6资源利用上线要求符合性分析内容管控目标本项目符合性分析是否符合资源利用上限能源（煤炭）资源标通过一手抓能源供应保障，一手抓能源结构优化，到2025年实现“三保两降两升”的主要发展目标。——“三保”：电力、天然气、油品等能源供应保障能力持续增强。到2025年，全市电网110千伏及以上变电容量达到11268万千伏安，天然气供应能力不小于44亿立方米，汽柴油供应能力不小于420万吨。——“两降”：即单位GDP能耗、煤炭消费量进一步下降。“十四五”期间，全市单位GDP能耗累计降幅不低于15%，煤炭消费下降目标达到省要求。——“两升”：即清洁能源占比、非化石能源占比进一步提升。到2025年，全市清洁能源占比不低于68%，非化石能源占比不低于20%。本项目不设锅炉，不属于高能耗项目，采用电能，选用节能设备，满足能源资源利用上线目标。符合线目标到2025年，用水总量目标为32.68亿立方米（含非常水0.48亿立方米）、万元GDP用水量比2020年下降16%、万元工业增加值用水量比2020年下降17%，农田灌溉水有效利用系数达到0.614。本项目不属于高能耗用水项目，满足水资源利用上线目标要求。符合土地资源利用标到2025年，杭州市耕地保有量不少于1162.7平方公里，永久基本农田面积控制在968平方公里以内，建设用地总规模不超过2152平方公里，城乡建设用地总规模不超过1752平方公里，人均城镇建设用地面积控制在94平方米以内，万元GDP地耗不超过9.7平方米。本项目租赁厂房进行生产运营，不新增用地，满足土地资源利用上线目标要求。符合），表1-7项目与《杭州市生态环境分区管控动态更新方案》相关内容符合性分析类别相关要求本项目情况符合性分析空间布局引导根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。合理规划布局居住、医疗卫生、文化教育等功能区块，与工业区块、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。本项目与周边工业企业、居住区之间有绿化带等隔离带，合理规划布局。符合污染物排放管控严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。所有企业实现雨污分流。项目所在厂区已实现雨污分流，项目废气、废水、噪声经相应处理措施处理后均能达标排放，要求企业严格实施污染物总量控制制度。符合环境风险防控强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。本项目投入运行后企业将建立常态化的隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设，要求企业加强风险防范措施建设，及时编制企业突发环境事件应急预案并备案，定期演练总符合资源开发效率要求///重点管控对象大江东产业集聚区项目所在地位于大江东产业集聚区范围，属于重点管控对象。符合本项目为C3562半导体器件专用设备本项目用地位于城镇开发边界内，不涉及生态保护红线，不涉及永久基本农田，表1-8“四性五不批”要求符合性分析建设项目环境保护管理条例符合性分析是否符合四性（一）建设项目的环境可行性项目符合《杭州市生态环境分区管控动态更新方案》的相关要求，符合相关规划要求；符合产业政策要求；采取的环保措施合理可靠，污染物可稳定达标排放，因此建设项目具有环境可行性。符合（二）环境影响分析预测评估的可靠性项目各要素分析预测按照相关技术导则及《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类试行）》进行，因此建设项目环境影响分析预测评估具有可靠性。符合（三）环境保护措施的有效性本项目产生的污染物均有较为成熟的技术进行处理，从技术上分析，只要切实落实本报告提出的污染防治措施，本项目废气、废水、噪声可做到达标排放，固废有合理的处置去向。符合（四）环境影响评价结论的科学性本环评采用的基础资料均由建设单位根据实际建设情况提供，并基于现行的技术导则方法开展量化为主的分析，综合考虑建设项目实施后对各种环境因素可能造成的影响，提出当前较为成熟的环保措施，因此本评价结论具有良好的科学性。符合五不批（一）建设项目类型及其选址、布局、规模等不符合环境保护法律法规和相关法定规划项目符合《杭州市生态环境分区管控动态更新方案》的相关要求，符合相关规划要求，符合产业政策要求；采取的环保措施合理可靠，污染物可稳定达标排放，项目实施不会改变所在地的环境质量水平和环境功能。因此项目符合环境保护法律法规和相关法定规划。符合原则（二）所在区域环境质量未达到国家或者地方环境质量标准，且建设项目拟采取的措施不能满足区域环境质量改善目标管理要求根据《2024年度杭州市生态环境状况公报》，本项目所在区域为大气环境质量不达标区，超标因子为O3，在采取区域减排行动后预计会有改善。项目所在地地表水环境能满足相关标准要求。本项目废气经采取措施后，可达到排放标准。清洗废水、冲洗废水委托有资质单位处置，制纯浓水与经化粪池预处理的生活污水纳入市政污水管网，送萧山临江水处理厂统一处理达标后排放，不会使纳污水体地表水环境质量恶化；噪声厂界预测可达标；固废有合理的处置去向。项目拟采取的措施满足区域环境质量改善目标管理要求。符合原则（三）建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国家和地方排放标准，或者未采取必要措施预防和控制生态破坏本环评提出了相应的污染防治措施，建设单位在落实污染防治措施后可以确保污染物排放达到国家和地方排放标准，不会对生态产生破坏。符合原则（四）改建、扩建和技术改造项目，未针对项目原有环境污染和生态破坏提出有效防治措施本项目属于新建项目，无原有环境污染问题。符合原则（五）建设项目的环境影响报告书、环境影响报告表的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺陷、遗漏，或者环境影响评价结论不明确、不合理项目环境影响报告的基础资料和数据真实可靠，内容不存在缺陷、遗漏，环境影响评价结论明确、合理。符合原则根据上表分析可知，本项目建设符合《建设项目环境保护管理条例》（国务经对照《〈长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）〉浙江省实施表1-9与浙江省实施细则的符合性分析序号负面清单项目情况1港口码头项目建设必须严格遵守《中华人民共和国港口法》、交通运输部《港口规划管理规定》、《港口工程建设管理规定》以及《浙江省港口管理条例》的规定。符合，本项目不属于港口码头项目。2禁止建设不符合《全国沿海港口布局规划》、《全国内河航道与港口布局规划》、《浙江省沿海港口布局规划》、《浙江省内河航运发展规划》以及项目所在地港口总体规划、国土空间规划的港口码头项目。经国务院或国家发展改革委审批、核准的港口码头项目，军事和渔业港口码头项目，按照国家有关规定执行。城市休闲旅游配套码头、陆岛交通码头等涉及民生的港口码头项目，结合国土空间规划和督导交通专项规划等另行研究执行。符合，本项目不属于港口码头项目。3禁止在自然保护地的岸线和河段范围内投资建设不符的项目。禁止在自然保护地的岸线和河段范围内采石、采砂、采土、砍伐及其他严重改变地形地貌、破坏自然生态、影响自然景观的开发利用行为。禁止在Ⅰ级林地、一级国家级公益林内建设项目。自然保护地由省林业局会同相关管理机构界定。符合，本项目拟建地不涉及自然保护地的岸线和河段。4禁止在饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区的岸线和河段范围内投资建设不符合《浙江省饮用水水源保护条例》的项目。饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区由省生态环境厅会同相关管理机构界定。符合，本项目不涉及饮用水水源保护区。5禁止在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内新建围湖造田、围海造地或围填海等投资建设项目。水产种质资源保护区由省农业农村厅会同相关管理机构界定。符合，本项目拟建地不涉及水产种质资源保护区的岸线和河段。6在国家湿地公园的岸线和河段范围内：（一）禁止挖沙、采矿；（二）禁止任何不符合主体功能定位的投资建设项目；（三）禁止开（围）垦、填埋或者排干湿地；（四）禁止截断湿地水源；（五）禁止倾倒有毒有害物质、废弃物、垃圾；（六）禁止破坏野生动物栖息地和迁徙通道、鱼类洄游通道，禁止滥采滥捕野生动植物；（七）禁止引入外来物种；（八）禁止擅自放牧、捕捞、取土、取水、排污、放（九）禁止其他破坏湿地及其生态功能的活动。国家湿地公园由省林业局会同相关管理机构界定。符合，本项目拟建地不涉及国家湿地公园的岸线和河段。7禁止违法利用、占用长江流域河湖岸线。符合，本项目拟建地不涉及利用、占用长江流域河湖岸线。8禁止在《长江岸线保护和开发利用总体规划》划定的岸线保护区和保留区内投资建设除事关公共安全及公众利益的防洪护岸、河道治理、供水、生态环境保护、国家重要基础设施以外的项目。符合，本项目拟建地不涉及《长江岸线保护和开发利用总体规划》划定的岸线保护区和保留区。9禁止在《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段及湖泊保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目。符合，本项目拟建地不涉及《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段及湖泊保护区、保留区。禁止未经许可在长江支流及湖泊新设、改设或扩大排污口。符合，本项目废水纳管排放，不涉及长江支流和湖泊新设、改设或扩大排污口。禁止在长江支流、太湖等重要岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。符合，本项目不属于化工园区和化工项目。禁止在长江重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，以提升安全、生态环境保护水平为目的的改扩建除外。符合，本项目不涉及尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，不涉及河湖岸线。禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。高污染项目清单参照生态环境部《环境保护综合目录》中的高污染产品目录执行。符合，本项目不属于钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化工等产业布局规划的项目。符合，本项目不属于石化、煤化工项目。禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目，对列入《产业结构调整指导目录》淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目，列入《外商投资准入特别管理措施（负面清单）》的外商投资项目，一律不得核准、备案。禁止向落后产能项目和严重过剩产能行业项目供应土地。符合，本项目不属于明令禁止的落后产能项目，不属于严重过剩产能行业，也不属于高耗能高排放项目。禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产业行业的项目。部门、机构禁止办理相关的土地（海域）供应、能评、环评审批和新增授信支持等业务。符合，本项目不属于严重过剩产能行业的项目。禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目。符合，本项目不属于高耗能高排放项目。禁止在水库和河湖等水利工程管理范围内堆放物料，倾倒土、石、矿渣、垃圾等物质。符合，本项目不涉及水库和河岸等水利工程管理范围内堆放物料，倾倒土、石、矿渣、垃圾等物质。法律法规及相关政策文件有更加严格规定的从其规本项目不涉及。综上，本项目不在长江经济带发展负面清单内，符合《〈长江经济带发展负对照《浙江省空气质量持续改善行动计划》，与本项目相关的符合性分析见表1-10《浙江省空气质量持续改善行动计划》（相关内容摘录）符合性分析主要任务本项目情况符合性优化产业结构，推动产业高质量发展1.源头优化产业准入。坚决遏制“两高一低”（高耗能、高排放、低水平）项目盲目上马，新改扩建“两高一低”项目严格落实国家产业规划、产业政策、生态环境分区管控方案、规划环评、项目环评、节能审查、产能置换、重点污染物总量控制、污染物排放区域削减、碳排放达峰目标等相关要求，一般应达到大气污染防治绩效A级（引领性）水平、采用清洁运输方式。新改扩建项目应对照《工业重点领域能效标杆水平和基准水平》中的能效标杆水平建设实施。涉及产能置换的项目，被置换产能及其配套设施关停后，新改扩建项目方可投产。推动石化产业链“控油增化”。C3562半导体器件专用设备制造，不属于“两高一低”项目，本项目不属于《工业重点领域能效标杆水平和基准水平》重点领域，不涉及产能置换。符合2.严格落实《产业结构调整指导目录（2024年本）》，进一步提高落后产能能耗、环保、质量、安全、技术等要求，依法依规加快退出重点行业落后产能。鼓励现有高耗能项目参照标杆水平要求实施技术改造，加大涉气行业落后工艺装备淘汰和限制类工艺装备的改造提升。加快推进6000万标砖/年以下（不含）的烧结砖及烧结空心砌块生产线等限制类产能升级改造和退出，支持发展绿色低碳建筑材料制造产业。推动长流程炼钢企业减量置换改造，优化整合短流程炼钢和独立热轧产能，到2025年全省钢铁生产废钢比大于40%。加快推进水泥生产重点地区水泥熟料产能整合，到2025年完成不少于8条2500吨/日及以下熟料生产线整合退出。经查，本项目为《产业结构调整指导目录中“鼓励类”项目，不属于落后产能。符合强化多污染物减排，提升废气治理绩效1.加快重点行业超低排放改造。2024年底前，所有钢铁企业基本完成超低排放改造；无法稳定达到超低排放限值的燃煤火电、自备燃煤锅炉实施烟气治理升级改造，采取选择性催化还原（SCR）脱硝等高效治理工艺。到2025年6月底，水泥行业全面完成有组织、无组织超低排放改造。2024年启动生活垃圾焚烧行业超低排放改造工作，2027年基本完成改造任务。及。符合2.全面推进含VOCs原辅材料和产品源头替代。新改扩建项目优先生产、使用非溶剂型VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等产品和原辅材料，原则上不得人为添加卤代烃物质。生产、销售、进口、使用等环节严格执行VOCs含量限值标准。钢结构、房屋建筑、市政工程、交通工程等领域全面推广使用非溶剂型VOCs含量产品。全面推进重点行业VOCs源头替代，汽车整车、工程机械、车辆零部件、木质家具、船舶制造等行业，以及吸收性承印物凹版印刷、软包装复合、纺织品复合、家具胶粘等工序，实现溶剂型原辅材料“应替尽替”。本项目不涉及溶剂型VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂使用，项目所用的水基型清洗剂满足《清洗剂挥发性有机化合物含量限38508-2020）的限值要求。符合3.深化VOCs综合治理。持续开展低效VOCs治理设施排查整治，除恶臭异味治理外，全面淘汰低温等离子、光氧化、光催及。化废气治理设施。推进储罐使用低泄漏的呼吸阀、紧急泄压阀，定期开展密封性检测。污水处理场所高浓度有机废气单独收集处理，含VOCs有机废水储罐、装置区集水井（池）有机废气密闭收集处理。石化、化工、化纤、油品仓储等企业开停工、检维修期间，及时收集处理退料、清洗、吹扫等作业产生的VOCs废气；不得将火炬燃烧装置作为日常大气污染治理设施。2024年底前，石化、化工行业集中的县（市、区）实现统一的泄漏检测与修复（LADR）数字化管理，各设区市建立VOCs治理用活性炭集中再生监管服务平台。4.推进重点行业提级改造。全面开展锅炉和工业炉窑低效污染治理设施排查和整治，强化工业源烟气治理氨逃逸防控，完成燃气锅炉低氮燃烧改造。强化治污设施运行维护，减少非正常工况排放，加强废气治理设施旁路管理，确保工业企业全面稳定达标排放。培育创建一批重点行业大气污染防治绩效A级（引领性）企业。到2025年，配备玻璃熔窑的玻璃企业基本达到A级，50%的石化企业达到A级；到2027年，石化企业基本达到A级。及。符合由上表可知，本项目建设符合《浙江省空气质量持续改善行动计划》的相关建设内容司位于杭州市钱塘区河庄街道东围路9号和达芯谷一期光刻光源、量检测光源、泛半导体光源等高端光建设，全部建成后可支撑每年68台套整机、200套核心部件的产出。该项目已取半导体器件专用设备制造”；对照《建设项目环境影响评价分类管理名录（2021表2-1环境影响评价分类表项目类别环评类别报告书报告表登记表三十二、专用设备制造业3570采矿、冶金、建筑专用设备制造351；化工、木材、非金属加工专用设备制造352；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造353；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造354；纺织、服装和皮革加工专用设备制造355；电子和电工机械林、牧、渔专用机械制造357；医疗仪器设备邮政、社会公共服务及其他专用设备制造359有电镀工艺的；年用溶剂型涂料（含稀释剂）10吨及以上的其他（仅分割、焊接、组装的除外；年用非溶剂型低VOCs含量涂料10吨以下的除外）/表2-2本项目产品方案一览表建设周期产品分类产品名称产品规格/型号/a）合计（台/a）一期工程激光器KrF激光器ELS-6400/ELS-7010X28ArF激光器ArF-d-193nm/ArF-i-193nm激光器核心部件光学模块KrF-248/ArF-19320机械模块KrF-248/ArF-19340电学模块KrF-248/ArF-19320二期工程激光器KrF激光器ELS-6400/ELS-7010X2240ArF激光器ArF-d-193nm/ArF-i-193nm激光器核心部件光学模块KrF-248/ArF-19330机械模块KrF-248/ArF-19360电学模块KrF-248/ArF-19330总工程激光器KrF激光器ELS-6400/ELS-7010X3868ArF激光器ArF-d-193nm/ArF-i-193nm30激光器核心部件光学模块KrF-248/ArF-19350200机械模块KrF-248/ArF-193电学模块KrF-248/ArF-19350注：本项目产品均外售，各产品差异性主要体现在波长、寿命、功率等核心参数不同。KrF激光器与ArF激光器差异源于基础物理波长的不同，这直接划定了它们所支持的光刻技术世代和芯片制程节点。光学模块、机械模块、电学模块为激光器的组成部分，其中光学模块是激光器的“心脏”，负责光子的产生、放大、整形和输出。其核心在于利用增益介质的受激辐射效应，并通过光学谐振腔进行反馈与选模，最终形成高质量的激光束。机械模块是激光器的“骨骼与皮肤”，为光学和电学模块提供物理支撑、保护、散热以及必要的运动功能。电学模块是激光器的“大脑和动力源”，负责为整个系统供电，并精确控制激光器的各项运行参数。表2-3项目主要组成一览表工程类别工程内容主体工程研发生产中心面积约2697m2，主要分布有非洁实验室、放电腔室（百级洁净）、光学室（百级洁净）、机械装调室（万级洁净）、清洗间（万级洁净）、丙类生产车间（万级洁净）。其中丙类生产车间分一、二期建设，一期生产车间约560m2，二期生产车间约700m2，其他车间均在一期建成。配套工程丙类中间仓库位于厂区北侧，包含成品仓库45m2，原辅料仓库185m2。质检车间位于厂区北侧，面积87m2，在此车间检查产品的外观、尺寸、性能等。特气房位于厂区南侧，面积36m2，放置本项目测试工艺所需特气和特气柜保护气体（氮气）。烘干衣房位于厂区东南侧，面积20m2，在此处进行实验服晾晒。纯水房位于厂区南侧，面积43m2，在此处制备工艺所需纯水。配电间及变配电室位于厂区南侧及东南侧。辅助工程办公及会议区办公及会议区分布在厂区北侧及东北侧。储运工程一般固废暂存点位于丙类中间仓库内，面积约10m2。危废暂存间位于厂区东南侧，面积约20m2。公用工程给水工程项目用水由市政自来水管网供水。排水工程项目排水采用雨、污分流制，清洗废水、冲洗废水暂存于废水暂存罐，当作危废处置，委托有资质单位清运并处置。制纯浓水、生活污水经预处理后达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中的三级标准（其中氨氮、总磷参照执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013后接入市政污水管网，最终由萧山临江水处理厂处理达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中的一级A标准后排放。供电工程由市政电力设施供应。环保工程废气测试工序中气体放电反应产生的氟化物及残余的特气由设备端配套的活性氧化铝（5L）吸附装置处理后，再由管道收集至屋顶经活性氧化铝（50L）吸附装置达标处理后通过25米排气筒（DA001）高空排放。废水清洗废水、冲洗废水暂存于废水暂存罐，当作危废委托有资质单位处置；制纯浓水与经化粪池预处理后的生活污水达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）的三级标准（其中氨氮、总磷参照执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013））后，纳入市政污水管网。最终由萧山临江水处理厂处理达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中的一级A标准后排放。选用低噪声设备，合理布局，安装减振垫等措施。一般工业固废分类收集，定期交由物资回收单位综合利用。生活垃圾定期委托环卫部门清运。危险废物贮存于危废暂存间内，委托有资质单位妥善处理。依托工程生活污水依托园区化粪池预处理，员工食宿依托园区食堂、宿舍。事故废水依托园区事故应急池暂存。本项目各项组成仅丙类生产车间分一、二期建设，其余主体工程、配套工程、辅助工程、储运工程等均在一期建成。项目一期工程主要生产设备情况详见表2-4，二期工程主要生产设备详见表门盘）在二期工程建设外，其他设备均在一期建成。从设备用途来看，1个测试成一套基础的生产线，一期工程中共设有5条生产线，其余测试平台及配套设备表2-4项目配套的主要设备一览表（一期）（涉密删除）表2-5项目配套的主要设备一览表（二期）（涉密删除）表2-6一期工程碱性清洗线槽体配备情况设备名称槽液配方槽尺寸（m）数量3槽液更换频次超纯水年用量（t/a）超声波清洗机1槽：2.5%清洗剂，EDI水0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15次/年0.0722.88水0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15次/年0水0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15次/年04槽：风切0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15///5槽：烘干0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15///注：EDI水是指通过电去离子处理后的超纯水。表2-7一期、二期工程（总工程）碱性清洗线槽体配备情况设备名称槽液配方槽尺寸（m）数量槽液更换频次超纯水年用量（t/a）超声波清洗机1槽：2.5%清洗剂，EDI水0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15次/年0.187.02水0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15144次/年021.6水0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15144次/年021.64槽：风切0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15///5槽：烘干0.82×0.54×0.4（L×W×H）10.15///注：EDI水是指通过电去离子处理后的超纯水。根据建设单位提供资料，项目每个测试平台可以同时测试机械模块3台；每试周期1~2个月不等；激光器整机的生产也是由平台的模块测试合格后再进行集表2-8项目产能匹配性分析表测试模块单台设备测试能力本项目测试周期一期设备中用于生产的设备生产能力（5台测试平台）二期设备中用于生产的设备生产能力（8台测试平台）本项目一期生产产能*本项目二期生产产能*机械模块3台/次1.5个月/a120台/a192台/a96台/a140台/a光学模块2台/次80台/a128台/a76台/a模块4台/次160台/a256台/a76台/a注*：激光器是由若干个机械模块、光学模块、电学模块集成的，此处每台激光器每个模块按平均2个计。表2-9项目配套的主要原辅材料消耗一览表表2-10项目主要原辅材料性质序号名称理化特性燃烧爆炸性毒性毒理1氟化钙CaF2浓酸，微溶于稀酸。不燃LD50：4250mg/kg（大LC50鼠腹膜内注射）。21%F2/1.25%Kr/余量Ne该混合气体为无色、刺激性气体，常温下以压缩气体形式储存于高压钢瓶中。各成分特性：氟气（F₂)：强氧化性，能与几乎所有物质剧烈反应，包括金属、非金属及有机物。氪气（Kr）：惰性稀有气体，化学性质稳定，不参与反应。氖气（Ne）：惰性稀有气体，化学性质稳定，常用于激光混合气以调节光谱特性。物理参数：沸点：氟气沸点为-188.1℃,氪气-246.0℃。密度：氟气密度为1.58g/L（标况下氪气密度为3.74g/L（标况溶解性：氟气微溶于水，氪气和氖气几乎不溶于水。该混合气体为高压不可燃气体，但钢瓶在高温或火中可能剧烈爆炸。氟气：吸入高浓度氟气（如25ppm/5min）会胸闷等症状。暴露于更mg/m³/30min）可能引发化学性肺炎、肺水肿，甚至致命。窒息风险：混合气体中氪气和氖气可能置换空气中的氧气，导致缺<19.5%），引发头昏、困倦、恶心、呕吐，甚至丧失知觉或死亡。31.25%Kr/余量Ne-190.4℃。均为惰性气体。不可燃单纯型窒息剂。在高浓度下，由于缺氧可导致快速窒息。41%F2/3.5%Ar/余量Ne无色刺激性气体；因氩气含量较高，密度略大于空气；氩气和氖气作为稀释剂，可降低氟气的反应活性，但氟气仍可能与其他物质缓慢反应。密度：氩气密度为1.748g/L（标况混合气体燃爆风险较低氟气的急性毒性和窒息风险。53.5%Ar/余量Ne无色透明气体；因氩气含量较高，密度略大于纯氖气；氩气和氖气均为惰性气体。不燃窒息风险。混合气体中氩气和氖气均为惰性气体，毒性较低，但高浓度暴露可能导致缺氧。6氮气N2不燃单纯型窒息剂。在高浓度下，由于缺氧可导致快速窒息。7氦气He无色、无臭、冷冻的液化气体；沸0.1786g/L（标况下为惰性气体。不燃无毒，有窒息性8清洗剂K4P2O715%~30%2.534g/cm3；熔点1109℃;易溶于水，不溶于乙醇。不燃，具有强碱性LD50：273mg/kg（大鼠经口）；LC50：9400mg/kg（小鼠吸入，2h）K3PO45%~15%无色斜方晶系结晶或白色结晶粉易溶于水，不溶于乙醇不燃LD50：4640mg/kg（大K2SiO35%~15%白色粉末或无色斜方晶系结晶；密度3.07g/cm3；易溶于水，不溶于乙醇。不燃LD502000mg/kg（大9氧化铝Al2O3白色、球状、无臭的固体颗粒或粉末，不溶于水，微溶于无机酸、碱液；熔点2050℃,沸点2980℃;化学性质较稳定，具有较高吸附性和活性。氧化铝粉高浓度悬浮于空气中具有粉尘爆炸风险毒性低，不属于急性毒性物质。剂挥发性有机化合物含量限值》（GB38508-2020）中“水基型清洗剂”的限值四周紧邻园区内部道路，东侧隔内部道路为和达芯谷一期12幢建筑，南侧隔内表2-11项目厂区周边环境概况表方位最近距离环境现状园区内部道路约20m和达芯谷一期12幢建筑南侧园区内部道路和达芯谷一期7幢建筑园区内部道路约20m钱江直河河岸钱江直河北侧园区内部道路约25m江东七路本幢楼2F、3F、4F/闲置厂房布0.04损耗200清洗剂0.072>损耗2.455自来水危废处置DI水纯水冲洗自来水置4.32尘布0.1损耗400DI水粗清洁清洗剂0.纯水危废处置EDI水超声波清洗机清洗废水2.1.9项目氟平衡图0.10.1与金属零部件生产金属薄膜1.905设备端活性氧化铝吸附装置氟气20051.524化学吸附及物理吸附化学吸附及物理吸附外排0.0762附装置0.0.25与金属零部件生产 金属薄膜 4.763设备端活性氧化0.762化学吸附及 外排0.191自来水原水自来水原水箱二级反渗透一级反渗透中间水箱保安过滤器系统终端杀菌过滤工艺用水车间 抛光终端PAC终端PACMMMBB 至原水箱。定期更换的废RO膜、废滤芯、废活根据工艺流程及产污节点图，本项目主要产排污环节表2-12主要产排污环节及污染因子一览表项目污染工序污染物名称污染因子废气测试工艺废气征臭气浓度Ne、N₂、Ar、Kr、He废水生产废水清洗工序清洗废水SS、总氮、石油类等冲洗工序冲洗废水氟化铜、氟化铁、SS等纯水制备制纯浓水CODCr、SS职工生活生活污水pH、CODCr、SS、NH3-N、LAS粗清洁废无尘布沾染灰尘的无尘布清洗工序清洗废液含清洗剂、pH、磷酸盐、硅酸盐、总磷、CODCr、SS、总氮、石油类等冲洗工序冲洗废液氟化铜、氟化铁、SS等废气治理废活性氧化铝活性氧化铝、含氟废气辅料使用危废包装材料沾染化学品空钢瓶（使用后的气瓶）含氟气、氪气、氖气、氩气、氮气、氦气洁净间通风换气废过滤器灰尘、滤芯原料拆包装、包装废包装材料纸、塑料纯水制备纯水制备废物废RO膜、废滤芯、废活性炭和废离子树脂生产过程报废零件含不锈钢、铝合金、铜合金、氟化钙、氟橡胶等半成品员工生活生活垃圾果皮纸屑等设备运行LAeq区域环境质量现状根据杭州市生态环境局发布的《2024年度杭州市生态环境状况公报》，按照湖区、滨江区、萧山区、余杭区、临平区、钱塘区、富阳区和临安区）环境空气表3-12024年杭州市环境空气质量现状评价表污染物年评价指标浓度(μg/m3）评价标准(μg/m3）超标率（%）达标情况SO2年平均质量浓度660/达标NO2年平均质量浓度284070.0/达标PM10年平均质量浓度477067.1/达标PM2.5年平均质量浓度303585.7/达标CO95%百分位24小时均值900400022.5/达标O390%百分位8小时均值2.5不达标根据《杭州市空气质量持续改善行动计划》（杭政函〔2024〕76号），杭州（一）强化组织领导。地方政府对本行政区域内空气质量负总责。各区、县（市）进一步细化任务，严密组织实施。市美丽杭州建设领导小组办公室发挥牵头抓总作用，细化分解各地、各部门（单位）工作目标任务，将空气质量改善情位）按照分工协同推进，及时出台相关举措，实施专项行动。对未完成空气质量目标、空气质量改善同比靠后、大气污染防治工作推进不力的区、县（市），第（二）深化政策引导。落实高耗能行业差别化电价政策。积极保障大气污染防治资金投入，加强大气污染防治项目储备库建设，强化对符合条件的超低排放改造、环保设备更新、汽车以旧换新、老旧船舶与柴油货车更新等的资金支持力度。研究制定新能源货车便利通行政策，鼓励有条件的地区出台新能源混凝土、（三）强化科技支撑。综合运用污染排放、气象影响、大气模型对比分析等料与产品、船舶修造等行业涂装减量化装备的研发和产业化应用。加强秸秆等农（四）鼓励全民参与。政府带头实施绿色采购、绿色工程，鼓励将新能源车辆配备比例纳入招标评审条件，推动环保产业健康发展。积极发挥行业协会和全民绿色行动促进会等平台作用，制定行业团体标准，推动绿色志愿服务工作规范化、专业化、制度化发展。积极采取多种形式大力宣传大气污染防治相关政策措施，倡导绿色生活理念，动员和引导社会各界积极参与大气污染防治工作，共同按《杭州市空气质量持续改善行动计划》（杭政函〔2024〕76号）的要求落实各项措施后，预计杭州市的环境空气质量将会持续改善，臭氧略有超标现象也为了解本项目特征污染物氟化物环境质量现有限公司申报的《高性能激光器项目环境影响基本信息详见表3-2、图3-1,监测数据见表3-3。厂址相对厂界距离经度(E)纬度(N)厂址东南07.53”41.49”氟化物2025年3月31东南点位污染物段值监测浓度范围μg/m³最大浓度占标比经度纬度厂址东南方空地07.53”"1小时平均024小时平均0由表3-3可知，项目所在区域特征因子氟化物的1小时平均值和24小时平均值均满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)及修改单中表A.1中的参考浓度限值。根据《2024年杭州市生态环境状况公报》地表水环质量状况总体稳定，市控以上断面水环境功能区达标率以及水质达到或优于III类于III类标准的比例为100%。苕溪水环境功能达标率为100%，水质达到或优于III类标准的比例为100%。西湖平均透明度为1.23米。湖区内监测点位水质均达到III），水环境功能区划分方案》（2015水环境质量执行《地表水环境质量标准》地，用地性质为工业用地，用地范围内及周边无生态环境保护目标，因此无需进本项目不属于新建或改建、扩建广播电台、差转台、电视塔台、卫星地球上只要本项目实施区域落实地面硬化，做好分区防渗等措施，在正常运行情况下建设项目对土壤、地下水环境基本不存在污染途径，因此，本项目不进行地下37—本项目租赁现有厂房进行生产经营，项目冲洗产生的冲洗废水含有氟化铜、设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)》原则上可不开展地下水、土壤环境现状调查。环境保护目标厂界外500m范围内现状及规划均不存在居住区、学校等大气环境保护目标，不涉及风景名胜区、自然保护区和农村地区中人群较集中的区域等大气环境保护指北针指北针比例尺厂界外500m范围内无地下水集中式饮用水水源和热污染物排放控制标准本项目产生的废气主要为含氟废气，排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中的新污染源二级标准，具体见表3-4。项目氟气外泄或排放时会产生刺鼻性恶臭，主要污染因子为臭气浓度，执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中二级新扩改建标准和表2恶臭污染物排放标准，具体如下表表3-4《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）污染物最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速率，kg/h无组织排放监控浓度限值排气筒高度m二级监控点浓度mg/m3氟化物9.0（其他）25周界外浓度最高点0.02注*：本项目排气筒高度为25m，根据《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）附录B内插法计算得出氟化物排放速率为0.38kg/h。由于本项目排气筒高度低于周边半径200米范围内建筑的高度，根据标准规定，上述排放速率标准限值需严格50%执行（即实际允许排放速率为计算值的50%）。表3-5《恶臭污染物排放标准》（GB14554—93）项目排气筒高度（m）排放量厂界标准值臭气浓度256000（无量纲）20（无量纲）冲洗废水当作危废处置，暂存于废水暂存罐，委托有资质单位处置。生活污水经表3-6纳管标准限值单位：mg/L（pH除外）序号污染物排放限值1pH（无量纲）6.0~9.02悬浮物（SS）4003五日生化需氧量（BOD5）3004化学需氧量（COD）5005石油类206氨氮35*7总磷8LAS20注*：氨氮、总磷执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）标废水由污水管网送至萧山临江水处理厂处理达《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中一级A标准后排入钱表3-7城镇污水处理厂污染物排放标准单位：mg/L（pH除外）污染物pHCODCr氨氮总氮总磷LASGB18918-2002一级A标准6~9≤50≤10≤5（8）≤15≤0.5≤0.5注：括号外数值为水温>12℃时的控制指标，括号内数值为水温≤12℃时的控制指标。表3-8《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）标准类别标准值Leq：dB(A)昼间3类65生活垃圾处理参照执行《城市生活垃圾处理及污染防治技术政策》（建城〔2000〕120号）和《生活垃圾处理技术指南》（建城〔2010〕61号）以及国家、省市关于固体废物污染环境防治的法律法规；一般工业固体废弃物的贮存场所应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）和《浙江防扬尘等环境保护要求），一般工业固体废物收集、贮存、运输、利用、处置应符合《一般工业固体废物环境管理工作指南》（环办固体函〔2026〕18号）；项目危险废物按照《国家危险废物名录》（2025年版）分类，危险废物贮存应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）、《危险废物收集贮存运输技总量控制指标根据生态环境部印发《关于做好“十四五”主要污染物总量减排工作的通知》），对水污染物化学需氧量、氨氮实行总量控制，对大气污染物氮氧化物及挥发性有机物等主要污染物实行总量控制。根据工程分析可知，项目纳入总量控制指标的根据浙江省人民政府办公厅文件《浙江省人民政府办公厅关于印发浙江省排全省排污权有偿使用和交易范围的排污权指标，包括化学需氧量、氨氮、二氧化硫和氮氧化物4类污染物。开展挥发性有机物和总磷等污染物排污权有偿使用和交易试点的地区，参照本办法执行。确需增加其他污染物的地区，应由所在设区市生态环境部门报省级生态环境部门备案。现阶段纳入排污权有偿使用和交易范围的排污单位，包括有总量控制要求的工业排污单位和产生二次污染物的环境治表3-9本项目实施后总量单位：t/a项目污染物名称本项目排放量总量平衡替代区域平衡削减量项目总量指标建议值一期工程废水废水量1803.18//1803.18CODCr0.0910.0910.091NH3-N0.010.010.01总工程废水废水量1907.22//1907.22CODCr0.0960.0960.096NH3-N0.010.010.01本项目CODCr、NH3-N总量控制指标由建设单位向当地生态环境主管部门申请，在满足区域总量调剂前提下，项目建设施工期环境保护措施本项目施工期主要为生产设备的安装，施工周期较短、施工面较小。施工期基本无废气产生，施工人员生活污水利用楼层厕所排入市政污水管道；施工期建筑垃圾，按照市政管理部门要求进行外运处理，设备安装过程噪声影响较小。施工过程中主要是生产设施的安装、调试，要做好施工噪夜间施工必须经生态环境主管部门批准同意，在规定的时间内进行，并明示公告行施工时间、施工噪声的控制。应严格控制施工噪声。文明施工，同时应充分做好与周边企业、居民的协调工作，以取得他们运营期环境影响和保护措施根据工艺分析，本项目废气主要为工艺废气中的氟化物及其产生的臭气浓度本项目测试工序在万级洁净车间内全封闭（负压）状态下进行，测试平台均为封闭式，设备末端连接尾气处理装置，在气体放电反应中，残余的F原子及F2等氟化物通过尾气处理装置的活性氧化铝吸附处理，再经屋顶第二道活性氧化铝吸附装置处理。氟化物经过两道过滤处理后，基本被牢牢固定在吸附剂上，外排V0=P1V1T1/P0T0表4-1测试工序中特气年用量单位：L/a工艺气体年用量标况下F2标况下Ar标况下Kr标况下He标况下Ne标况下N21%F2/1.25%Kr/余量Ne6345*25瓶1586.2501982.810155055.9401.25%Kr/余量Ne6345*225瓶0017845.310149779.6901%F2/3.5%Ar/余量Ne6345*25瓶1586.255551.8800151486.8803.5%Ar/余量Ne6345*225瓶049966.88000He（纯度≥99.999%）6345*40瓶00025380000N2（纯度≥99.999%）25000000000250000合计年用量/3172.555518.762538001833980.63250000表4-2一期、二期氟气年用量单位：L/a工艺气体一期年用量二期年用量标况下一期F2标况下二期F2总计1%F2/1.25%Kr/余量Ne6345*10瓶6345*15瓶634.5951.75/1%F2/3.5%Ar/余量Ne6345*10瓶6345*15瓶634.5951.75/合计年用量6345*20瓶6345*30瓶1903.53172.5为1903.5L/a，总使用量为3172.5L/a，密度以1.58g/L计，一期氟气年用量为中，约有5%~10%的氟气会与金属零部件发生反应生成薄膜附着在设备上。本环用活性氧化铝（国产中间状氧化铝）吸附净化阳极焙烧炉烟气，其氟化物污染削减率达到了86.78%”，本环评处理效率取80%，项目设置两道过滤装置，一滤及二级过滤的吸附效率合计为96%，项目一期、二期工程中氟化物排放源强见表4-3测试工序大气污染物排放情况一览表建设周期污染物产生量有组织排放量无组织排放量产生量（kg/a）产生速率（kg/h）产生浓度（mg/m3）排放量（kg/a)排放速率（kg/h)排放浓度（mg/m3)排放量（kg/a)排放速率（kg/h)期工程氟化物（以含氟量计）3.81×10-330.480.07621.524×00Ar、Kr、N2若干//若干//00氟化物（以含氟量计）2.8585.716×10-345.7282.28×10-400Ar、Kr、N2若干//若干//00总工程氟化物（以含氟量计）4.7639.526×10-376.2080.1913.82×10-43.05600Ar、Kr、N2若干//若干//00注：项目测试工序操作时长约2h/d，500h/a。正常工况下，风机风量为125m3/h。本项目涉及的特种气体（氟气）在储存及使用过具有刺激性气味。有组织排放废气中亦可能含有微量目前，国外对恶臭强度的分级和测定多以人的嗅觉感官作为基础得到，如德种测定方法以经过训练合格的5~8名臭气监测员以自身的恶臭感知能力对恶臭进该分级法以感受器——嗅觉的感觉和人的主观感觉特征两个方面来描述各级特表4-4恶臭6级分级恶臭强度等级特征0未闻到有任何气味，无任何反应1勉强能闻到有气味，但不宜辨认气味性质（感觉阈值）认为无所谓2能闻到气味，且能辨认气味的性质（识别阈值），但感到很正常3很容易闻到气味，有所不快，但不反感4有很强的气味，而且很反感，想离开5有很强的气味，无法忍受，立即逃跑建设单位拟在万级生产车间、特气房、设备毫升/升）时，探测器将触发报警信号，参照恶臭化铝吸附装置两级过滤后，能确保外排废气中氟气浓表4-5项目污染源强汇总表建设工程工序污染污染物产生治理措施有组织无组织排风量（m3/h)运行时间排气筒产生量（kg/a)产生速率（kg/h）产生浓度（mg/m3）收集效率/处理效工艺排放量（kg/a)排放速率（kg/h）排放浓度（mg/m3）排放量（kg/a)排放速率（kg/h)期工程测试氟化物（以含氟量计）3.81×10-330.48100/96设备端活性氧化铝装置+屋顶活性氧化铝装置，二级过滤装置0.07621.524×10-400500DA001臭气浓度少量//100/96少量////Ar、Kr、Ne、N2若干//若干//00总工程测试氟化物（以含氟量计）4.7639.526×10-376.208100/960.1913.82×10-43.05600500DA001臭气浓度少量//100/96少量////Ar、Kr、Ne、N2若干//若干//00注*：项目一级过滤和二级过滤装置吸附氟化物的效率均为80%，综合处理效率为96%。表4-6废气产排污节点、污染物及污染治理设施信息表生产单元污染因子排放形式污染防治设施名称及工艺收集效率%去除效率%排放口编号排放口类型测试工序氟化物（以含氟量计）有组织设备端活性氧化铝装置+屋顶活性氧化铝装置，二级过滤装置96DA001一般排放口臭气浓度96He、N20表4-7项目点源参数表编号DA001（氟化物排放口-圆形）排放口类型一般排放口排气筒底部中心坐标经度（E）120°29′8.164″纬度（N）30°21′26.098″排气筒底部海拔（m）5.3排气筒高度（m）25排气筒出口直径（m）0.2烟气流速（m/s）烟气温度(℃)25年排放小时（h）500排放工况正常污染物排放速率（kg/h一期工程）氟化物1.524×10-4臭气浓度少量污染物排放速率（kg/h总工程）氟化物3.82×10-4臭气浓度少量本项目建成后项目废气有组织排放速率、排放浓度和相应标准值对比情况详见表表4-8项目废气达标排放情况分析表建设工程排放号排放称污染有组织排放情况执行标准*是否达标标准来源排放速率kg/h浓度mg/m3排放速率kg/h浓度mg/m3一期工程DA001氟化物排氟化物1.524×10-40.199达标《大气污染物综合排放标准》放口（GB16297-1996）表2排放限值臭气浓度少量/6000/达标《恶臭污染物排放标准》（GB14554—93）总工程DA001氟化物排放口氟化物3.82×10-43.0560.199达标《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2排放限值臭气浓度少量/6000/达标《恶臭污染物排放标准》（GB14554—93）非正常工况指设备检修、工艺设备运转异常等非正常工况下的污染物排放污染物排放控制措施达不到应有效率等情况下的排放。本项目非正常工况主要考虑活性氧化铝未及时更换，对污染物去除效率下降为50%。项目非正常工况下有组织废气表4-9非正常情况下废气排放情况一览表建设工程污染源非正常排放原因污染因子年发生频次非正常排放速率kg/h非正常排放浓度mg/m3单次持续时间排放量kg措施一期工程氟化物排放口（DA001）活性氧化铝未及时更换氟化物11.905×10-31.905×10-3及时更换活性氧化铝总工程14.763×10-338.1044.763×10-3由上表可知，在非正常情况下，项目DA00污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2浓度限值，排放速率和排放浓度大幅上管理，定期检修，确保废气处理设施正常运行，在废气处理设施出现故障或停止时，产生废气的各工序也必须相应停止生产。为尽可能地减少废气非正常排放，①安排专人负责环保设备的日常维护和管理，定期检查、汇报情况，及时发现环②建立健全的环保管理机构，对环保管理人员和技术人员进行岗位培训，委托具为确保人员安全，企业拟在特气房、丙类生产车间、设备末端活性氧化域安装高灵敏度氟气探测器。当室内环境中氟气体积浓度≥0.2升）时，探测器将触发报警信号。探测器检测到浓度超标后，立即发出声光报警，并同步向中控室发送信号。触发报警后，系统自动切断氟气供应阀门，停止相关生产设本项目拟采用活性氧化铝吸附装置处理项目氟化物，活性氧化铝主要通过化化学吸附：活性氧化铝(γ-Al₂O₃)表面富含羟基（-OH）和路易斯酸位点，氟离物理吸附：氟化物分子通过范德华力被吸附在活根据《氧化铝干法脱氟技术标准》规定活性氧化铝作为吸附剂时，粒度需在0.5~5mm之间，以保证良好的吸附接触面积和气流通过性。要求吸附装置中气体空塔本项目废气污染物排放量不大，且配备了技术可行的废气处理装置，在正常工况建设项目建成投产后，应积极开展污染源监测，定期对废气污染源进行表4-10废气排放监测计划表监测点位监测指标监测频次执行排放标准有组织DA001氟化物《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）臭气浓度《恶臭污染物排放标准》（GB14554—93）无组织厂界氟化物《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）臭气浓度《恶臭污染物排放标准》（GB14554—93）注：本自行监测计划仅作为建议，实施后以最新发布排污许可证申请与核发行业技术规范或各行业自行监测技术指南要求，并须符合管理部门要求。项目废水呈碱性，总磷浓度较高，可视为废碱液当作危废处置。清洗废水储存于4m3测试不合格的模块拆卸后，合格的零件经过纯水冲洗后重新利用，根据业主提供资料，单次冲洗纯水用量为100L，一期工程冲洗频次约为2次/月，总工程冲洗时会将静电吸附于零件上的氟化铜、氟化铁等颗粒物冲洗下来，故冲洗废水中含氟化铜、氟化铁等含氟及重金属物质，应当作危废处置。冲洗废水储存于0.5m3废水暂存使用一级反渗透后的纯水作为循环水。根据建设单位提供资料，项目板式换热器板式密闭下运行，循环水损耗量较少，一期工程损耗量约为200t/a，总工程损耗量约为400t/a，预计一期工程每年补充水量为200t，总工程每年补充水量为400项目零部件进厂后，采用无尘布沾染一级RO水进行粗清洁，项目一期工程无尘此擦拭用水小部分残留于无尘布上，绝大部分总工程超声波清洗机EDI水年用量为50.22t/a；一期工程中板式换热器补充RO水用量为200t/a，总工程板式换热器补充RO水用量为400为0.24t/a，总工程粗清洁工序RO水用量为0.6t/a，故项目一期工程RO水用量为来水用量为662.84t/a，一期工程制纯浓水量约为103.18t/a，总工程制纯浓水量约为LAS20mg/L计，则废水中各污染物产生量分别为：CODCr：0.595t/a、SS：0.34t/a、表4-11项目纳管废水污染物产生情况汇总废水种类污染因子产生情况产生浓度（mg/L）一期工程产生量（t/a）总工程产生量（t/a）制纯浓水水量/103.18207.22CODCr500.0050.01500.0050.01生活污水水量/CODCr3500.5950.5952000.340.34NH3-N350.060.06LAS200.0340.034纳管水量（包括制活污水）废水量/1803.181907.22CODCr/0.60.605/0.3450.35NH3-N/0.060.06LAS/0.0340.034由上表可知，本项目一期工程纳管水量为1803.18t/a，二期工程纳管水量为级标准，其中氨氮、总磷参照执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》），项目生活污水经化粪池预处理后与制纯浓水纳入市政污水管网，送萧表4-12项目水污染物排放情况汇总废水种类污染因子排放情况一期工程排放量（t/a）总工程排放量（t/a）综合废水废水量/1803.181907.22CODCr500.0910.0960.0190.02NH3-N50.010.01LAS0.50.0010.001表4-13废水类别、污染物及污染治理设施信息表废水类别污染因子排放去向排放规律污染治理设施排放口编号排放设置是否符合规范要求排放口类型设施编号设施名称设施工艺生活污水pH、CODCr、LAS等萧山水处理厂间断排放，排放期间流量不稳定且无规律，但不属于冲击型排放TW001化粪池沉淀过滤+厌氧消化DW001是般排放口制纯浓水///表4-14废水间接排放口基本情况表序号排放口编号排放口坐标废水排放量万m3/a排放去向排放规律间歇排放时段受纳污水处理厂信息经度纬度名称污染物种类国家或地方污染物排放浓度（mg/L）1DW001120°29′10.315″30°21′24.437″0.1908萧山水处理厂放期间流量不稳定且无于冲击型排放运营期间萧山临江水处理厂pH6~9CODCrNH3-N5LAS0.5表4-15废水污染物排放执行标准表排放口编号污染物种类国家或地方污染物排放标准及其他按规定商定的排放协议名称浓度限值（mg/L）DW001pH（无量纲）《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中的三级标准（氨氮参照执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中的标准限值）6~9悬浮物（SS）400五日生化需300化学需氧量（COD）500石油类20氨氮35