CN119452262A 用于激发、侦测和感测受测装置的方法和探针 （英则有限公司）

2024.12.25PCT/IB2023/0568662023.06.30WO2024/003871EN2024.01.04针列的样本相关联的接触点定位一测试工具的探于一样本的接触点连续定位及/或移动该探针，2相对于该样本阵列的第一数个接触点定位该数个测试探针，借由经由该数个测试探针递送至该第一数个接触点的一或多个电信号来驱动该第一样本的该并联电激发产生用于测试该第一数个个别样本借由移动该数个测试探针中的至少一者及该样本阵列来相对于该样本阵列移动该数借由经由该数个测试探针递送至该接下来的数个接触点的一或多个电信号来驱动该3.如权利要求1所述的方法，其中该驱动该第一数个个别样本的该并联电激发在不存同时连续维持在该数个测试探针与该第一数个第4.如权利要求1所述的方法，其进一步包含基于该数个测试探针与该第一数个接触点6.如权利要求1所述的方法，其中该数个测试探针中的各测试探针的至少一部分由半将测试装置的导电测试探针的至少一部分浸没在液体导部分保持在该测试探针的一端部上并且与该测相对于该样本的接触点定位该测试探针，使得该测试探针的该借由经由该测试探针通过该测试探针的该端部上的液体导电材料的该部分递送至该3探针阵列；其中该设备经组态以借由扫描该数个装置中的个别装置组的电触点同时驱动该电触16.如权利要求15所述的设备，其中该扫描包含借由移动该探针阵列中的至少一者及17.如权利要求16所述的设备，其中该移动重复地使该探针阵列与各个别装置组的该各别电触点组接触，其中该移动使该探针阵列(i)与该个别装置组中的一个个别装置组的19.如权利要求15所述的设备，其中该对准系统进一步用于相对于该探针阵列调平该处理器，其与该存储器通信，其中该电脑系统经组态以控制包含数相对于样本阵列的第一数个接触点定位该数个测试探针，4借由经由该数个测试探针递送至该第一数个接触点的一或多个电信号来驱动该第一样本的该并联电激发产生用于测试该第一数个个别样本借由移动该数个测试探针中的至少一者及该样本阵列来相对于该样本阵列移动该数借由经由该数个测试探针递送至该接下来的数个接触点的一或多个电信号来驱动该22.如权利要求21所述的电脑系统，其中该个别样本是微型发光二极管(microLED)装23.如权利要求21所述的电脑系统，其中该驱动该第一数个个别样本的该并联电激发电激发的同时连续维持在该数个测试探针与该第一数个第24.如权利要求21所述的电脑系统，其中该方法进一步包含基于该数个测试探针与该驱动该第一数个个别样本的该并联电激发是回应于26.如权利要求21所述的电脑系统，其中该数个测试探针中的各测试探针的至少一部处理器，其与该存储器通信，其中该电脑系统经组态以控制包含数将测试装置的导电测试探针的至少一部分浸没在液体导部分保持在该测试探针的端部上并且与该测相对于样本的接触点定位该测试探针，使得该测试探针的该借由经由该测试探针通过该测试探针的该端部上的液体导电材料的该部分递送至该533.如权利要求28所述的电脑系统，其中该方法进一步包含监测来自该测试探针的一34.如权利要求28所述的电脑系统，其中该测试探针是该测试装置的数个测试探针中6发产生用于测试第一数个个别样本的第一值；借由移动数个测试探针中的一者及样本阵动接下来的数个个别样本的并联电激发的同时连续维持在数个测试探针与接下来的数个7[0008]在具体实例中，数个测试探针中的各测试探针的至少一部分系由半透明材料制探针阵列，其中该移动使探针阵列与该个别装置组中的各个别装置组的各别电触点组接中移动使探针阵列(i)与个别装置组中的一个个别装置组的一个电触点组接触，然后(ii)与一个个别装置组的一个电触点组不接触，然后(iii)与该个别装置组中的另一个别装置8[0022]本揭示内容的额外态样针对经组态以执行上文及本文中所描述的方法的系统及[0025]图2描绘了根据本文中所描述的态样的自探针阵列臂延伸的探针阵列的替代配置[0028]图4B描绘了根据本文中所描述的态样的在其一端部上具有导电材料的探针尖端[0029]图5A至图5B绘示了根据本文中所描述的态样的基于探针尖端浸渍至液体导电材[0030]图6A至图6C绘示了根据本文中所描述的态样的基于探针尖端浸渍至液体导电材[0032]图8A至图8C描绘了根据本文中所描述的态样的探针的导电状态的实例电气及光[0033]图9A至图9C描绘了根据本文中所描述的态样的探针阵列的基于电气的调平的实[0037]图14描绘了用以并入及/或使用本文中所描述的态样的电脑系统及相关联装置的9考对microLED的测试呈现。MicroLED测试对于microLED显示器检查可为特别有用。有效地激发用于检查的装置阵列。尽管本文中所描述的特征是具体参考microLED呈现的，但所属技术领域中具有通常知识者将了解，本文中所描述的特征可用于测试/检查各种装光学地及/或电气地监测自被激发的数个装置产生的信号。探针在多个位置处并行地进行经由适当机械特性来提供的，使得数个探针可重复地与装置的电触点进行适当相互作用，针阵列可经制作具有适当间距及几何形状，以在需要时在激发DUT时在光学显微镜的最高在工具与受测装置之间的此类电连接的侦测对于在具有受测装置的晶圆或其他基板的表探针110在其基座与其尖端之间的探针区域中设置有弯曲或其他方向变化，并且在该区域在此特定实例中，各受测装置100(在此实例中为microLED)与各别唯一的一对接触垫相关阵列的区段包括(十六个)装置1100的4×4阵列。PXLx间距是指在x维度(图11中的水平方经由共同接地(CG)线电连接至同一列(x维度)中的装置1100的其他接地接触点。在本实例臂204成对地提供悬臂探针，其中各对探针经组态并经定大小以提供与给定受测装置(例探针列中的探针206a及206b将提供用于测试第一装置1100的两个触点(诸如借由横跨装置以到达装置的各侧上的各别触点)，而较短探针列中的探针206c及206d将提供用于测试第种其他探针对用于测试其他装置1100或用于测试装置的替代[0066]图3A描绘了根据本文中所描述的态样的探针的另一实例。探针300可相对于探针阵列臂(未示出)是悬臂式，例如具有自探针阵列针310自探针阵列臂312在大致单一方向上延伸(在图3B的实例中，相对于探针阵列臂的端在接触垫位于DUT的一侧上并且自DUT的另一侧观察激发特性(例如发射光)的情况下可能撑结构的适当尺寸。本文中描述了具有不同分布及/或长度及间距的悬臂探针的不同几何[0069]亦应注意，虽然部分或全部探针的挠性可是所要的及/或必要的，但在此等情况[0070]根据本文中所描述的态样，在探针尖端与接触垫之间用以提供电激发的电连接/耦接可借助探针尖端本身与接触垫的可变分离来提供。此可在不损害导电性的情况下提针的一种方法是将突出探针浸渍至液体导电材料中。此类操作可在不损坏其阵列/探针的发生的物理及/或化学程序/变化(该物理/化学变化可取决于测试发生的环境及其他条[0075]在浸渍至液体导电材料中之后如此涂覆的探针400可自池420提升/取出，而不会(固体)接触垫时或在尖端上的导电材料是固体时原本将达到的电[0078]从而提供在探针尖端与接触点之间的电相互作用及/或接触，而探针尖端不与接[0079]图4B描绘了根据本文中所描述的态样的在其一端部上具有导电材料的探针尖端[0082]此等态样可有助于消除或最小化探针尖端的磨损及其他降级，同时实现与DUT的中探针/探针尖端本身不与接触点进行实体接触，而是替代地借由呈液滴形式的导电材料的任何相关联调平/对准可在不使用主动回馈的情况下以DUT的接触的穿隧模就此而言，探针浸渍在液体导电材料中的深度及/或探针浸渍至液体导电材料中的部分可可借由液体导电材料经由测试探针递送至各[0089]图5A至图5B绘示了根据本文中所描述的态样的基于探针尖端浸渍至液体导电材[0092]图6A至图6B绘示了根据本文中所描述的态样的基于探针尖端浸渍至液体导电材7绘示可借以连接探针的基本电路。示出了在任何给定时间探测DUT702的仅一个探针704[0095]电探针704可在DUT702的导电垫上与DUT进行接触，例如直接接触或借由如本文[0096]在探针与导电材料(诸如液体导电材料及DUT的接触垫/点)之间的电相互作用可材料中时及/或在电耦合任何其他导电表面(诸如接触垫)时产生的信号。图8A描绘了当探绘图804表示用与导电材料(其为液体金属或导电表面808)接触的(例如，探针806的)探针当探针806在导电金属液体808中时随时间而变的导电率。此表征了与导电材料接触的探号的调平技术需要探针相对于DUT的相对准确调平。然而，使探针能够容易地进行电接触(例如，经由真空涂覆技术及/或借由将探针浸渍至液体导电材料中)的副产物是所观察到偏差，例如，此是因为液滴的厚度在探针尖端不对准及/或与接触垫间隔开方面提供了缓[0102]图8B描绘了当探针涂覆有镓时以及当在将探针引入至金表面的前该探针保持在针接触DUT的接触点之前)探针的实例电流电压曲线及光学性质。标绘图810表示所施加电[0103]在涉及探针阵列的具体实例中，可为阵列的各探针获得各别电指示(例如，标绘[0104]图9A至图9C描绘了根据本文中所描述的态样的探针阵列的基于电气的调平的实[0106]图10A至图10C绘示了根据本文中所描述的态样的在测试DUT时的连续激发。在测试具有数百个、数千个或数百万个个别测试装置的DUT时，可重复性对于高效测试极其重端与感兴趣的装置(例如，DUT)挠性接触防止、最小化或消除对探针尖端的接触损坏及/或对感兴趣的装置的损坏的任何风险的同硅或具有促进有效制作所要几何形状的特性的其他材探针与DUT的特征适当接触。此可允许借由某一信端上的液滴形式的液体导电材料自液体导电材料浴槽转移至DUT，而无探针尖端上的彼等[0112]探针可为导电探针，并且在各探针尖端与DUT上的触点之间可存在例如由液滴提间隔开，其中导电材料(粘着至探针尖端的导电[0113]本文中所描述的态样的一些特征如下，可单独及/或彼此组合实施。在具体实例由经由数个测试探针递送至数个接触点的一或多个电信号来驱动数个个别装置的并联电测试探针与数个接触点之间已进行电接触，其中驱动是回应于确认(基于确认触发)而执[0116]在任一前述及/或替代具体实例中，驱动并联电激发的一或多个电信号包含与数个测试探针中对应的至少一些测试探针并行施加至数个接触点中的至少一些接触点的电[0117]在任一前述及/或替代具体实例中，数个个别装置包含数个微型发光二极管接触点的一或多个电信号来驱动DUT的接下来的数个个别装置的并联电激发。在具体实例针的至少一部分浸没在液体导电材料中；及自液体导电材料取出/移动各测试探针的浸没相对于DUT的接下来的数个接触点定位数个测试探针，使得数个测试探针在接下来的数个[0121]在任一前述及/或替代具体实例中，包含液体导电材料的贮液器经由延伸至数个进一步具体实例中，液体导电材料的液滴形成在数个测试探针中的各测试探针的端部上，由测试探针借由测试探针的端部上的液体导电材料液滴将电信号递送至各发的同时连续维持在测试探针与接触点之间的电接触，其中在不存在/无需使用主动回馈具的导电测试探针的至少一部分浸没在液体导电材料中；自液体导电材料取出/移动测试的端部上的液体导电材料与DUT上的接触点进行实体接触；及借由经由测试探针通过测试[0124]在任一前述及/或替代具体实例中，液体导电材料包含金属。该金属可包括例如[0125]在任一前述及/或替代具体实例中，测试探针的浸没的至少一部分包括测试探针[0126]在任一前述及/或替代具体实例中，接触点是第一接触点，并且该方法进一步包上液体导电材料的剩余液滴与DUT的下一接触点实体接触；及借由经由测试探针通过测试探针的端部上的液体导电材料的液滴递送至下一接触点的电信号来驱动DUT的下一装置的[0131]在任一前述及/或替代具体实例中，测试探针是测试装置的测试探针阵列或数个阵列/数个测试探针及/或将测试探针阵列/数个测试探针与DUT的数个装置对准，其中调电信号判定测试探针阵列/数个测试探针是否相对于DUT的数个装置调平及/或与其对准。备包括将测试探针的至少一部分浸没在液体导电材料中，以及自/相对于液体导电材料取出/移动测试探针的浸没的至少一部分，其中液体导电材料的液滴保留在测试探针的端部的各测试探针经制造成非挠性及/或具有由选定的力常数界定的挠性，该选定的力常数视针的至少一部分浸渍/浸没在液体导电材料中；自/相对于液体导电材料取出/移动各测试电材料保持在测试探针的端部上并与测试探针的导电部分电接触；及使测试探针阵列及/或DUT彼此相向/相对移动，使得测试探针的端部上的液体导电材料与DUT上的各别接触点本文中所论述的受测装置的并联电激发，更不用说在连续的接触上由相同的探针/探针尖[0140]在又一方法中，硅探针的大规模平行阵列设置有用于递其中油墨自贮液器借由将液体递送至标准尖端的通道提供，而非借由自探针的外部浸没/规模探针阵列。在探针尖端与接触面之间的可接受距离方面提供关于导电性的偏差以及液滴材料的导电重复的电相互作用，以有效地激发用于测试/检查应用的装置阵列，例如检查显示器中的microLED来实现基于电致发光的缺陷的microLED晶圆，其中在触点之间的间距是64.8微米，且晶圆上具有大约420万个[0147]本文中已描述了装置及相关方法/程序。图12描绘了根据本文中所描述的态样的例如测试工具的电脑系统或与测试工具通信的电脑系统)的处理器或处理电路系统来执[0148]图12的程序包括：相对于样本阵列的第一数个接触点定位(1个个别样本的并联电激发的同时连续维持在数个测试探针与第一数个接触点之间的电接经由数个测试探针递送至接下来数个接触点的一或多个电信号来驱动(1210)接下来的数[0153]在具体实例中，数个测试探针中的各测试探针的至少一部分是由半透明材料制[0156]在1302，该程序将测试装置的导电测试探针的至少一部分浸没在液体导电材料系统架构及/或指令集架构中的一或多者，诸如由英特尔公司(美国加利福尼亚州圣克拉拉)或ARM控股有限公司(英国英格兰剑桥)提供的由功能组件中的一或多者使用的暂存器。电脑系统1400亦包括可经由一或多个总线及/或其他连接耦合至处理器1402并且彼此耦接的存储器1404、输入/输出(I/O)装置1408及I/O[0164]作为实例，存储器1404可为或包括用于执行程序指令的主存储器或系统存储器[0167]电脑系统1400可经由一或多个I/O接口1410与一或多个外部装置1412通信。实例印机的周边装置通信的任何装置。网络接口面/配接器为实例I/O接口，其使得电脑系统1400能够与一或多个网络通信，诸如区域网络(LAN)、通用广域网络(WAN)及/或公用网络的(诸如Wi_Fi)接口及Bluetooth8配接器仅为电脑系统中使用的当前可用类型的网络配接器的实例(BLUETOOTH是美国华盛顿州刻[0168]在I/O接口1410与外部装置1412之间的通信可横跨有线及/或无线通信链路1411(诸如基于以太网络的有线或无线连接)进行。实例无线连接包括蜂巢式、Wi_Fi、于传送数据的任何适当的无线及/或有线通信链路。[0170]电脑系统1400可用许多其他通用或专用计算系统环境或组态来操作。电脑系统1400可采取各种形式众所周知实例中的任一者，该实例包括但不限于个人电脑(PC)系统、