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文档简介

质2述缓冲箱中的气体压力在接收所述清洗液以及从所述缓冲箱排液口排出所述清洗液时各在所述清洗装置处于未进行清洗的状态时向所述6.如权利要求1或2所述的清洗装置，其特征在于，3液成为可沸腾状态，基本上需要使清洗槽内的压力成为清洗槽内的清洗液的蒸汽压力以[0009]针对现有技术的清洗装置的工作效率较低的问题，本发明提供4冲箱处于气压较低的状态时，通气阀打开后能够较快地降低与其相连通的清洗槽的气压。[0016]根据上述技术方案，能够防止清洗槽长时间不使用时清洗液在清洗液供给部固5个处理器通过运行处理器可读指令执行上述任一技术方清洗槽1与缓冲箱2之间形成更大的压差，使得清洗槽1内的清洗液能够较快地排至缓冲箱6[0036]A0-B:截面积，m2[0044]气压调节机构5还包括设置于清洗槽1以及缓冲箱2的气压传感器18，气压传感器18能够对清洗槽1以及缓冲箱2内的气压进行检测，从而有助于气压调节机构5更准确地对7口9，第一气路接口8与第二气路接口9之间通过通气管10相连通。通气管10设置有通气阀液口12排出。缓冲箱2中的气体压力在接收清洗液以及从缓冲箱排液口12排出清洗液时各[0055]在本发明的另外一些实施方式中，也可以在清洗槽1内设置电加热器或蒸汽加热8[0063]清洗方法还包括压力调节步骤S4，通过气压调节机构5来调节缓冲箱2的气体压缓冲箱2的气压此时已处于较低状态，因此清洗槽1中的清洗液能够快速被排入至缓冲箱29清洗槽1向预先维持为高真空的缓冲箱2排液的速度，又能够避免缓冲箱2的真空度过高导

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