GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》完整版

GB50073-2013《洁净厂房设计规范》完整版说明：国标名称为GB50073-2013《洁净厂房设计规范》，即行业俗称的电子工业洁净厂房设计规范（2013修订后统一更名），2013-09-01实施，替代GB50073-2001，现行有效。本文为完整目录与核心条文浓缩完整版，适合方案、施工图、报审、交底使用；官方原版为带条文说明、表格、附录的正式版本。前言本规范由住房和城乡建设部、国家质量监督检验检疫总局联合发布。主编单位：中国电子工程设计院。本规范适用于新建、扩建、改建洁净厂房设计；适用于电子、医药、精密制造等各类洁净厂房。黑体条文为强制性条文，必须严格执行。目录总则术语空气洁净度等级总体设计建筑空气净化给水排水工业管道电气附录A洁净室空气洁净度等级附录B洁净室噪声限值附录C洁净室微振控制1总则1.0.1为统一洁净厂房设计技术要求，保证洁净环境，保障产品质量、生产安全、人员健康，制定本规范。1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建洁净厂房的设计。1.0.3洁净厂房设计除执行本规范外，尚应符合国家现行有关强制性标准的规定（防火、给排水、电气、节能、防爆等）。2术语洁净室（洁净区）、单向流洁净室、非单向流洁净室、空气洁净度等级、悬浮粒子、压差、人员净化、物料净化、FFU、洁净工作台、技术夹层等。3空气洁净度等级3.0.1洁净度等级按ISO14644-1分级，分为1级至9级；按悬浮粒子浓度划分，分静态、动态两种状态。3.0.2洁净等级、粒径（0.5μm、5μm）限值见附录A。电子芯片、面板行业常用：ISO5（百级）、ISO6（千级）、ISO7（万级）、ISO8（十万级）。4总体设计4.1厂址与总平面远离散发粉尘、烟气、腐蚀性气体、噪声、振动污染源；洁净厂房宜布置在厂区全年最小频率风向的下风侧；厂区绿化选用不易产生花粉、飞絮植被，减少扬尘。4.2工艺平面布置按工艺流程顺向布置，减少人流、物流折返、交叉污染；洁净区、准洁净区、非洁净区分区明确；高洁净度区域布置在内侧，低洁净度靠近外围；合理设置技术夹层、技术竖井、夹道，布置风管、管线、FFU、工艺管线；人流、物流通道分开设置。4.3人员净化与物料净化人员净化流程：换鞋→更衣（外衣）→洗手→穿洁净服→风淋（高等级洁净区）→洁净室。5级及以上洁净室宜设置风淋室；风淋室不得作为安全出口。物料净化：外清→脱包→传递窗/物料风淋→洁净区；传递窗设互锁，防止两侧同时开门。4.4噪声控制洁净室静态噪声限值：单向流≤65dB(A)；非单向流≤60dB(A)，详见附录B；优先选用低噪声风机、设备，设置减振、消声器。4.5微振控制精密光刻、检测设备区域做微振验算，按附录C控制地面振动速度，独立基础、隔振台，远离动力设备、道路。5建筑5.1一般规定洁净厂房耐火等级：甲类洁净厂房耐火等级不应低于一级；乙类不低于二级；洁净室主体结构宜采用大跨度框架，便于工艺调整；洁净室围护结构密闭、不产尘、不积尘、耐腐蚀、易清洁。5.2防火、疏散（强条重点）洁净厂房每个防火分区安全出口不少于2个；疏散门向疏散方向开启，严禁采用风淋室、传递窗作为疏散出口；疏散走道、疏散楼梯设置应急照明、疏散指示；技术夹层、吊顶内按防火分区划分，设置排烟、防火封堵。5.3室内装修墙面、吊顶、地面平整光滑，无裂缝、无积尘凹槽；阴阳角宜做圆弧R≥25mm；洁净门窗密闭，洁净门向高洁净度房间开启，配闭门器；洁净窗与墙面齐平，不设窗台；推荐光反射系数：顶棚、墙面0.6～0.8；地面0.15～0.35；8级以上洁净室墙板、吊顶优先轻质洁净彩钢板；所有缝隙密封，板材燃烧性能、烟密度满足规范。6空气净化（暖通核心章节）6.1一般规定净化空调系统按洁净等级、工艺、温湿度、热湿负荷独立设置；高等级洁净室宜独立系统，避免污染交叉；空气过滤三级配置：初效→中效→高效（HEPA）；高效过滤器设在末端。6.2压差控制【强条】不同等级洁净室之间压差≥5Pa；洁净区/非洁净区≥5Pa；洁净区对室外≥10Pa；负压洁净室（有毒、污染工艺）按工艺要求维持负压；风机联锁：正压洁净室先开送风，再开回风、排风；停机顺序相反；负压反之；非连续使用洁净室可设值班送风。6.3气流流型与送风量≤5级（含4、5级）：单向流；6～9级：非单向流（乱流）；送风量取三项最大值：换气次数、热湿负荷、维持正压风量。6.4空气净化处理新风过滤、除湿、加湿、降温、加热；加湿优先干蒸汽，避免水质二次污染；HEPA检漏：安装完成后必须做PAO检漏。6.5采暖、通风、防排烟洁净区内一般不设散热器；有有害气体、溶剂挥发工艺设置局部排风；防火分区、技术夹层、吊顶内按GB50016设置排烟系统。6.6风管与附件净化风管优先镀锌钢板；风管咬口密封；风管内壁清洁；防火阀、止回阀、消声器单独设置支架；风管穿越防火墙设置防火阀、封堵。7给水排水7.0.1洁净厂房给水：生产纯水、超纯水、生活给水、消防给水独立管网；7.0.2纯水、超纯水管道材质：PVDF、PP、高纯不锈钢；7.0.3洁净室内排水：地漏为洁净地漏、水封密封，防止臭气、尘粒反向窜入；高等级洁净室尽量少设地漏；7.0.4消防：室内消火栓、自动喷水；甲/乙类洁净区域按工艺设置适合灭火系统。8工业管道（特种气体、化学品，电子厂重点）8.1高纯气体、特种气体、腐蚀性液体、有机溶剂管道独立敷设，布置于技术夹层/管井；8.2管材阀门：高纯气体用EP级不锈钢；腐蚀介质采用PTFE、PVDF；8.3管道连接：高纯管自动轨道焊接，内壁抛光；安装前清洗、脱脂；8.4安全：氢气管道设回火防止器；可燃、助燃气体静电接地；设置气体探测报警、排风、紧急切断阀；标识清晰。9电气9.1配电供电系统TN-S为主；工艺核心设备、光刻、检测设备配UPS不间断电源；净化空调、照明专线供电；洁净区内配电设备暗装、不易积尘；管线暗敷，穿墙、板位置密封封堵。9.2照明洁净室采用荧光/LED洁净灯；备用照明、应急疏散照明；工作面照度按工艺要求。9.3通信与监控电话、对讲、视频监控；火灾报警系统，联动空调、排风、防火阀、电梯。9.4自控温湿度、压差、风机、过滤器压差监测、报警；净化空调DDC自动控制。9.5静电防护与接地【电子厂核心】防静电地面：表面电阻率1×10⁵～1×10¹²Ω/□；对地泄放电阻10⁵～10⁹Ω；洁净服、周转器具、工作台接地；设置总等电位、局部等电位