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文档简介

1、.1，激光分类，Fabry-Perot激光(FP)分布式反馈激光(DFB)垂直腔面发射激光(VCSEL)，2，FP激光，FP激光的谐振腔由涂层的自然分解面形成，只能进行静态单模操作。高速调制或温度和电流变化会导致模式跳跃和频谱线扩展。3，DFB激光，分布式反馈层(DFB)，即内置布拉格光栅(Bragg Grating)，属于从侧面发射的半导体激光器的分布式反馈激光器。DFB激光将布拉格光栅集成到激光内部的有源层(即增益介质)，并在谐振腔内形成选择模式结构，从而实现完全的单模操作。4、5，目前，DFB激光主要以锑化镓(GaSb)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、硫化锌(ZnS)等半导体材料

2、为介质。DFB激光器的最大特点是具有非常好的单色(光谱纯度)，这是因为它在1MHz内可以线宽，并且具有非常好的边连接参考率(SMSR)，目前高达40-50dB以上。6，DFB-LD芯片制造，外延生长光栅生成二次外延生长脊波导生成欧姆接触，薄解决方案条端涂层解决方案管芯TO-CAN，7，晶格生产，1。全息曝光2。干或湿蚀刻，8，二次外延生长，生长：1。低折射率层2。腐蚀停止层3。盖层：接触层，9，激光的纵向模式，F-P腔激光：多种模式操作，即激光只能在短距离内使用，DFB激光DFB激光在高速调制时仍保持着F-P激光无法比拟的单模特性。DFB激光在高速调制时有啁啾(chirp)，频谱线稍微扩展，但

3、是比F-P激光的动态频谱线扩展更进一步。10，FP-LD和DFB-LD的比较，光谱特性。激光光谱特性包括峰值(或中心)波长、光谱宽度、边缘模式抑制比；11、12、13，侧模式抑制比侧模式suppression ratio最坏反射条件，全调制条件下激光光谱的主纵向模式光功率峰值强度(Pm0)与最大侧模式光功率峰值强度(P m1)的比率代数，即SMSR=10 LG (Pm0/P m1)，14，15，16，17，18，19、20、21、DFB激光开发，DFB激光开发方向为更宽的调和范围和更窄的线宽，将两个单独的光栅集成到一个DFB激光中，以实现100nm调和范围和更窄的光谱线宽等更宽的波长调谐范围。22，DFB激光有很多优点，但并不完美。例如，要制作光栅，DFB激光需要复杂的二次外延生长过程，在制作光栅凹槽后，吃掉二次外延反射已经形成的光栅，使光栅不完整，并增加谐振腔内的散射损失，从而降低激光的内

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