管式PECVD生产操作规程.ppt

1、2020/6/24,1,PECVD生产操作规程,葛成林,2020/6/24,2,1 安全警告,设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、射频辐射等危险 严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域 机器生产运行时，严禁拆设备任何部件。 未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机。,2020/6/24,3,硅烷是极易燃易爆气体 硅烷灭火仅通过关闭气源 硅烷燃烧生成石英砂 预防： 定期设备检查 培训合格，有特殊能力的人操作 机器安全保护 硅烷气体泄漏探测器,2 硅烷 Silane SiH4,2020/6/24,4,氨气 Ammonia NH3,腐蚀性 对眼睛、皮肤、呼吸系统伤害 高浓

2、度致命 低浓度易燃 预防：同硅烷 另外避免吸湿和检查阀体及管路锈蚀情况,2020/6/24,5,3 安全与标识,威胁人身伤亡或健康 微波辐射危险 微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2 热的表面,2020/6/24,6,触电危险 戴防护眼镜 戴防护手套,2020/6/24,7,3 开机,开总电源 启动计算机 检查冷却水 检查气源 启动真空泵 加热,2020/6/24,8,3.1开总电源开关： UPS不间断电源-控制电源 市电-加热、驱动、真空泵,2020/6/24,9,3.2启动计算机-开电源后自动启动，输入密码。,2020/6

3、/24,10,3.4 检查冷却水,冷却水压力应在4kg/cm2-6kg/cm2范围内 先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀,2020/6/24,11,3.4 检查气源,打开压缩空气阀，压缩空气为 5kg/cm2-7 kg/cm2 打开氮气阀，氮气压力为3kg/cm2 打开CF4和O2阀，压力为3kg/cm2 打开SiH4和NH3阀，压力为3kg/cm2（警告：开特气需培训合格者，确保特气管路中无O2或压缩空气),2020/6/24,12,3.5 启动真空泵,开冷却水，压力最大4kg/cm2 开N2，压力应在1KG/CM2 启动真空泵 如果是冷泵，手动关闭蝶阀，真空泵预热,2020/6/24,13

4、,在CESAR界面， manal/T-paddle/All/setpoint=450,3.6加热：,2020/6/24,14,4 选择工艺单、生产,2020/6/24,15,5 关机,5.1检查所有管工艺运行结束，降温 5.2关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫 5.3关掉真空泵 5.4退出控制程序,关主电源 5.5关上压缩空气、氮气、冷却水 说明：短时间不用不需关设备，维护和放假才可能关闭设备。平凡关闭设备易引起故障。,2020/6/24,16,5.1 工艺运行结束后降温,在CESAR界面， manal/T-paddle/All/setpoint=25 为了加快降温速度可向管灌N2到大气压 Ma

5、nal/gas/N2NO/valve/open(开气) Manal/gas/N2NO/valve/close(关气),2020/6/24,17,5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫,关上位于墙壁气箱中特气阀 通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫,2020/6/24,18,5.3 关真空泵,运行停泵工艺PUMPOFF.PRZ 等电脑提示停泵 等泵冷却后关闭N2和冷却水,2020/6/24,19,5.4 退出控制程序，关主电源,密码登陆关闭控制软件CMI，计算机显示回到windows画面 进行正常关计算机操作 相邻两条线四台PECVD全关闭计算机后，关闭主电源,2020/6/24,20,5.5