标准解读
GB/T 37254-2018《高纯碳化硅 微量元素的测定》是一项国家标准,该标准规定了高纯碳化硅材料中多种微量元素含量测定的方法。这些微量元素包括但不限于铁(Fe)、铝(Al)、钙(Ca)、镁(Mg)等杂质元素,它们在半导体工业和电子工业等领域中的应用至关重要,因为即使是很低浓度的杂质也可能对最终产品的性能产生显著影响。
根据本标准,样品处理采用湿法消解技术,即将一定量的高纯碳化硅粉末与强酸混合,在高温条件下使样品溶解,从而将待测元素转化为可溶性盐的形式。之后,通过电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)或电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)进行定量分析。这两种方法都具有较高的灵敏度和准确性,能够满足对于微量甚至痕量级元素检测的需求。
此外,标准还详细描述了实验所需仪器设备的基本要求、试剂的选择与配制、操作步骤及注意事项等内容,并给出了不同元素的具体测定条件。同时,为了保证测试结果的可靠性,GB/T 37254-2018也制定了质量控制措施,比如使用已知浓度的标准溶液来进行校准曲线绘制,以及定期开展实验室内部比对实验以验证方法的有效性。
该文件适用于从事高纯碳化硅生产、研究及相关领域工作的单位和个人参考执行,有助于提高产品质量管理水平,促进相关行业健康发展。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2018-12-28 颁布
- 2019-09-01 实施
©正版授权
文档简介
ICS7104050A 43 . .中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T372542018 高纯碳化硅 微量元素的测定 HighpuritysiliconcarbideDeterminationoftraceelements2018-12-28发布 2019-09-01实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 中国国家标准化管理委员会 GB/T372542018 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。本标准由中国建筑材料联合会提出 。本标准由全国工业陶瓷标准化技术委员会 归口 (SAC/TC194) 。本标准起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 宁波伏尔肯机械密封件制造有限公司 : 、 。本标准主要起草人 陈奕睿 邬国平 朱燕 屈海云 汪正 邹慧君 黄伟峰 谢方民 : 、 、 、 、 、 、 、 。 GB/T372542018 高纯碳化硅 微量元素的测定 警示使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验 本标准并未指出所有可能的安全问 。 题 使用者有责任采取适当的安全和健康措施 并保证符合国家有关法规规定的条件 。 , 。1 范围 本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱 法和电感耦合等离子体质谱 (ICP-OES) (ICP- 法测定高纯碳化硅中微量元素含量的方法 MS) 。 本标准适用于碳化硅质量分数含量大于或等于 的高纯碳化硅材料中铝 砷 钙 铬 铜 铁 99.9% 、 、 、 、 、 、 汞 钾 镁 锰 钠 镍 铅 硫 钛 锌等 种元素的测定 各元素的测定范围见表 以质量分数计 、 、 、 、 、 、 、 、 、 16 。 1( )。 表1 元素的测定范围 元素 测定范围 元素 测定范围 /% /% 铝 镁 (Al) 0.00010.1 (Mg) 0.00010.1 砷 锰 (As) 0.00010.1 (Mn) 0.00010.1 钙 钠 (Ca) 0.00010.1 (Na) 0.00010.1 铬 镍 (Cr) 0.00010.1 (Ni) 0.00010.1 铜 铅 (Cu) 0.00010.1 (Pb) 0.00010.1 铁 硫 (Fe) 0.00010.1 (S) 0.0010.1 汞 钛 (Hg) 0.00050.1 (Ti) 0.00010.1 钾 锌 (K) 0.00010.1 (Zn) 0.00010.12 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T602 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T6682 3 原理 31 ICP-OES法 . 样品用碳酸钠 硼砂高温熔融分解或者用酸加压溶解后 在电感耦合等离子体炬焰中激发 发射出 、 , , 所含元素的特征谱线 根据待测元素特征谱线的强度测定相应元素的含量 , 。32 ICP-MS法 . 样品用酸加压溶解后 在电
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