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文档简介

主要内容SEM基本原理基本原理1SEM分析应用实例分析应用实例2第1页/共12页SEM工作原理工作原理扫描电镜是用于检验和分析固体微观结构特的最有用的仪器之一。与透射电镜的成像方式不同，扫面电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。由三极电子枪发射出来的电子束，在加速电压作用下，经过2-3个电子透镜聚焦后，在样品表面按顺序逐行进行扫描，激发样品产生各种物理信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等。这些物理信号的强度随样品表面特征而变，它们分别被相应的收集器接受，经放大器按顺序、成比例地放大后，送到显像管成像，得到样品表面特征图像。第2页/共12页SEM示意图示意图第3页/共12页SEM特点特点a.可以观察直径为1030mm的大块试样，制样简单b.场深大，适用于粗糙表面和断口的分析；试样有立体感，易于识别c.放大倍数范围大d.具有相当的分辨率e.可以通过电子学方法有效的控制和改善图像质量f.可进行多种功能的分析g.可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态试验第4页/共12页SEM应用实例应用实例1第5页/共12页SEM应用实例应用实例1第6页/共12页SEM应用实例应用实例1第7页/共12页第8页/共12页SEM应用实例应用实例1第9页/共12页SEM应用实例应用实例1第10页/

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