《集成电路工艺原理》制备二极管的工艺流程

1、 PAGE 4制备二极管的工艺流程一、二氧化硅的去除1、BOE液的配制氢氟酸（浓度49 %）：氟化氨（浓度40%）=1：5。目的：腐蚀硅片表面的SiO2。 工具：用特氟龙槽耐腐蚀而不需要加热。2、工艺流程 把硅片放在BOE液中（BOE液放进水浴中）(水浴35),看颜色，或脱水，一般为每分钟为200nm，根据情况而定。取出后放入方形石英杯中，用纯水冲洗，约2分钟即可。二、普通硅片的清洗1、3#液的配制（用石英器具，耐酸碱，但不易使用HF，为加热酸及纯水洗涤槽）双氧水（浓度30%）：浓硫酸（浓度96%）=1：35。2、工艺过程把3#液用电炉加热至120左右，放入硅片，加入适量双氧水，煮1015分钟

2、，关电炉。3、清洗后在去离子水中反复冲洗（至少10次），去除多余的酸。注意：冲洗时流水方向要与硅片平行。三、烘干 把所要烘干的硅片放在支架中，放入石英烧杯中，放在电炉上，加热、烘干。四、氧化 目的：保护和钝化表面，作为杂质扩散的掩蔽层，氧化层厚度约为40006000A（埃）左右。方法：采用干-湿-干氧化的方法制备氧化层。（5分钟80（90）分钟5分钟） 开始的准备工作，若长时间没使用设备，首先倒掉水浴瓶中旧的去离子水，用新鲜去离子水冲洗数次，更换新的去离子水，水量至水浴瓶的2/3处，放入恒温水浴中，并保证水浴锅中的水量为9/10，加热至9598。1、炉子预热为922左右（打到8档），恒温 30

3、分钟；2、打开氧气、氮气的气阀,调节减压阀大约为1格；3、清洗管道，顺序：下氮气下水浴氧气下氧气，均为2升，各5分钟，然后关闭各流量计；4、打开氮气，2升，开始进样，拉出石英舟（一定要慢：推20公分，停1分钟，大约为34次），将片子小心地放在石英舟上。注意：抛光面要朝向炉子外，保证背向气流；5、舟进入炉管中间恒温区，关下氮气阀门，开下水浴氧气阀，同时调高温度至1100（打到10档），恒温后，保持90分钟；6、关下水浴氧气阀，开下氧气阀，1530分钟后，再关下氧气阀；7、打开下氮气阀门，同时降温至 8档并慢速出片。五、测试二氧化硅膜厚度用椭圆偏振仪测量。六、光刻1、匀胶工艺（用负胶工艺）掩模板上

4、图形与硅片上相反。 打开电源开真空泵调节工艺流程转速（500转/分钟、时间18秒）、转速（3000转/分钟、时间28秒）吸片滴胶（7-8滴）启动。按下“控制”“放片”“吸片”检查一下是否吸住“滴胶”“启动”。2、焙烘工艺 加热恒温70，时间为510分钟；3、曝光工艺开电源、真空泵调节掩膜板3个定位钉右旋固定吸住掩膜板放置硅片吸住硅片（按下吸片）定位上顶硅片固定旋钮放置到光源的中央曝光(大约为18秒) “按下分离曝光按钮”。曝光结束后,打开旋钮下调载物台拉开掩膜板硅片解吸取片,其他还原。4、显影工艺显影12分钟定影30秒显微镜观看若合适坚膜140、时间为30分钟。5、坚膜若合格，放入烘箱坚膜14

5、0、时间为30分钟。七、腐蚀二氧化硅1、打底膜工艺 主机：开电源打开离子刻蚀机上盖装片关盖开低速度泵开高速泵 配电柜： 开电源真空规管加热（电流为 毫安）开启匹配射频电源 开氧气开角阀开质量流量计（大约为22sccm）计时器复零(40秒左右)看起辉 起辉结束按开设备的反方向关设备；2、腐蚀 放入BOE液中腐蚀，速度=200nm/分钟，之后冲水10次；3、腐蚀检验4、去胶放入3号液中，加入适量双氧水，130，10分钟。八、匀硼源1、清洗，与前面的清洗工艺一样；2、烘干；3、匀硼源。 低速：500rpm左右，18秒；高速：30004000rpm，60秒。注意：滴胶时不要挤出大量气泡！九、预扩散1、

6、打开氧气、氮气的气阀,调节减压阀大约为1格，并开上氮气；2、炉子预热为787左右（打到7档），恒温 30分钟；3、关闭氮气，打开氧气，开始进样，拉出石英舟（一定要慢：推20公分，停1分钟，大约为34次）将片子小心地放在石英舟上。注意：抛光面要朝向炉子外，保证背向气流；4、把石英舟放到炉口，烘干5分钟，以后要慢推，推10公分，停12分钟，让有机溶剂挥发，推3次后，停30min，然后继续推，10cm/次，直到恒温区；5、调上氧气为0.5升、氮气2升；6、升温960（开到9档），恒温30分钟；7、降温为787左右（打到7档）；8、关闭氮气阀门，调节氧气为2升，10min，然后缓慢拉出（拉10公分，停1分钟）。十、测试1、用BOE液漂光表面（表面脱水）2、用纯水清洗3、烘干4、测试预扩散的方阻（50-60）5、测试预扩散后的二极管特性十一、再扩散1、用3号液清洗，同上2、放入氧化炉(925左右)的石英舟上，开氮气3、慢慢推入（推20公分、停1分钟）到恒温区4、关闭氮气，开氧气，然后开始升温，目标温度1100（放10档）；5、10min后，关闭干氧气，打开恒温湿氧60min；6、关湿氧，开干氧15分钟（调节结