齿轮激光测量技术

1、齿轮测量 激光测量法1内容提要 总结 激光测量法改进思路 激光测量法存在的问题 激光测量法简介 背景介绍1.1 现代测量技术现代测量技术齿轮单项几何形状误差测量技术齿轮综合误差测量技术齿轮整体误差测量技术齿轮单项几何形状误差测量技术采用坐标式几何解析测量法,将齿轮作为一个具有复杂形状的几何实体,在所建立的测量坐标系(直角坐标系、极坐标系或圆柱坐标系)上,按照设计几何参数对齿轮齿面的几何形状偏差进行测量。1.1 现代测量技术G3-System50四轴圆柱坐标测量机三坐标测量机齿轮综合误差测量技术采用啮合滚动式综合测量法,把齿轮作为回转的传动元件,在理论安装中心距下,和测量齿轮啮合滚动,测量其综合

2、偏差。齿轮整体误差测量技术1、用坐标式几何解析法对单项几何精度测量， 并按齿轮啮合传动顺序和位置，集成为静态齿轮整体误差曲线；2、按单面啮合综合测量方式，使用特殊测量齿轮，采用滚动点扫描测量法对其测量，得到齿轮运动整体误差曲线。1.1 现代测量技术运动齿轮整体误差曲线齿轮双面啮合仪齿轮在机测量技术1.2 齿轮测量技术新进展 此外，在仪器测量形态和检测系统方面,现代齿轮测量技术还有如下两方面的进展：KAPP公司的在机测量仪日本京都大学渐开线测量仪内容提要 总结 激光测量法改进思路 激光测量法存在的问题 激光测量法简介 背景介绍通常是指在齿轮的几何尺寸和形状位置精度的测量中,采用了激光技术,包括采

3、用激光测长系统，激光测量头系统，以及激光全息式齿轮测量系统等。激光三大特性：2.1 激光测量原理特性单色性好相干性好方向性好激光特性激光测长系统如:采用双频激光干涉仪作为齿轮测量仪器的长度基准或传感器由于激光是长度溯源基准,不少高精度齿轮计量系统或齿轮测量基准仪器,采用激光测量系统作为其长度坐标测量系统。2.2 三大激光测量系统激光在线测长装置方案激光测量头系统如:非接触点反射式激光测量头作为齿轮误差的检测传感器日本AMTEC公司的G3齿轮测量系统，采用的是CONO激光测量头，齿轮回转，测头位置相应变化测出齿轮的截面形状。2.2 三大激光测量系统总体光路布局1 两象限光电二极管 2 微调平行平

4、板玻璃 3.10.15 反射镜 4 CCD传感器5.11 半透反镜 6 精密测量镜头 7 被测自由曲面 8 半导体激光器 9 反射角调节透镜 12 白炽灯 13.14 凹透镜激光全息式测量系统如:激光全息技术对齿轮的齿面几何形状误差进行测量的系统激光全息技术其实是一种立体照相技术。光学全息过程：一是用干涉方法记录物光波的全部信息；二是用衍射方法再现物体的光学现象。2.2 三大激光测量系统光学全息原理简图激光全息式测量系统激光器发出的光经扩束、滤波和准直后变为平行光束,入射到分束镜后分为两束,一束照射测试齿轮齿面,另一束照射参考面,两束光被反射后再经过分束镜照射CCD摄像机靶面,形成全息记录光路

5、，相机会记录下两幅全息图样，经过图像处理系统处理可得到测试结果。2.2 三大激光测量系统数字全息干涉测量光路图内容提要 总结 激光测量法改进思路 激光测量法存在的问题 激光测量法简介 背景介绍各种齿轮测量仪所测误差或者尺寸过于单一，不够全面，不利于生产效率的提高。如：激光测长仪只适合测量齿面尺寸精度；激光测量头只适合测量齿形。各种齿轮测量仪在当前形势下，不单单需要测量齿轮参数数据，而且还需要有检测的功能，如生出渐开线样板图，进而利用计算机系统分析，对加工参数进行调整。3.1 存在的问题内容提要 总结 激光测量法改进思路 激光测量法存在的问题 激光测量法简介 背景介绍激光齿轮测量仪,采用激光全息技术,用光干涉法对被测齿轮的全齿面形状进行精度测量。4.1 改进思路激光全息齿面测量系统思路：将展成法、激光测量技术以及计算机分析技术结合起来，可得渐开线齿廓和齿面情况右图：用于基准传递、渐开线样板检测的CNC高精度齿轮测量仪,采用了高精度气浮主轴,气浮导轨,高精度长、圆编码器的同时,还采用了激光测长系统进行齿面精度检测。4.1 改进思路高精度齿轮测量仪结构简图内容提要 总结 激光测量法改进思路 激光测量法存在的问题 激光测量法简介 背景介绍简介了目前的齿轮测量技术介绍了齿轮激光