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文档简介

先进制造技术之四精密与超精密加工技术1、超精密加工技术概述2、超精密加工技术的发展历程3、超精密加工的范畴4、超精密加工的主要研究领域5、超精密加工的主要方法6、超精密加工的发展趋势先进制造技术之四精密与超精密加工技术1、概述精密与超精密加工技术是适应现代技术发展的一种机械加工新工艺。目前成为衡量现代制造技术水平的重要指标之一,是现代制造技术中最活跃的因素,已成为一个国家制造技术水平的主体。先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺。随着加工技术的发展,精密加工的技术指标也在不断变化。般加工:精度值1-10μm左右,Ra0.1~08m精密加工:精度值0.,1-1μm左右,Ra0.1pm以下超精密加工:精度值0.,1μm以下,Ra0.02μm以下纳米加工:精度值低于0.01ym,Ra小于0.005m先进制造技术之四精密与超精密加工技术3、超精密加工的范畴●超精密切削(车削、铣削)●超精密磨削宏观加工技术●超精密研磨、抛光微细(超微细,纳米)加工微观加工技术先进制造技术之四精密与超精密加工技术微细(超微细)加工是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的,是大规模集成电路和计算机技术的基础,是信息时代、微电子时代、光电子时代的关键制造技术之超微细加工以电子束、离子束和激光束三束加工为基础,采用沉积、刻蚀、溅射和蒸镀等加工手段进行各种处理先进制造技术之四精密与超精密加工技术4、超精密加工的主要研究领域包括:超精密加工技术是以高精度为目标的技术,它必须综合应用各种新技术,在各个方面精益求精的条件下,才有可能突破常规技术达不到的程度界限,实现新的高精度指标。先进制造技术之四精密与超精密加工技术(1)超精密切削刀具,刀具材料;(2)超精密加工设备(3)超精密加工环境控制(包括恒温、隔振、洁净控制等);(4)超精密加工的测控技术先进制造技术之四精密与超精密加工技术(1)超精密加工刀具超精密加工要求刀具能均匀地去除不大于工件加工精度且厚度极薄的金属层或非金属层。超精密切削中的加工刀具,一般指天然单晶金刚石刀具。超精密切削中必须保证金刚石刀具的刀面与刃口质量。超精密磨削的加工刀具砂轮的磨料品级与力度均匀性在加工中十分重要。先进制造技术之四精密与超精密加工技术(2)超精密加工设备目前的超精密加工机床一般采用高精度空气静压轴承支撑主轴系统;空气静压导轨支撑进给系统的结构模式另外,要实现超微量的切削,必须配有微量移动工作台的微进给驱动装置(摩擦驱动方式)和满足刀具角度微调的微量进给机构,并实现数字控制。先进制造技术之四精密与超精密加工技术1)主

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