纳米技术 微区表面及亚表面光学暗场共焦显微表征方法 编制说明_第1页
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《纳米技术微区表面及亚表面光学暗场共焦显微表征方法》标准制定是2021年个月。本标准由全国纳米技术标准化技术委员会（TC279）归口，主管部门为中一致性——本标准起草时尽可能与国家已发布的国家标ISO25178-600,产品几何技术规范（GPS）—表面结构：区域法600部分—表面层析测量方法的计量特性（Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part600:Metrologicalcharacteristicsfor—Surfaceimperfection—Terms，definitionproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part607:Nominalcharanon-contact(confocalmicroscopy)instrument）；GB/T27668.1-2011，显微术学显微术（Vocabularyformic本部标准规定了使用光学暗场共焦显微镜测量表面及亚表面缺陷的非接触式仪器的相关3.1光学暗场共焦显微镜对样品表面及亚表面缺陷检表2暗场共焦显微镜表面台阶宽度测量结果(μm）12345焦显微镜测量膜下台阶深度，同时将样品切割，使用电镜对比表征表3暗场共焦显微镜对亚表面台阶深度测量结果(μm）12345轴向定位深度D/μm4.标准中如果涉及专利，应有明确的知识产权行评估以及合理的改性控制，是先进制造领域长期面临10年来，随着表面形貌测量及亚表面缺陷检测需求提升及相关仪器的快速发展，工业界已经

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