X射线荧光光谱分析基本原理

X射线荧光光谱分析基本原理X射线光谱分析—以较高能量的射线或粒子（γ,α,x,质子，电子等）与被分析元素内层电子相互作用，受激元素内层电子以发射x射线的形式退激，利用受激内层电子发射的x射线对被测物进行测量的分析技术，亦即“x射线发射光谱分析”。它与“原子吸收光谱分析”，“火焰发射光谱分析”，“原子荧光分析”等分析技术是完全不同的作用机制。X射线荧光—用x射线辐照样品，样品中受激元素内层电子退激时发射的x射线，亦称二次x射线。使用“荧光”一词的目的在于与原级（辐照）x射线区别。术语x射线荧光光谱仪—以x射线管发射的x射线作为激发源，测量样品元素内层电子受激时发射的特征x射线的光谱仪。波长色散x射线荧光光谱仪—以x射线管发射的x射线作为激发源，通过测量被测元素发射的x射线波长和相应强度，达到定性或定量分析的目的的x射线荧光光谱光谱仪。能量色散x射线荧光光谱仪—以x射线管发射的x射线作为激发源，通过测量被测元素发射的x射线能量和相应强度，达到定性或定量分析的目的的x射线荧光光谱光谱仪。全反射x射线荧光光谱仪—以x射线管发射的x射线作为激发源，利用原级x射线在光学平面的全反射现象来激发样品的被测元素的特征x射线，通过测量被测元素发射的x射线能量和相应强度，达到定性或定量分析的目的的x射线荧光光谱光谱仪。术语XRF—（X-rayFluorescence）X射线荧光XRFA—（X-rayFluorescenceAnalysis）X射线荧光分析XRD—（X-rayDiffraction）X射线衍射WDXRF—（WavelengthDispersiveX-rayFluorescence）波长色散X射线荧光光谱分析（仪）EDXRF—（EnergyDispersiveX-rayFluorescence）能量色散X射线荧光光谱分析（仪）EPMA—（ElectronProbeMicroanalysis）电子探针显微分析PIXE—（ProtonInducedX-rayEmission）质子激发X射线发射(分析)TXRF—（TotalRefectionX-rayFluorescence）全反射X射线荧光SRXRF—（synchrotronX-rayFluorescence）同步辐射X射线荧光μXRF—（MicroX-rayFluorescence）微区X射线荧光字母缩写1895年伦琴发现X射线，1901年成为第一位诺贝尔物理学奖的获得者。1908年巴拉克和沙特拉发现物质受x射线辐照后会发射出和物质中组成元素相关的谱线并把它称作为标识辐射，也就是所谓的特征谱线，建立X射线光谱学。1912年劳厄证实x射线在晶体中的衍射。结合巴拉克发现的X射线偏振特性确认了x射线的波动性本质，布拉格等发现的电离特性证明X射线的粒子性，共同归纳了x射线是一种电磁波，具有波粒二象性。1913年布拉格父子根据X射线选择性衍射的特点，建立了简单实用的布拉格定律。1913年莫赛莱研究了各种元素的特征光谱，发现元素的特征谱线波长倒数的平方根与该元素原子序数成正比，这就是著名的莫赛莱定律，它奠定了X射线光谱分析的基础。1948年弗里德曼和伯克斯研制出第一台商用X射线荧光光谱仪。1969年伯克斯等研制出第一台能量色散X射线荧光光谱仪。近代出现TXRF，SRXRF，PIXE，μ-XRF。（1）X射线光谱分析的发展历程1895年9月8日，伦琴正在做阴极射线实验。当他接通阴极射线管的电路时，他惊奇地发现在附近一条长凳上的一个荧光屏（镀有一种荧光物质氰亚铂酸钡）上开始发光，恰好象受一盏灯的感应激发出来似的。他断开阴极射线管的电流，荧光屏即停止发光。由于阴极射线管完全被覆盖，伦琴很快就认识到当电流接通时，一定有某种不可见的辐射线自阴极发出。由于这种辐射线的神密性质，他称之为“X射线”。他发现了下例事实：（1）X射线除了能引起氰亚铂酸钡发荧光外，还能引起许多其它化学制品发荧光。（2）X射线能穿透许多普通光所不能穿透的物质；特别是能直接穿过肌肉但却不能透过骨胳，伦琴把手放在阴极射线管和荧光屏之间，就能在荧光屏上看到他的手骨。（3）X射线沿直线运行，与带电粒子不同，X射线不会因磁场的作用而发生偏移。伦琴因此获得1901年第一届诺贝尔物理学奖。伦琴—发现X射线劳厄认为X射线是一种电磁波。把一个垂直于晶轴切割的平行晶片放在X射线源和照相底片之间，结果在照相底片上显示出了有规则的斑点群。后来，科学界称其为“劳厄图样”。解决了X射线的本性问题，并初步揭示了晶体的微观结构。随后，劳厄从光的三维衍射理论出发，以几何观点完成了X射线在晶体中的衍射理论，成功地解释了有关的实验结果。到1931年，劳厄终于完成了X射线的“动力学理论”。劳厄的这项工作为在实验上证实电子的波动性奠定了基础，对此后的物理学发展作出了重要贡献。因发现X射线在晶体中的衍射，劳厄获得了1914年的诺贝尔物理学奖。劳厄—发现X射线衍射效应布拉格父子解决的第一个晶体结构是岩盐，整个晶体形成了一个巨大的栅格，每个钠离子被六个等距离的氯离子包围，每个氯离子被六个等距离的钠离子包围，没有单独的氯化钠“分子”。布拉格实验室早期取得的另一个成功是发现了钻石的结构，验证了早先化学家的理论，它纯粹是由碳原子组成的四面体。布拉格父子接着又解决了其他几个晶体的结构，他们在劳厄之后一年分享了诺贝尔奖。1913年布拉格建立了X射线的布拉格定律，至此，X射线通过晶体的干涉现象才有了定量的描述。1915年诺贝尔物理学奖授予英国伦敦大学的亨利·布拉格和他的儿子英国曼彻斯特维克托利亚大学的劳伦斯·布拉格，以表彰他们用X射线对晶体结构的分析所作的贡献。布拉格—建立了X射线的布拉格定律巴克拉发现了每一种化学元素产生一种次级X射线辐射，因此，它可被看作是该元素的特征标志，巴克拉称其为标识X射线。巴克拉还发现，标识谱线被区分为两个不同的范围：K系列和L系列。K系列的穿透本领较强，L系列的穿透本领较弱。巴克拉成功地研究了从钙到铈的K系列和从银到铋的L系列。次级X射线标识谱的发现，对现代原子结构概念的建立是非常重要的：决定原子在元素周期表中的位置，是该原子的核电荷，而不是原子量，也就是说，原子的核电荷决定原子的化学属性。因发现元素的次级X射线标识谱，巴克拉获得了1917年度诺贝尔物理学奖。巴克拉—发现元素的特征次级X射线标识谱线普朗克—创立了量子理论1918年诺贝尔物理学奖的获得者普朗克的伟大成就，就是创立了量子理论普朗克公式：门捷列夫：元素以及由它所形成的单质和化合物的性质随着原子量（现根据国家标准称为相对原子质量）的递增而呈周期性的变化，即元素周期律门捷列夫—元素周期律研究了各种元素的特征光谱，发现元素的同名特征X射线谱的频率的平方根与原子序数成正比，称之为莫塞莱定律，此定律为后来的X射线光谱的定性和定量分析奠定了基础。(1/)1/2=Q(Z-)莫塞莱明确证实了巴克拉的猜想，即标识X射线的波长随发射元素原子量的增大而均匀地减小。莫塞莱把这一规律归因于原子量增大时原子中的电子数的增加和原子核中的正电荷的增加（后来发现，核电荷反映了核内带正电的质子的数目）。莫塞莱—发现元素特征X射线能量和原子序数间的相互关系获得了1924年度的诺贝尔物理学奖。他测量、分析并确定了92种元素的原子所发射的标识X射线。这些元素的X射线标识谱间的相对简易性和紧密相似性使他确信这些辐射起源于原子内部而与外围电子结构所支配的复杂光谱线及化学性质无关。他证明了巴克拉发现的K辐射与L辐射的确存在。另外，他还发现了另一谱线系，即M系。西格班光谱仪的高度分辨率显示了莫塞莱所发现的K谱线为双线。他在L系中发现了28条谱线，在M系中发现了24条谱线。他的工作支持波尔等科学家关于原子内电子按照壳层排列的观点。从伦琴开始，人们一直试图证明X射线是一种波长短的电磁辐射。1924年，西格班用棱镜演示X射线的折射获得成功，从而完成了这一历史使命。西格班—元素的X射线特征谱线X射线是由高能量粒子轰击原子所产生的电磁辐射，具有波、粒二象性。电磁辐射的辐射能是由光子传输的，而光子所取的路径是由波动场引导。X射线这种波、粒二象性，可随不同的实验条件表现出来。显示其波动性有：以光速直线传播、反射、折射、衍射、偏振和相干散射；显示其微粒性有：光电吸收、非相干散射、气体电离和产生闪光等。（2）X射线的特征X射线的特征

X射线波长范围在0.01~10nm之间，能量为124keV～0.124keV。其短波段与γ射线长波段相重叠，长波段则与真空紫外的短波段相重叠。量子理论将X射线看成由一种量子或光子组成的粒子流，每个光子具有的能量为：

Ex(keV)=hν=1.23984/λ依据X射线的波长即可计算出其能量

Ex为光子能量（keV）,ν

为频率，λ为波长（nm），

h为普郎克常数（6.6x10-34J/s）,c为光速（3x1010cm/s）X射线的波长范围g-raysX-raysUVVisual0.0010.010.11.010.0100200nm波长λ:埃(Å)=10-10m纳米(nm)=10-9m1Å=0.1nm能量:千电子伏特

(keV)=1000电子伏特(eV)强度:每秒的计数率(cps，kcps)X射线常用的单位1）感光作用X射线穿透能力强，能穿透黑纸，使溴化银乳胶底片感光，此特性用于于医学上的人体X光透视与拍片，以及工业材料的检验。2）电离作用X射线可使惰性气体等物质产生电离，利用它电离某些惰性气体（Ar，He，Kr）设计出充气型正比计数器类型的X射线探测器。3）荧光效应X射线照射ZnS、CdS、NaI等物质可产生磷光（接近可见光荧光，X射线的闪烁现象），探测X射线强度的闪烁计数器就是利用该原理设计的。X射线的性质4）衍射现象X射线通过晶体时发生衍射，可以利用分光晶体作为单色器对X射线进行衍射分光，把不同波长的谱线分开，然后分别进行探测。5）在真空中能以光速沿直线方向传播，其折射率几乎等于1。不能像可见光那样利用折射原理进行聚焦。6）穿透能力强X射线能透过许多材料，如木材、玻璃、某些金属、不同密度的生物组织，所以能用于金属材料的探伤和医疗中拍摄透射生物器官的X光片。7）不受电场和磁场的影响。在电磁场中不发生偏转。X射线的性质Ｘ射线的应用领域

电子束高速撞击到物质上产生X射线：常规X射线发生器封闭式X射线管：产生的是连续谱+靶物质元素的特征谱特征谱的波长是固定的，不能连续调节

X射线的产生—X射线管用X射线管辐照样品，是产生X射线荧光光谱的常用方法。X射线管产生的X射线光谱，被称作原级X射线谱，它是由连续谱和特征谱组成。连续光谱（白色X射线）当高能电子束入射时，入射电子直接与原子发生相互作用，从而入射电子失去其部分或全部能量。当入射电子的能力未完全转化为X射线或转化程度不一时，致使辐射的电磁波波长有相当宽的分布，会产生宽带连续X射线谱，简称为连续谱或韧致辐射。（3）X射线光谱当高速运动的电子或带电粒子（如质子，α粒子等）轰击物质时其运动受阻，和物质发生能量交换，电子的一部分动能转变为X射线光子辐射能，以X射线形式辐射出来。连续X射线光谱的产生制动放射(连续X射线)钨靶X射线管X射线光谱实线是连续谱虚线是特征谱钼靶X射线管X射线光谱1)谱线强度随波长变化。2)谱线强度分布取决于X射线管管电压V，管电流i和靶元素原子序数Z。

I=iV2Z3)每一连续光谱强度分布曲线都存在着短波限λmin，λmin的大小仅取决于X光管内电子加速电压V，与所加电流i和靶材（原子序数Z）无关。随着管电压升高，λmin朝短波方向移动。

λmin=1.24/V（nm）4)连续谱最大强度所对应的波长大约为短波限的1.5倍，其微小的差别和所施加的电压，电压的波形及靶材的原子序数有关。当V升高时，其积分强度迅速增大。但均存在最强谱线λmax，λmin和λmax具有近似的关系λmax≈1.5λmin连续谱的特征1）在以X射线管激发时，连续光谱是样品的主要激发源。由于它的强度连续分布，能量也连续分布，所以对周期表不同元素不同谱线的激发有普遍的适用性。2）连续光谱激发样品时部分被散射，连续光谱的散射线是构成背景的主要来源，会影响分析元素的检出限。对痕量元素在建立分析条件时要注意。3）散射线构成的背景可以用来拟定定量分析方法。例如，散射线内标法就是利用散射线作内标线的一种定量方法。连续谱线在分析上的意义如果在X射线管上施加一定的电压，当所加电压超过某一临界电压时（阳极元素特有的电压，叫做激发点位）就会产生具有阳极元素特定波长的特征谱；（X射线管）如果用较高能量的射线或粒子轰击样品，只要入射射线或粒子的能量足够大，必然会产生具有被轰击各元素特定波长的特征X射线谱。（X射线光谱）如果入射光束为X射线，则样品中的元素内层电子受其激发产生的特征X射线称为二次X射线，或称为X射线荧光。（X射线荧光光谱）特佂谱线AtomicNumber(Z)=NumberofProtonsNumberofProtons=NumberofElectrons(atgroundstate)原子结构原子核

由质子（带正电荷）和中子（不带电）组成电子

带负电荷的粒子，按能量不同分布在原子核壳的周围电子按一定的轨道围绕原子核运动核外电子结构量子理论表明，在原子中，每个电子绕原子核作轨道运动是由四个量子数决定的。这四个量子数是：主量子数n代表电子绕原子序数为Z的原子核运动范围的大小，即轨道半径的大小。主量子数给定电子主要能级。１=K,2=L,3=N•••轨道角动量量子数L又称方位角量子数或轨道量子数在多电子原子中，电子除了作圆周运动外，还可能作径向运动，即向着或离开原子核的运动。它代表轨道的形态和轨道的角动量，使同一主量子数n的电子在能量上有少量变化。它的可能值为0到（n-1）间所有整数，L=0的轨道叫ｓ轨道（球形），L=1的叫ｐ轨道（纺锤形），L=2的叫ｄ轨道（十字花瓣形）。核外电子结构轨道方向量子数（J）

电子绕原子核运动的角动量只是一个矢量，即它具有本身的方向性。用轨道方向量子数J来表示轨道在空间可能的取向。它不涉及轨道电子的能量。其值在-L与+L间所有的整数，其中包括0。ｓ子壳层，L=0,j=0。ｐ子壳层，J可为-1,0,+1，ｐ子壳层有３个ｐ轨道函数自旋量子数ms用自旋量子数以表示，用来描述电子的自旋角动量。表示与轨道角动量量子数同向或反向。取值为-1/2或1/2。核外电子结构当一束高能粒子与原子相互作用时，其能量大于或等原子某一轨道电子的结合能时，即可将该轨道电子逐出，形成空穴。在这跃迁过程中，两电子壳层的能量差将以特征X射线逸出原子。这种跃迁必须符合量子力学理论，即在任何跃迁中，初始能级与最终能级的量子数必须遵守下面的选择定则：

Δn≠０（必须至少改变１）

ΔL＝±1（只能改变１）

ΔJ＝±1或0（必须改变１或０）例：对K系和L系谱线，允许以下跃迁：

K：ｐ→ｓ

L：ｐ→ｓ,ｓ→ｐ,ｄ→ｐ跃迁选择定则K,L线系KshellLshellMshellNshell大多数元素的K层受到激发并发射出K系线:重元素的L层受到激发并发射出L系线:L

到K——KaM

到K——KbM

到

L——LaN

到

L——Lb不同能级的电子跃迁K，L，M系特征X射线部分能级图（4）X射线和物质的相互作用X射线和物质的相互作用X射线与物质相互作用时，产生例如下列类型的辐射：粒子辐射：离子、受原级或次级X射线激发产生的光电子、俄歇电子、反冲电子和电子偶（在能量大于1.022Mev时）等；电磁辐射：对入射X射线的透射、反射、折射、偏振、衍射以及相干和不相干散射等；由物质发射出的特征X射线和伴线，以及物质受光电子、俄歇电子和反冲电子激发而产生的轫致辐射等及其他辐射。当X射线被物质吸收时，该物质会产生热效应、电离效应、光解作用、感光效应、荧光或磷光、次级特征X射线、光电子、俄歇电子或反冲电子的激发，辐射损失，以及对生物组织的刺激和损害等等。高能量的X射线光子照射到内层电子…使得该电子摆脱原子核的束缚，逃出原子并处于“激发”态IONIZATION外层电子填充了该电离电子的空穴，并…将多余的能量以X射线光子形式释放出来EMISSION

光电效应和X射线荧光的产生光电效应：当撞击原子中电子的高能粒子能量大于处于原子中的电子束缚能时，电子被击出，被击出的电子称为光电子，这一相互作用称为光电子效应。特征X射线荧光：当施加给X射线管的电压达到某一高度值，X射线管发射的一次X射线的能量足以激发样品所含元素的内层电子，被逐出的电子为光电子，同时轨道上形成空穴，原子处于不稳定状态。此时，外层高能级的电子自发向内层跃迁填补空位，使原子恢复到稳定的低能态，同时辐射出具有该元素特征的二次X射线，也就是特征荧光X射线。光电效应和特征X射线荧光特征荧光X射线X射线与物质作用时，被吸收的部分存在复杂的物理光学机制，或转化为次生的X射线(散射效应)，或光电效应激发出原子的内层电子，并诱发产生特征X射线（X射线荧光，）。

同样为特征谱线，特征荧光X射线和靶材的特征谱线不同之处在于前者是射线管阴极发出的电子对靶材元素原子内层电子的激发，而特征荧光X射线是由X射线管发出的一次X射线（原级X射线）激发样品而产生的具有样品元素特征的二次X射线。KorLKKKLL元素周期表不能分析不能分析不能分析KX射线进入物质后，由于相互作用，它的强度将随着进入物质的深度而逐渐减弱。不同物质对不同能量的X射线的减弱程度是不一样的，通常用X射线吸收系数或半吸收层厚度表示这种特性。X射线的吸收当一束平行的X射线垂直地入射并穿过一层密度均匀的物质层时，它的强度将减弱。为了便于讨论，假定这束X射线是窄束X射线束，那么经过散射作用的X光子将离开原来的平行束。这将是强度减弱的一个原因，另一个更重要的原因是光电效应。入射X射线照射物质发生的强度衰减遵守朗伯-比尔定律

I=I0e-μtI0为入射X射线强度，I为透射X射线强度，t为物质的厚度（cm）

μ为线性吸收系数（cm-1），它的物理意义为当X射线透过1cm厚物质被吸收的比率。X射线的吸收实验表明，当X射线穿过物质时，其强度会被吸收而减弱，当吸收介质的厚度达到某一程度时，X射线就会被完全吸收，该厚度就是这个吸收介质的无限厚度。无限厚度与吸收介质的化学元素有关，原子序数越大，无限厚度越小。无限厚度与吸收介质的密度有关，密度越大，无限厚度越小无限厚度与入射X射线的波长有关，波长越短，无限厚度越大。无限厚度典型的无限厚度在X射线的测量工作中，经常使用“半吸收层厚度”这一术语。它是指一窄束平行的X射线垂直地透过物质层时其强度减弱一半所需的物质层厚度。半吸收层厚度通常用d1/2表示。单位当用线性厚度表示时为cm，用质量厚度表示时为g/cm2。例：物质层的厚度为10倍的d½时，X射线的强度将衰减到原来的千分之一。半吸收层厚度不同波长在各种物质中半衰减层厚度例如：NaKa=11.9埃，FeKa=1.94埃入射X射线光子其中有一部分并没有激发内层电子，而是和外层电子发生碰撞改变了方向，这就是散射。X射线在物质中的散射现象,可分为：弹性散射：又叫相干散射，瑞利散射，其特点是散射线与入射线相比，没有能量损失，波长不变，有确定的位相变化；非弹性散射：又叫非相干散射，康普顿散射，散射线与入射线相比，有能量损失，波长变长，有位相变化。在X射线荧光光谱定性图谱上可找到靶线的散射线，靶线的康普顿散射线在瑞利散射线的高角度侧（即长波侧）。X射线的散射一定激发能量下，样品或散射体的原子序数比较小时，非相干散射线为主要散射线；当样品或散射体的原子序数较大时，相干散射线会增强。大部分荧光X射线的背景来源于样品对X射线管产生的连续谱线的散射。重元素对X射线吸收多散射少，所以重元素基体的背景小，常可忽略；而轻元素则相反，所以轻元素基体的背景大，不可忽略，甚至是决定测定检出限的主要因素。靶线的散射线增加了对分析谱线的重叠干扰可能。由于散射线带有一定的样品信息，有时可用来修正基体吸收效应，样品状态，仪器漂移对分析结果的影响。（散射线内标法）X射线的散射为了要把分析元素的谱线从来自样品元素的众多特征谱线中分离出来单独进行强度测量，必须使用一种单色器将它们进行分光。波长色散X射线分光的根本原理是X射线的衍射现象，而衍射现象则是X射线光子与物质相干散射产生的相干波发生干涉而加强的结果。由于X射线的波长较短，能对其进行衍射分光的是各类单质晶体或盐类等。分光晶体的原子按周期性排列，当其原子面间距和入射X射线波长数量级相当，就可发生衍射。X射线的衍射晶体学简介－晶体点阵7种晶系，14种点阵（布拉维格子）,晶胞参数晶面，晶向晶体点阵衍射示意图X射线荧光光谱分析常用晶体1913年，Bragg与Вульф同时推导出著名的Bragg公式：

nλ=2dsinθ

式中，d:晶面间距(常数，因晶体而异)；θ:入射角、衍射角；

λ:X射线荧光的波长；n:衍射级数(1，2，3……)。

|sinθ|≤1，当n=1时，λ/2d=|sinθ|≤1,即λ≤2d

只有当入射X射线的波长λ≤2倍晶面间距时，才能产生衍射。X射线衍射的布拉格方程如果入射的X射线具有一定的波长λ,则只有掠射角θn满足布拉格公式的射线,经过晶体衍射后才能得到最大强度的衍射线;如果入射的X射线具有一定入射方向θ,则只有波长λn满足布拉格公式的射线,才能得到最强的衍射线;基于Sinθ的绝对值只能≤1,所以必须2d/nλ≤1,当n=1时，λ必须≤2d值,才能得到晶面族衍射。因此,反射级n不能大于2d/λ,故X射线与晶体相互作用时,所发生的衍射极大值受到一定限制。布拉格定律物理意义试样受X射线照射后，其中各元素原子的内壳层(K、L或M壳层)电子被激发逐出原子而引起壳层电子跃迁，并发射出该元素的特征X射线(荧光)。每一种元素都有其特定波长(或能量)的特征X射线。通过测定试样中特征X射线的波长(或能量)，便可确定试样存在何种元素，即X射线荧光光谱定性分析。元素特征X射线的强度与该元素在试样中的原子数量(即含量)成比例。因此，通过测量试样中某元素特征X射线的强度，采用适当的方法进行校准与校正，便可求出该元素在试样中的百分含量，即X射线荧光光谱定量分析。５）X射线荧光光谱分析的特点和应用主、次、痕量多元素分析制样方法简单—直接、压片、熔融薄层分析—涂层、薄膜无损检测—安检、文物、金银珠宝、ROHS检验原位分析—文物、器件探伤现场分析—核分析、工矿在线分析X射线荧光光谱分析的应用X射线荧光光谱可以分析:元素周期表中从Be到U，即波长从0.01nm到2nm。多种形态和性质的样品：固体，液体，导体，绝缘体典型的样品有玻璃，塑料，油品，所有的金属，矿，耐火材料，水泥和地质材料。要求样品不能受到X射线照射而发生反应。不能分析H，He，Li，因为这些元素没有足够的电子。X射线荧光光谱分析的应用X射线荧光光谱分析的应用HNaLiKRbCsFrMgBeCaSrBaRaScYLaAcTiZrHfVNbTaCrMoWMnTcReFeRuOsCoRhIrNiPtCuAgAuZnCdHgAlBGaInTlSiCGeSnPbPNAsSbBiSOSeTePoClFBrIAtHeArNeKrXeRnCePrNdPmSmEuGdTbDyHoErTmYbLuThPaUPuAmCmBkCfEsFmMdNoLwNpXRF不可分析惰性气体不稳定元素EDX和WDXRF都可以超轻元素需要特殊晶体和WDXRFPd使用Rh靶时需要使用初级滤光片X射线荧光光谱分析的检出限和动态范围ICP-MS