2026年实习个人总结与自我评价(6篇)

2026年实习个人总结与自我评价(6篇)2026年实习个人总结与自我评价——六段式全景复盘与可复用操作手册【章节一】身份定位与目标校准1.1岗位坐标2026年2月1日至7月31日，我在上海浦东金桥“芯驰半导体”制造一部实习，工号I-26-047，职级T2-Intern，汇报对象为制造一部工程科前段工艺主管王蔚。1.2初始目标（SMART化）S：掌握12吋晶圆前段扩散工艺完整流程；M：独立完成200片Lot的Recipe验证，缺陷密度≤0.3/cm²；A：利用学校MEMS基础+公司培训，6个月内达标；R：支撑公司N+1节点低功耗D0提升项目；T：2026-07-31前交付。1.3目标漂移记录3月因客户加单，部门KPI从“缺陷密度”改为“CycleTime缩短8%”。我主动申请将个人目标同步修正为“在缺陷不劣化前提下，将磷扩散工序CT从58min降至50min”，并于4-6月完成。【章节二】任务拆解与方法论2.1任务树（WBS）0.整体目标1.工艺学习1.1理论学习（60h）1.2机台实操（120h）2.数据治理2.1建数据采集表2.2清洗历史8万行数据3.实验设计3.1筛选3因子3水平DOE3.213组实验排程4.验证与固化4.1200片验证Lot4.2更新SOP5.知识沉淀5.1写入职教案5.2录制3段微课2.2工具箱•JMP®17做DOE及回归•Python3.11+pandas写自动清洗脚本•YamatakeRS-3000测温仪做in-situ校准•Notion搭建个人知识库，模板字段：日期/机台/参数/异常/5Why/对策/再发防止2.3时间线（甘特关键里程碑）2-05：完成理论考核≥90分3-15：数据清洗脚本V1.0上线4-20：DOE找到显著因子（Temp/Push/O2）5-10：200片验证Lot启动6-25：CT均值降至49.2min，缺陷密度0.27/cm²7-30：SOP升版至V4.3，微课通过HR培训学院审核【章节三】制度嵌入与合规动作3.1遵守的强制制度a.《芯驰半导体FAB安全十大禁令》——每日班前会默背，违者一次即取消实习资格；b.《化学品管理办法》——磷烷使用双人双锁，每班称重差异≤2g即触发CAPA；c.《数据完整性管理规范》——所有CSV需哈希校验并存档15年，我负责脚本自动生成SHA-256并上传PDM。3.2我参与修订的制度•原《扩散工序SOP》未规定测温频次，导致3月出现温度漂移5℃。我补充“每Lot首片用RS-3000比对，偏差>1℃立即停机”，该条款已写入SOPV4.3第5.2.4条，7月1日起执行。【章节四】关键项目深度复盘4.1磷扩散CycleTime缩短项目4.1.1问题定义客户加单→产能缺口12%，瓶颈在磷扩散。4.1.2数据挖掘①拉取2025-11至2026-02共842条Lot日志；②用Python清洗缺失值（-9999）后得803条；③做Pearson相关，发现Temp与CT相关系数0.81，显著。4.1.3DOE设计因子：A温度（℃）780/790/800；BPush速度（mm/min）120/150/180；CO2流量（sccm）800/1000/1200。响应：CT（min）+缺陷密度。方案：L27正交，中心点3次。4.1.4实验执行①排程避开夜班，减少人为波动；②每实验Lot前用dummy片测温度；③缺陷扫描用KLA-SP5，统一Recipe。4.1.5结果回归方程：CT=68.4–0.21Temp–0.15Push–0.008*O2，R²=0.92。最佳点：Temp=800、Push=180、O2=1200，预测CT=49.1min。验证200片：实际49.2min，缺陷0.27/cm²，达标。4.1.6固化措施①更新SOP；②建立TrendingChart，每班描点；③培训生产&设备共28人，考核通过率100%。4.2知识传承我录制三段5min微课：1.《如何30秒完成RS-3000校准》2.《DOE结果看板制作》3.《Python自动拉取MES数据》已上传公司LMS，截至7-31累计学习312人次，评分4.8/5。【章节五】自我评价与能力雷达5.1量化指标•安全：0事故0违章•质量：缺陷密度0.27/cm²，优于目标0.3•交付：CT缩短15.5%，超预期8%•成本：节省机时248h/半年，折算98万元•个人：完成60h理论+120h实操，考核平均分945.2能力雷达（1-5分自评）工艺知识4.5|数据分析4.2|实验设计4.7|沟通影响3.8|安全合规5.0|抗压能力4.35.3待提升项①沟通影响：跨部门会议发言紧张，已报名8月Toastmasters；②统计深度：仅会经典DOE，下一步学习贝叶斯优化；③报告撰写：PPT故事线弱，计划模仿《麦肯锡结构化写作》练习10篇。【章节六】面向零经验新人的操作指南目的：让0基础新人独立跑完“磷扩散CT优化”全流程，一次成功。前置条件：1.已通过FAB安全培训，取得黄色Badge；2.已安装JMP17、Python3.11、Notion；3.已申请MES只读账号、KLA-SP5扫描权限。步骤1：数据拉取①打开MES→Report→LotLog→选择“磷扩散”工序→时间范围选“最近4个月”；②字段勾选：LotID、StartTime、EndTime、Temp、Push、O2、Defect；③导出CSV，命名“raw_diffusion.csv”。步骤2：一键清洗①将附件脚本“clean_diffusion.py”放同一文件夹；②命令行运行：pythonclean_diffusion.pyraw_diffusion.csvclean.csv；③检查输出：缺失值已用线性插值，异常值>3σ已标红。步骤3：DOE设计①打开JMP→DOE→CustomDesign→添加3Numeric因子→设置水平如上；②Response添加CT、Defect；③NumberofRuns选27→MakeTable→保存为“DOE_plan.jmp”。步骤4：实验排程①将DOE_plan打印，放班组白板；②每班工程师按表执行，用dummy片测温；③记录实际参数于MES备注，格式“DOE_Run#_Temp800_Push180”。步骤5：数据回收与建模①实验结束→MES拉取→运行“clean_diffusion.py”→得“DOE_result.csv”；②JMP打开→FitModel→回归→保存预测公式；③用Profiler找最优点，记录CT预测值。步骤6：验证Lot①创建新Lot“VLD_200_1”→Recipe输入最优点参数；②跑片→KLA扫描→缺陷密度填表；③若CT≤50min且缺陷≤0.3，则成功；否则回到步骤3微调。常见问题与排错Q1：温度偏差>1℃？A：立即停机→用RS-3000重新校准→填写《温度偏差CAPA单》。Q2：KLA扫描死机？A：重启软件→删除C:\Temp\KLA\*.lock→重新扫描。Q3：Python报错“KeyError:Temp”？A：检查MES导出字段是否含