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氢由脱重塔出料口出料后经脱轻塔进料口进入除轻组分杂质的溴化氢由脱轻塔出料口出料后器内自下而上引出的充装管路路经充装泵后进2脱重塔出料口通过管路与脱轻塔进料口连接，脱轻塔出料口通过管路与产品收集器直径分别独立为0.1~1m。分别独立为2~25mm。34[0002]溴化氢凭借其对刻蚀原料的高选择性，以及对刻蚀形貌现已成为8英寸和12英寸芯片的多晶硅刻蚀不可或缺的原料气体，是控制芯片制作过程的热装置用于对进料口进入的物料进行冷却，一套换热装置用于对产品罐内的物料进行加5氢沿产品收集器内自下而上引出的充装管路路经充装泵后进入充[0020]脱重塔和脱重塔塔底温度保证溴化氢粗品中的重组分杂质为液相同时溴化氢为[0026](3)本发明通过对纯化工艺的优化，降低脱重塔后续设备的耐腐蚀要求，降低成6[0038]溴化氢粗品经进料管路由脱重塔进料口进入脱重塔1中进行精馏，在脱重塔塔底相溴化氢沿产品收集器3内自下而上引出的充装管路4路经充装泵5后进入充装瓶氢氮水78

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