青岛联智半导体激光器产业化升级改造项目暨大气专项报告表

1建设项目环境影响报告表（污染影响类）中华人民共和国生态环境部制1山东省青岛西海岸新区辛安街道前湾港路218号海信信息产业园三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39—电根据《建设项目环境影响评价报告表编制技术指南（污染影），无无2无其他符合性分析统一编码：2510-370211-04量发展指导目录（2024年本）》（自然资发〔2024〕273号），本项目所在地本项目位于西海岸新区辛安街道前湾港路218号海信信息产业园，租赁海信集团有限公司的现有厂房，地理位置详见附图1。根据建设单位提供的《不3—2035年）》“分区国土空间控制线规划图”、《青岛市国土空间总体规划线范围内，不占用永久基本农田，相对位置关系见附图6、附图7。符合性分析生态保护红线本项目位于西海岸新区辛安街道前湾港路18号海信信息产业园，租赁海信集团控股股份有限公司的现有厂房，根据《青岛西海岸新区国土空间分区规划（2021—2035年）》“分区国土空间控制线规划图”、《青岛市国土空间总体规划（2021-2035年）》，项目所在地不在生态保护红线范围内，详见附图6、附图7。环境质量底线本项目所在区域大气环境、地表水环境、声环境质量现状均达标，运营期产生的废水、废气、噪声等经处理后可达标排放，固体废物都得到了妥善处置，不会对周边环境质量造成较大影响，符合环境质量底线的相关要求。利用上线本项目在现有厂房内建设，消耗一定量的水、电等资源，资源消耗量相对区域资源利用总量较少，符合资源利用上线的相关要求。青岛市市级生态环境总体准入清本项目所在地环境管控单元为辛安街道，属于重点管控单元。本项目建设符合管控基本要求；所属行业、选址符合相关政策要求，不属于“两高”项目，不属于空间布局约束要求中禁止类和限制类；不属于表面涂装、橡胶、包装印刷等行业；采取有效的污染防治措施，产生的废气、废水、噪声均能达标排放，固体废物得到妥善处理，严格按照排污许可要求排放污染物；环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用，符合污染物排放管控要求；建设单位建立健全安全管理制度，做好突发环境事件的风险控制、应急准备、应急处置和事后恢复等工作，制定突发环境事件应急预案，符合环4境风险防控要求；用地规划合理，用水、用电消耗量合理，使用可再生能源，符合资源利用效率要求。本项目所在地与《青岛市生态空间图》和《青岛市环境管控单元图》的相对位置关系见附图8、附图9。环境管控单元名称管控单元分类管控要求项目情况符合性辛安街道重点管控单元空间布局约束1.齐长城遗址、珠山国家森林公园根据《中华人民共和国文物保护法》和《森林公园管理办法》实施保护。2.严格按照规划要求合理布局工业企业，推动现有产业升级改造。3.引导工业企业入园，除在安全生产等有特殊要求的以外，应进入工业园区或集聚区。4.饮用水水源保护区按照《中华人民共和国水污染防治法》《山东省水污染防治条例》《青岛市生活饮用水源环境保护条例》及相关法律法规实施保护管理。本项目位于西海岸新区辛安街道前湾港路18号海信信息产业园，为工业园区；所在地规划为工业用地，符合布局要求；本项目不涉及齐长城遗址、珠山国家森林公园及饮用水水源保护区。符合污染物排放管控1.做好危险废物、一般工业固体废物和生活垃圾的分类收集、转运、综合利用和无害化处理。推行清洁生产，减少固体废物产生量。提升固体废物的资源化综合利用率。2.表面涂装行业宜使用低VOCs涂料替代溶剂型涂料，涂料、稀释剂、清洗剂等原辅材料应密闭储存，调配、使用、回收等过程应采用密闭设备或在密闭空间内操作，涂装车间含重金属废水（液）应单独收集处理，第一类污染物排放浓度在车间或车间处理设施排放口达标。3.涉及下料、抛丸、打磨、喷砂、清理滚筒等机械加工工艺的企业需设置废气有效收集治理设施。4.对于涉重金属的企业，推行“一企一管”，产生一类污染物的要在车间排放口达标。严格做好涉重企业及其所在园区污水处理设施监测、监管，确保在线监测设备正常运行，对园区内产生的危险废物严格按照相关法律法规进本项目运营期产生的危险废物、一般工业固体废物和生活垃圾均能做到分类收集、转运、综合利用和无害化处理。本项目所用光刻胶、显影剂、助粘剂、去胶剂等含VOCs原料均采用密闭包装桶储存，使用过程均在密闭设备或通风橱内进行，有效减少无组织排放；含砷清洗废水单独收集，在车间排放口处达标。本项目不涉及表面涂装，下料、抛丸、打磨、喷砂、清理滚筒等机械加工工艺，机动车排放和非道路移动源污染控制。符合5行监管、处置。5.执行青岛市关于机动车排放和非道路移动源污染控制的相关规环境风险防控1.健全事故应急体系，落实有效的事故风险防范和应急措施，有效防范污染事故发生。2.涉重企业等地下水污染高风险地区应当采取防渗漏等措施，涉重等土壤、地下水高污染风险企业的车间、危废间、污水处理站、罐区等重点管控区进行重点防渗。3.产生、利用或处置固体废物（含危险废物、医疗废物）的企业，在贮存、转移、利用、处置固体废物过程中，应配套防扬散、防流失、防渗漏及其他防止污染环境的措施。建设单位按要求健全事故应急体系，落实有效的事故风险防范和应急措施；本项目在现有厂房内建设，已采取源头控制、分区防渗等地下水污染危化品库等重点管控区域采取重点防渗。危废间、危化品仓库等重点管控区依托现有，已采取重点防渗措施；本项目依托现有一般固废间、危废间，已配套相应防扬散、防流失、防渗漏等污染防治措施。符合资源开发效率要求1.全面开展节水型社会建设，促进再生水利用。2.构建清洁低碳能源体系，推广和实施可再生能源应用。本项目不涉及再生水利用，使用电能，属于清洁低碳、可再生能源。符合与《山东省环境保护条例（2018年修订）》的符合性分析相关要求项目情况符合性第十五条禁止建设不符合国家和省产业政策的小型造纸、制革、印染、染料、炼焦、炼硫、炼砷、炼汞、炼油、电镀、农药、石棉、水泥、玻璃、钢铁、火电以及其他严重污染环境的生产项目。已经建设的，由所在地的县级以上人民政府责令拆除或者关闭。本项目属于“C3976光电子器件制造”，不属于被禁止建设的不符合国家和省产业政策的严重污染环境的生产项目。符合6第十七条实行排污许可管理制度。纳入排污许可管理目录的排污单位，应当依法申请领取排污许可证。未取得排污许可证的，不得排放污染物。因污染物排放执行的国家或者地方标准、总量控制指标、环境功能区划等发生变化，需要对许可事项进行调整的，生态环境主管部门应当及时对排污许可证载明事项进行变更。青岛联智光通信技术有限公司现实行排污许可登记管理，已取得《固定污染源排污登记回91370211MAEFE37Y3F001X），本项目建成前应及时变更排污登记信息。符合第四十四条县级以上人民政府应当根据产业结构调整和产业布局优化的要求，引导工业企业入驻工业园区；新建有污染物排放的工业项目，除在安全生产等方面有特殊要求的以外，应当进入工业园区或者工业集聚区。本项目位于西海岸新区辛安街道前湾港路18号海信信息产业园，建成于2001年，目前仍是海信集团旗下最大电子信息产品制造中心，入驻有海信视像科技股份有限公司、青岛海信日立空调系统有限公司、青岛海信激光显示股份有限公司等，属于工业园区。符合第四十五条排污单位应当采取措施，防治在生产建设或者其他活动中产生的废气、废水、废渣、医疗废物、粉尘、恶臭气体、放射性物质以及噪声、振动、光辐射、电磁辐射等对环境的污染和危害，其污染排放不得超过排放标准和重点污染物排放总量控制指标。本项目采取有效的废气、废水、噪声污染防治措施，固体废物均得到妥善处置，污染物排放不超过排放标准和重点污染物排放总量控制指标。符合与《山东省大气污染防治条例》（2018年修订）的符合性分析相关要求项目情况符合性第十一条企业事业单位和其他生产经营者排放的大气污染物，不得超过国家和省规定的排放标准，不得超过核定的重点大气污染物排放总量控制指标。本项目废气污染物排放不超过国家和省规定的排放标准，不超过核定的重点大气污染物排放总量控制指标。符合第十五条排放工业废气或者有毒有害大气污染物的排污单位，应当按照规定和监测规范设置监测点位和采样监测平台，进行自行监测或者委托具有相应资质的单位进行监测。原始监测记录保存期限不得少于三年。本项目依托的现有废气环保设施已设置了规范的监测点位和采样监测平台，新增环保设施按要求置监测点位和采样监测平台；委托具有相应资质的单位进行监测，原始监测记录保存期限不少于三年。符合7第三十九条向大气排放有毒有害污染物和持久性有机污染物的排污单位，应当按照国家规定采取有利于减少污染物排放的技术方法和工艺，配备有效的净化装置并保持正常运行，实现达标排放。本项目按照国家规定采取有利于减少污染物排放的技术方法和工艺，配备有效的净化装置并保持正常运行，可实现达标排放。符合与《青岛市大气污染防治条例》（2018年修正）的符合性分析相关要求项目情况符合性第十七条企业事业单位和其他生产经营者向大气排放污染物的，应当依照法律法规和国务院环境保护行政主管部门的规定设置大气污染物排放口。禁止通过偷排、篡改或者伪造监测数据、以逃避现场检查为目的的临时停产、非紧急情况下开启应急排放通道、不正常运行大气污染防治设施等逃避监管的方式排放大气污染物。禁止侵占、损毁或者擅自移动、改变大气环境质量监测设施和大气污染物排放自动监测设备。本项目依托现有废气环保设施，已依照法律法规和国务院环境保护行政主管部门的规定设置了大气污染物排放口，新增排气筒按相关规定设置。绝不通过任何逃避监管的方式排放大气污染物。符合第二十条排污者应当保证污染防治设施的正常使用。因点炉、出现故障停炉或者其他原因不能正常使用时，应当及时采取措施防治大气污染并同时向当地环境保护行政主管部门报告。企业保证污染防治设施的正常使用，因点炉、出现故障停炉或者其他原因不能正常使用时，及时采取措施防治大气污染并同时向当地环境保护行政主管部门报告。符合与《青岛市胶州湾保护条例》（2018年9月7日修正）的符合性分析相关要求项目情况符合性第三条胶州湾保护范围包括胶州湾海域和胶州湾沿岸陆域。胶州湾沿岸陆域为自胶州湾保护控制线至陆沿团岛路、团岛一路、四川路、冠县路、新疆路、胶济铁路、仙山西路、双元路、河东路、滨河路、胶州湾高速、双积路、红柳河路、千山北路、淮河东路、江山路、嘉陵江路、漓江东路，西至凤凰岛脚子石的连线。本项目位于西海岸新区辛安街道前湾港路18号海信信息产业园，不在胶州湾保护范围内。/8与《危险化学品安全管理条例》（2013年12月7日修订）的符合性分析相关要求项目情况符合性第五条任何单位和个人不得生产、经营、使用国家禁止生产、经营、使用的危险化学品。国家对危险化学品的使用有限制性规定的，任何单位和个人不得违反限制性规定使用危险化学本项目所用的危险化学品不属于国家禁止生产、经营、使用的，不属于被限制使用的危险化学品。符合第二十八条使用危险化学品的单位，其使用条件（包括工艺）应当符合法律、行政法规的规定和国家标准、行业标准的要求，并根据所使用的危险化学品的种类、危险特性以及使用量和使用方式，建立、健全使用危险化学品的安全管理规章制度和安全操作规程，保证危险化学品的安全使用。本项目使用危险化学品的条件符合法律、行政法规的规定和国家标准、行业标准的要求，企业建立、健全使用危险化学品的安全管理规章制度和安全操作规程，保证危险化学品的安全使用。符合9建设内容青岛海信宽带多媒体技术有限公司位于青岛西海岸新区经济技术开发区前湾港路218号海信信息产业园1号楼，租赁海信集团控股股份有限公司的现有厂房，主要从事激光器芯片、光器件和光模块的设计、生产。青岛联智光通信光芯片业务而设立的全资子公司。因战略规划需要，青岛海信宽带多媒体技术有限公司将现有激光器芯片生产相关设施设备全部转移到青岛联智光通信技术有限公司名下，并由该公司作为生产责任主体，其他TO、OSA光模块等光通信产品仍由青岛海信宽带多媒体技术有限公司负责生产，变更说明详见附件6。青岛海信宽带多媒体技术有限公司2014年投资建设“光电子器带多媒体技术有限公司光电子器件扩建工程建设项目环境影响报告书的批复》于青岛海信宽带多媒体技术有限公司光电子器件扩建工程建设项目竣工环境保限公司宽带网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目环境影响报告书的批技术有限公司25G及以上光通信器件产业化项目环境影响报告表暨环境风险评媒体技术有限公司基于硅光通信的高功率半导体激光器项目环境影响评价文件青岛联智光通信技术有限公司拟投资26400万元租赁现有厂房建设“半导SiNx:H薄膜，ICP刻蚀光栅、湿法腐蚀半导体，湿法镀金，蒸发镀钛金，腐蚀根据建设单位提供资料，外延片（晶圆）不作为产品外售，本项目产品为将激光原理集成在一个微小的半导体芯片内，是现代光电产业中应用最广泛、产量最大的激光器件，广泛应用于光纤通信、数据存储、人脸识别、医疗美容本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39—电子器件制造本项目位于青岛西海岸新区经济技术开发区前湾港路218号海信信息产业园1号楼，租赁海信集团控股股份有限公司的现有厂房进行建设，主要包括现部，一般固废间位于1层西部，办公室位于3层东北部，清洗间、喷砂间、危宽带多媒体技术有限公司；2~4层其他区域属于青岛海信宽带多媒体技术有限公司、青岛智动精工电子有限公司、青岛兴海信信息产业园建成于2001年，是海信集团旗下最大的电子信息产品制造视像科技股份有限公司、青岛海信日立空调系统有限公司、青岛海信宽带多媒体技术有限公司、青岛国大生物制药股份有限公司等。本项目所在1号厂房位南邻青岛海信日立空调系统有限公司和海信（山东）厨卫有限公司。海信信息产业园西侧为海尔工业园，南侧为国风工业园、海信公寓，东侧为佳恒电子信息物流产业园，北侧为馨合佳苑、多元小区。本项目周边环境情况详见附图2。本项目建设内容详见表2-1。工程类别组成建设内容备注主体工程生产车间位于1号厂房1层东北部，总建筑面积约4749m2，北部主要是超纯水制备间、MOCVD外延室等，南部主要是刻蚀室、薄膜沉积区、黄光室、湿法刻蚀室、曝光室、干法刻蚀室、研磨抛光室、划片裂片分选区、镀膜区等，其中为黄光室、曝光室为千级（ISO6级）、超洁净车间，其他区域为万级（ISO7级）超洁净车间。现有激光器芯片生产线在此车间内运行，在现有生产工艺流程的基础上新增PECVD沉积SiNx:H薄膜，ICP刻蚀光栅，湿法腐蚀半导体，氢氟酸腐蚀SiNx:H薄膜，湿法镀金，蒸发镀钛金，腐蚀Au、Ti、SiO2/SiNx:H薄膜，溅射镀膜以及退镀液退镀工序，增加金属有机化合物气相外延设备MOCVD、反应离子刻蚀机RIE、蒸发镀膜机、去胶剥离机等现有设备工作时长，新增等离子体增强化学气相沉积设备PECVD、反应离子刻蚀机ICP、反应离子刻蚀机RIE等生产设备。依托现有厂房及生加部分现有设备工增部分生产设备辅助工程办公室1处，租赁海信信息产业园1号楼3层的部分办公区，面积约720m2，用于人员办公、休息新建清洗间1处，位于1号厂房外北侧，建筑面积约40m2，用于双重粒子过滤器清洗依托现有喷砂间1处，位于1号厂房外北侧，建筑面积约40m2，紧邻清洗间，用于镀膜设备喷砂处理依托现有超纯水制备间位于1号厂房1楼西北部，面积约190m2，建有1套6T的和1套4T的超纯水制备系统，主要包括前处理、RO反渗透处理、CDI/EDI处理、超纯水处理等四部分依托现有氢气站1处，位于1号厂房外北侧，由液化空气（青岛）第二有限公司运营，通过管道输送至本项目/氮气站1处，位于氢气站北侧，由液化空气（青岛）限公司运营，通过管道输送至本项目第二有/储运工程灰区共6处，主要用于六氟化硫、纯氧、笑气、三氟甲烷、氩气、氦气等气态原辅材料的钢瓶贮存及电加热燃烧水洗式尾气处理设备等环保设施运行依托现有氮气柜共15个，氮气柜是一种集快速除湿、气体净化、防静电和氮气保护功能于一体的专用储存设备，提供高度洁净、干燥且稳定的低氧存储环境，防止氧化、潮湿和污染，主要用于储存InP基片、三氧化二铝等依托现有特气间共4处，其中2处用于分类分区存放氯气、甲烷、硅烷氢等特种气体钢瓶，内设多个防爆型特气柜，每个特气柜可存放2瓶特种气体；另外2处为纯化间，建有氮气纯化器和氢气纯化器，用于去除氮气、氢气中的杂质，提高纯度至99.99%以上依托现有危化品库海信信息产业园在园区东北部区域统一建设了危险化学品储存仓库，仓库内为各公司划分了独立存储库房，各公司危化品分开贮存、自行采购、独立管理。本项目依托现有危化品库，位于院区危化品库西侧，面积约92m2，全部移交给青岛联智光通信技术有限公司使用依托现有保险箱1个，用于储存钛靶材、铂靶材、金靶材、硅靶材、钽靶材等贵重金属原料依托现有黄光室冷藏柜1个，用于储存光刻胶、粘合剂等需要避光低温保存的原料依托现有存储柜7个，用于储存亚硫酸金纳、金补充剂等原料依托现有公用工程给水由西海岸新区市政供水管网统一供给依托现有排水含砷清洗废水分类收集、专管专送，与其他清洗废水、超纯水制备废水、生活污水等一起排放至海信信息产业园污水处置东站处理后通过市政污水管网排放至镰湾河水质净化厂依托现有供电由西海岸新区市政电网统一供给依托现有通风车间分为千级（ISO6级）、万级（ISO7级）超洁净车间，进风系统采用初效、中效、高效三级空气过滤器串联，逐级拦截不同粒径的尘埃微粒和微生物，确保洁净度等级达标。依托现有供热、制冷生产车间、办公室采用采用中央空调系统供热、制冷依托现有环保工程废气有组织（1）MOCVD外延废气通过密闭设备通气管路收集，经设备自带的双重粒子过滤器处理后，再分别经3套“干法吸附尾气处理设备+电浆燃烧式尾气处理设备”处理，尾气分别通过排气筒DA001、DA002、DA003排放（2）RIE刻蚀废气、ICP刻蚀废气通过密闭设备通气管路收集后先经电加热燃烧水洗式尾气处理设备处理，氢氟酸腐蚀、退镀等其他工序废气通风橱通风系统收集，汇总后经酸雾净化塔处理后通过排气筒DA004排放（3）PECVD废气通过密闭设备通气管路收集后先经电加热燃烧水洗式尾气处理设备处理，氨水-双氧水腐蚀钛工序碱性废气通过通风橱通风系统收集，汇总后经碱雾净化塔处理后通过排气筒DA005排放（4）涂胶、烘干废气通过设备上方集气罩收集，显影、去胶、上蜡、去蜡等其他工序有机废气通过通风橱通风系统收集，汇总后经活性炭吸附设备处理后通过排气筒DA006排放（5）湿法腐蚀半导体、氢溴酸化学腐蚀工序酸性废气通过通风橱通风系统收集，经酸雾净化塔处理后通过排气筒DA007排放酸雾净化DA007为废气环保设施全部内其他公司排气筒高度保持各排气筒从15米加高至18米无组织（1）双重粒子过滤器清洗废气通过通风橱通风系统收集，经碱雾净化塔处理后通过排放口于厂区内无组织排放（2）喷砂粉尘于厂区内无组织排放（3）未被收集的废气于厂区内无组织排放废水含砷清洗废水分类收集、专管专送，与其他清洗废水、超纯水制备废水、生活污水等一起排放至海信信息产业园污水处置东站处理后通过市政污水管网排放至镰湾河水质净化厂。污水处置东站位于园区东南部，由海信视像科技股份有限公司运营，设计处理规模为980m3/d，现阶段日处理量约为700m3/d，采用“格栅+调节池+均化池+初沉池+水解酸化池+接触氧化池+二沉池+消毒池”的废水处理工艺依托现有采取选用低噪声设备、基础减振、隔声等降噪措施依托现有固体废物工业固体废物工业固废暂存于一般固废间，外售综合利用或处置。依托现有一般固废间，位于园区1号厂房西部，建筑面积约10m2，全部移交给青岛联智光通信技术有限公司使用依托现有危险废物危险废物暂存于危废间，定期委托有危废处理资质的单位处置。依托现有危废间，位于园区1号厂房外北侧，紧邻危化品库西侧，建筑面积约88m2，全部移交给青岛联智光通信技术有限公司使用依托现有生活垃圾由环卫部门统一清运依托现有器芯片生产规模增加至3600万颗/年，本项目产品方案详见表2-2。序号产品规格产能（万颗/年）备注现有本项目扩建后1激光器芯片2.5Gb/s、10Gb/s、25Gb/s、50Gb/s速率237402374规格不同，芯片尺寸不0.5mm×0.2mm×0.1mm100Gb/s及以上速率0芯片尺寸为1mm×0.2mm×0.1mm建设内容根据建设单位提供资料，青岛海信宽带多媒体技术有限公司将激光器芯片生产相关车间、设施设备等全部转移至青岛联智光通信技术有限公司名下，由青岛联智光通信技术有限公司负责运营，其他TO、OSA光模块等光通信产品仍由青岛海信宽带多媒体技术有限公司负责，本报告对改扩建完成后青岛联智本项目运营期用水主要是清洗用水、溶液配置用水、废气净化装置用水以定期补充冷却水，单台每周约补充0.02t，此部分用水量约为3t/a；电加热燃烧水洗式尾气处理设备需定期补充蒸发损耗，单台每周约补充0.02t，每半年更换1次，单台单次换水量约为0.1t，此部分用水量约为2.4t/a；碱雾净化塔喷淋液现有员工150人，本项目无新增员工，不设食宿，年工作时间为300天，按每人每天50L用水量计，生活用水量为2250t/a。综上所述，本项目新鲜自来水用量约为3580.3t/a，由西海岸新区市政给水电浆燃烧式尾气处理设备冷却水循环使用，定期补充，不外排；电加热燃烧水洗式尾气处理设备、碱雾净化塔、酸雾净化塔等废气净化装置用水每半年制备废水产生量约为396.75t/a，排放至海信信息产业园污水处置东站处理后通司全厂水平衡见图2-2。拦截不同粒径的尘埃微粒和微生物，确保洁净度等级达标。初效过滤器安装在保护后续中、高效过滤器不被快速堵塞，延长其使用寿命；中效过滤器位于通净化空气，降低高效过滤器的负荷；高效过滤器安装在洁净车间的送风末端，本项目生产设备均采用电加热，生产车间及办公区域采用中央空调供热、本项目所用气态原辅材料中氮气、氢气通过管道输送；其他气体均采用专甲烷、氨气、溴化氢、硅烷氢混合气等特种气体钢瓶存放于特气间内符合规范要求的防爆型特气柜内，每个特气柜可存放2瓶特种气体，柜内设有管道输送特气间内部设置有害气体泄漏探测器、UV/IR探测器和报警系统、气体监视系统等，供气时首先打开钢瓶阀门，观察输气管道压力计至压力稳定后，打开供气阀将供气管线内气体压力调节至设备所需压力并稳定后，再打开设备阀门，开始供气。当气瓶压力不满足要求时，气路切换至另一路钢瓶上，此时关闭当前钢瓶阀门。当生产设备停止运行、供气结束后，采用氮气对管路和设备防止、水分及其他杂质气体进入气路系统。吹扫出的残余气体经气体管道引至各工序相应废气净化装置。另外，每次供气前首先通入氮气对管路、气路灯进六氟化硫、纯氧、笑气、三氟甲烷、氩气、氦气、四氟化碳等气体钢瓶就装格可储存16钢瓶氢气，由液化空气（青岛）第二有限公司负责管理运营，氮气站位于氢气站北侧，面积约200m2，建有FLOXAL®无人值守现场供液化空气（青岛）第二有限公司负责管理运营，通过管道输送至本项目生产车青岛联智光通信技术有限公司共有员工150人，均为青岛海信宽带多媒体青岛联智光通信技术有限公司租赁海信集团控股股份有限公司的现有厂房号厂房北侧，清洗间、喷砂间、危废间和危化品库位于园区东北部，一般固废面布置情况详见附图4。详细投资情况见表2-7：类别环保设施环保投资（万元）废气排气筒加高[1]、废气收集系统、酸雾净化塔、排气筒DA00730废水含砷废水收集管道、车间排放口5采取基础减振、隔声等措施2合计37备注：[1]按园区要求，为与园区内其他公司排气筒保持一致高度，现有工程排气筒由15米加高至18米。工艺流程和产排污环节本项目运营期产排污环节见表2-8：类别产生环节污染物排放废气有组织MOCVD一次~四次外延尾气颗粒物、砷化氢、磷化氢、VOCsMOCVD外延废气通过密闭设备通气管路收集，先经设备自带的双重粒子过滤器处理，再分别经3套“干法吸附尾气处理设备+电浆燃烧式尾气处理设备”处理，尾气分别通过排气筒DA001、DA002、DA003排放RIE刻蚀SiO2/SiNx:H薄膜颗粒物、氟化物RIE刻蚀废气、ICP刻蚀废气通过密闭设备通气管路收集后先经电加热燃烧水洗式尾气处理设备处理，其他工序废气通过通风橱通风系统收集，汇总后经酸雾净化塔处理后通过排气筒DA004排放RIE刻蚀颗粒物、氯气、P2O5ICP刻蚀光栅磷化氢、P2O5氢氟酸腐蚀SiO2/SiNx:H薄膜氟化物氢氟酸-氟化铵腐蚀SiO2/SiNx:H薄膜氟化物退镀氟化物PECVD工艺尾气氮氧化物、氨、臭气浓度、SiH4PECVD废气通过密闭设备通气管路收集后先经电加热燃烧水洗式尾气处理设备处理，氨水-双氧水腐蚀钛工序碱性废气通过通风橱通风系统收集，汇总后经碱雾净化塔处理后通过排气筒DA005排放PECVD设备清洁尾气氟化物、颗粒物、二氧化硫氨水-双氧水腐蚀钛氨、臭气浓度涂胶、烘干VOCs、臭气浓度涂胶、烘干废气通过设备上方集气罩收集，其他工序废气通过通风橱通风系统收集，汇总后经活性炭吸附设备处理后通过排气筒DA006排放显影VOCs、氨、臭气浓度去胶剂去胶VOCs、臭气浓度上蜡、去蜡清洗乙酸丁酯、臭气浓度湿法腐蚀半导体氮氧化物、氯化氢、溴化氢废气通过通风橱通风系统收化学腐蚀条形波导/隔离槽磷化氢集，经酸雾净化塔处理后通过排气筒DA007排放无组织镜片擦拭VOCs、臭气浓度于车间内无组织排放双重粒子过滤器清洗氨、臭气浓度废气通过通风橱通风系统收集，经碱雾净化塔处理后通过排放口于厂区内无组织排放喷砂颗粒物喷砂过程密闭进行，喷砂粉尘于厂区内无组织排放/异丙醇、氯化氢、氟臭气浓度、溴、溴化氢、氯化氢、磷化氢未被收集的废气于厂区内无组织排放、甲醇擦拭设备镜片挥发产生的废气（以VOCs计）于车间无组织排放废水生产废水清洗废水总有机碳、氟化物、氨氮、总磷、总氮、总锌湿法腐蚀半导体、化学腐蚀条形波导、化学腐蚀隔离槽工序后的含砷清洗废水分类收集、专管专送，与其他工序清洗废水、超纯水制备废水、生活污水等一起排放至海信信息产业园污水处置东站处理后通过市政污水管网排放至镰湾河水质净化厂纯水制备废水固体（全盐量）生活污水生活污水COD、BOD5、SS、氨氮设备运行选用低噪声设备，采取基础减振、隔声等降噪措施固体废物工业固体废物原辅材料解包、成品包装非危化品废包装材料暂存于一般固废间，外售综合利用或处置喷砂废碳化硅晶片背面抛光废研磨剂蒸发镀、溅射镀金属废渣超纯水制备、洁净车间通风系统废滤料危险废物原辅材料解包危化品废包装材料暂存于危废间，委托有危废处理资质的单位定期处置检测不合格品硫酸酸洗废硫酸及第一次清洗废液显影废显影液及第一次清洗废液湿法腐蚀半导体废刻蚀液及第一次清洗废液氢氟酸腐蚀废氢氟酸及第一次清洗废液废氢溴酸腐蚀废氢溴酸及第一次清洗废液腐蚀金、钛废腐蚀液及第一次清洗废液去胶剂去胶废去胶液及第一次清洗废液去蜡清洗废去蜡试剂及第一次清洗废液湿法镀金第一次清洗废液退镀液退镀废退镀液光刻涂胶工序废胶料双重粒子过滤器清洗清洗废液及砷磷废渣干法吸附尾气处理设备废滤芯电加热燃烧水洗式尾气处理设备、酸雾净化塔、碱雾净化塔净化装置废液活性炭吸附装置废活性炭设备维修废灯管设备维修废铅酸蓄电池生活垃圾员工生活生活垃圾集中收集于厂区内垃圾桶，由环卫部门定期清运与项目有关的原有环境青岛海信宽带多媒体技术有限公司将现有工程中激光器芯片生产相关的设施设备，环境影响评价、竣工环境保护验收等环保手续全部转移至青岛联智光生产线相关环保手续情况见表2-9，现有产品方案见表2-10。青岛联智光通信技项目名称环评类别环评批复验收时间验收意见光电子器件扩建工程建设项目报告书589号2016年3月青环黄验〔2016〕51号污染问题宽带公司网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目报告书22号2019年7月25G及以上光通信器件产业化项目报告表暨环境风险专项青环西新审〔2020〕12号2021年6月25G及以上光通信器件研发及产业化项目变更环境影响分析报告/基于硅光通信的高功率半导体激光器项目报告表暨环境风险专项青环西新承诺审〔2020〕61号2022年5月项目名称产品名称产能备注光电子器件扩建工程建设项目激光器芯片1247万颗/年外售100万颗/年作为青岛海信宽带多媒体技术有限公司光通信模块生产线原料宽带公司网络核心光电子芯片与高速光模块产业化项目激光器芯片720万颗/年部分外售，部分作为青岛海信宽带多媒体技术有限公司光通信模块生产线原料晶圆[2]1200片/年光模块[1]6.6万件/年外售25G及以上光通信器件产业化项目激光器芯片207万颗/年部分外售，部分作为青岛海信宽带多媒体技术有限公司光通信模块生产线原料光模块[1]40万件/年外售硅基光电子集成芯片（外购芯片仅测试不生产）5万片/年基于硅光通信的高功率半导体激光器项目激光器芯片100万颗/年部分外售，部分作为青岛海信宽带多媒体技术有限公司光通信模块生产线原料备注：[1]激光器芯片产品生产全部转移至青岛联智光通信技术有限公司名下，光器件、光模块等产品生产线仍由青岛海信宽带多媒体技术有限公司负责。[2]现有工程环评报告中晶圆部分自用，部分外售，现已取消，不再作为单独产品生产。污染物产污工序污染物环保措施废气有组织MOCVD一次~四次外延尾气化氢[1]、磷化氢[1]MOCVD外延废气通过密闭设备通气管路收集，先经设备自带的双重粒子过滤器处理，再经3套“干法吸附尾气处理设备+电浆燃烧式尾气处理设备”处理，尾气分别通过排气筒DA001、DA002、DA003排放RIE刻蚀颗粒物、氟化物、氯气、氯化氢、溴化氢[1]、磷化氢[1]RIE刻蚀废气通过密闭设备通气管路收集后先经电加热燃烧水洗式尾气处理设备处理，氢氟酸腐蚀SiO2薄膜、化学腐蚀条形波导等工序废气通风橱通风系统收集，汇总后经酸雾净化塔处理后通过排气筒DA004排放氢氟酸腐蚀SiO2薄膜化学腐蚀条形波导化学腐蚀隔离槽退镀PECVD工艺尾清洁尾气氮氧化物、氟化物PECVD废气通过密闭设备通气管路收集后经电加热燃烧水洗式尾气处理设备处理后经碱雾净化塔处理后通过排气筒DA005排放涂胶、烘干、显上蜡、去蜡清洗浓度涂胶、烘干废气通过设备上方集气罩收集，其他工序废气通过通风橱通风系统收集，汇总后经活性炭吸附设备处理后通过排气筒DA006排放无组织清洗间酮、氟化物、氨、氮氧化物、溴化氢双重粒子过滤器清洗废气通过通风橱通风系统收集，经碱雾净化塔处理后通过排放口于厂区内无组织排放；喷砂过程密闭进行，粉尘于厂区内无组织排放；未被收集的废气于厂区内无组织排放喷砂间氢氟酸腐蚀等废水工业废水清洗废水总砷、pH、SS、机碳、氟化物、氨氮、总磷、总氮、总锌、溶解性总固体清洗废水、纯水制备废水、生活污水排入海信信息产业园污水处置东站处理后通过市政污水管网排放至镰湾河水质净化厂超纯水制备废水生活污水生活污水设备运行选用低噪声设备，采取基础减振、隔声等降噪措施固体废物工业固体废物原辅材料解包、成品包装非危化品废包装材料暂存于一般固废间，外售综合利用或处置晶片背面抛光废研磨剂蒸发镀、溅射镀金属废渣喷砂废碳化硅超纯水制备、净化空调系统废滤料危险废物原辅材料解包危化品废包装材料暂存于危废间，委托有危废处置资质的单位定期处置检测不合格品酸洗废硫酸溶液及第一次清洗废液显影废显影液及第一次清洗废液湿法腐蚀半导体废刻蚀液及第一次清洗废液氢氟酸腐蚀废氢氟酸及第一次清洗废液氢溴酸腐蚀废氢溴酸及第一次清洗废液去蜡清洗废去蜡试剂及第一次清洗废液光刻涂胶工序废胶料双重粒子过滤器清洗清洗废液及砷磷废渣干法吸附尾气处理设备废滤芯电加热燃烧水洗式尾气处理设备、酸雾净化塔、碱雾净化塔净化装置废液活性炭吸附装置废活性炭设备维护废灯管设备维护废铅酸蓄电池生活垃圾员工生活生活垃圾环卫部门定期清运备注：[1]待国家污染物监测方法标准发布后实施。有工程有组织排放废气检测情况见表2-12：检测日期检测点位检测项目检测结果排放浓度（mg/m3）排放速率（kg/h）2025.08.20MOCVD外延废气排气（DA001）颗粒物3.40.00816VOCs3.990.00958MOCVD外延废气排气筒P6（DA002）颗粒物3.60.00753VOCs4.370.00914MOCVD外延废气排气筒P7（DA003）颗粒物3.70.00876VOCs3.480.00824尾气排气筒P2（DA005）颗粒物3.10.0183SO2ND/NOXND/氟化物ND/涂胶烘干、丙酮去胶等有机废气排气筒P3（DA006）VOCs3.150.0196丙酮0.710.00442刻蚀尾气排气筒P4（DA004）颗粒物3.30.0195氯化氢0.0621氯气ND/氟化物ND/3XDA005废气中氟化物、氯化氢、氯气的排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）有工程无组织排放废气检测情况见表2-13：检测日期检测点位检测项目检测结果排放浓度（mg/m3）2025.08.20上风向1#颗粒物0.186VOCs0.97氟化物ND下风向2#颗粒物0.197VOCs氟化物ND下风向3#颗粒物0.201VOCs氟化物ND下风向4#颗粒物0.195VOCs氟化物ND由检测结果可知，厂界颗粒物、氟化物的监控浓度满足《大气污染物综合20μg/m3VOCs的监控浓度满足《信信息产业园园区污水总排口废水检测情况见表2-14：检测日期检测点位检测项目检测结果2025.08.20园区污水总排口pH7.2（无量纲）BOD59.0mg/LCOD26mg/L氨氮0.744mg/L悬浮物12mg/L总氮25.0mg/L溶解性总固体740mg/L氮：70mg/L、总氮：45mg/L溶解性总固体的排放浓度满足镰湾河水质净化界环境噪声监测情况见表2-15。检测日期检测因子检测点位检测时间检测结果2025.08.20厂房四周厂界环境噪声1#东厂界17:06~17:595522:03~22:57452#南厂界17:06~17:595622:03~22:57473#西厂界17:06~17:595522:03~22:57454#北厂界17:06~17:595622:03~22:57482026.01.07区域四周厂界环境噪声1#北厂界572#东厂界09:57-10:07603#南厂界10:23-10:33604#西厂界10:34-10:4454备注：根据建设单位提供资料，生产车间与清洗间、喷砂间所在区域相距较远，故分开进行环境噪声监测，且清洗间、喷砂间夜间不运行。由检测结果可知，四周厂界环境噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标现有工程产生的非危化品废包装材料、废研磨剂、金属废渣、废碳化硅、废滤料等工业固体废物暂存于一般固废间，外售综合利用或处置；危化品废包装材料、不合格品、废硫酸溶液及第一次清洗废液、废显影液及第一次清洗废液、废刻蚀液及第一次清洗废液、废氢氟酸及第一次清洗废液、废氢溴酸及第一次清洗废液、废去蜡试剂及第一次清洗废液、废胶料、双重粒子过滤器清洗废液及砷磷废渣、废滤芯、净化装置废液、废活性炭、废灯管、废铅酸蓄电池等危险废物暂存于危废间，定期委托山东平福环境服务有限公司处置，危废协每两个月清运1次，能满足全厂工业固体废物贮存需求。危废间位于园区东北排放情况详见表2-16。类别排放口污染物核算排放量（t/a）废气全厂排气筒颗粒物0.0502VOCs0.0892SO20.0001NOX0.0001氟化物0.0018氯化氢0.0373氯气0.00154废水园区污水总排口DW001[2]COD0.05BOD50.0170.023氨氮0.001总氮0.048溶解性总类别产污工序废物名称产生量/处置量（t/a）废物工业固体废物原辅材料解包、成品包装非危化品废包装材料0.6晶片背面抛光废研磨剂0.007蒸发镀、溅射镀金属废渣0.01喷砂废碳化硅0.5超纯水制备、净化空调系统废滤料2.72t/3a危险废物原辅材料解包危化品废包装材料2检验不合格品0.8kg硫酸酸洗废硫酸溶液及第一次清洗废液4湿法腐蚀废刻蚀液及第一次清洗废液氢氟酸腐蚀废氢氟酸及第一次清洗废液4氢溴酸腐蚀废氢溴酸及第一次清洗废液2显影废显影液及第一次清洗废液4去蜡清洗废去蜡试剂及第一次清洗废液9光刻胶涂胶废胶料0.3双重粒子过滤器清洗清洗废液及砷磷废渣干法吸附尾气处理设备废滤芯2电加热燃烧水洗式尾气处理设备、酸雾净化塔、碱雾净化塔净化装置废液2活性炭吸附装置废活性炭3设备维修废灯管0.8t/2a设备维修废铅酸蓄电池1.5t/2a生活垃圾员工生活生活垃圾注：[1]现有工程废水与其他企业废水一同排入海信信息产业园污水处置东站处理，现有工程废水量约为1937.9t/a。DA006）的臭气浓度；厂界无组织排放污染物未识别丙酮、氟化物、氨、臭气机碳、氟化物、氨氮、总磷、总氮、总锌、青岛联智光通信技术有限公司应立即修改自行监测计划，并按照修改后的区域环境质量现状日对项目所在区域的环境空气质量进行了采样和监测，由检测结果可知：氮氧头—入镰湾河口）水功能区划为景观娱乐用水，执行《地表水环境质量标准》年，城镇集中式饮用水水源地水质达标率100%。全市20断面水质全部达到或优于年度目标，达到或优于Ⅲ类个市控及以上地表水水质监测断面中，断流2个，达到或优于Ⅲ类41个，Ⅳ类根据《青岛西海岸新区声环境功能区划》（青西新管字〔2022〕13号），达标率为94.4%，夜间达标率为93.8%。根据青岛海信宽带多媒体技术有限公司现有工程自行监测报告可知，四周厂界环境噪声满足《工业企业厂界环境噪声本项目在现有厂房内建设，厂区用地范围内及周边无生态环境保护目标，本项目所在区域无地下水、土壤环境保护目标，采取相应措施后不存在土环境保护目标根据《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018），本项目大气环大气环境保护目标名称及相对位置关系见表3-1及附图3。序号名称性质环境功能区相对厂址方位相对厂界距离/m1珠海雅苑居民区二类区N4282美誉府居民区二类区NW4473馨合佳苑居民区二类区NW4564港头陈社区居民区二类区NE5085临港花园居民区二类区N5466多元小区居民区二类区N5597鑫汇阳光居民区二类区NE5738海信公寓居民区二类区S6329辛安中心幼儿园学校二类区NW650童趣森林幼儿园学校二类区N686辛安瑞源小区居民区二类区N688未来星幼儿园学校二类区NW688港头刘小区居民区二类区NE745优仕青年公寓居民区二类区NW781盛华未来城居民区二类区NW782蜊叉泊小区居民区二类区NW801海尔幸福里居民区二类区NW848天海花园小区居民区二类区NE945天海花园A区居民区二类区NE96020港头陈幼儿园学校二类区NE98121中南漫悦湾居民区二类区NW22江山路第二小学学校二类区NE23港头陈老小区居民区二类区NE24青岛西海岸新区辛安中学学校二类区NW25瑞源优享公寓居民区二类区26台头社区居民区二类区NW27新港花园居民区二类区NE28青岛育仁医院二类区NE29瑞源水岸居民区二类区NE30港头臧社区居民区二类区N31长城花园居民区二类区32香江和苑居民区二类区33景润花园居民区二类区34牛王庙社区居民区二类区35抬头小学学校二类区NW36齐长城花园居民区二类区S37东小庄社区居民区二类区NW38莱茵小镇居民区二类区39西于家河二期居民区二类区40雍锦半岛居民区二类区S41湛园居民区二类区42东于家河居民区二类区43长城花园东小区居民区二类区44港头小学学校二类区NW45旭日东升小区居民区二类区NW46青岛大学附属医院（西海岸分院）二类区47京华合木幼儿园学校二类区48家和花园西区居民区二类区49天玺乐城居民区二类区NE50青特西海岸星悦居民区二类区S51卓亭广场居民区二类区52龙湖春江彼岸居民区二类区NW53兴悦华城居民区二类区NW54海尔公寓居民区二类区W55澳柯玛人才公寓居民区二类区NW56家和花园居民区二类区57天瑞景苑居民区二类区58奋进路初级中学学校二类区59鸿润嘉园居民区二类区60青岛滨海学院附属幼儿园学校二类区61西于家河南区居民区二类区62扒山小区居民区二类区63青岛滨海学院学校二类区S64秀兰禧悦山居民区二类区65青岛滨海学院（西校区）学校二类区S66贵信鑫居居民区二类区67汇峰嘉园居民区二类区68情怡福苑居民区二类区69星河嘉园居民区二类区N200570碧水明珠居民区二类区NW204071贵信花园居民区二类区205072盛世府邸居民区二类区206073中南星汇城居民区二类区NE208074英才嘉园居民区二类区NW208075绿化园小区居民区二类区208076青岛西海岸新区双语小学学校二类区208077东升家园居民区二类区NE208578万科新都会居民区二类区209079江珊花园居民区二类区2105广厦瑞府居民区二类区NE2150昆仑山庄居民区二类区2150海滨御苑居民区二类区NW2180东南庄社区居民区二类区NW2200薛家泊子社区居民区二类区N2220兴宝苑居民区二类区NW2230香海花园居民区二类区2230五台山西路小学学校二类区2230智岛公寓辛安景苑居民区二类区NW2260辛安小学学校二类区NW228090红立小区居民区二类区231091幸福雅居居民区二类区NW234092保利青铁和著理想地（在建）居民区二类区235093团结新城居民区二类区NE237594车家岭小区居民区二类区238095青岛西海岸新区育英初级学校二类区N241096新都学府居民区二类区242097青岛滨海学院（小珠山校区南校区）学校二类区S243098辛安村居民区二类区NW245099赵家岭社区居民区二类区NW2450辛安里居民区二类区NW2455芙蓉苑居民区二类区NW2460西海岸新区启智幼儿园学校二类区NE2475珠山苑居民区二类区N2480世纪新村居民区二类区N2485辛安府居民区二类区NE2495顺源家园居民区二类区NW2495江山路西小区居民区二类区S2500保利锦上居民区二类区2500青橙时代居民区二类区2520鲁泽观天下居民区二类区NE2550青岛新兴电力技工学校学校二类区NW2580黄河中路小区居民区二类区NW2595新都樾府居民区二类区2660安康敬老院养老院二类区NW2720黄河中路小区（西）居民区二类区NW2780正友花园居民区二类区NW2785盛世嘉苑居民区二类区2820青岛海华康复医疗中心二类区2820辛安街道社区卫生服务中心二类区NW3040悦湖兰庭居民区二类区3160八里庄社区居民区二类区3270本项目厂界外500米范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、污染物排放控制标准排气筒DA001、DA002、DA003废气中颗粒物的排放浓度执行《区域性大放浓度和排放速率执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》厂界颗粒物、氮氧化物、氟化物、氯化氢无组织排放监控点浓度执行《大厂区内NMHC执行《挥发性有机污染物无组织排放控制标准》（GB排放源排气筒高度m污染物排放浓度mg/m3排放速率kg/h排气筒DA002、DA003[2]颗粒物[1]4.94VOCs603.0排气筒DA004[2]颗粒物[1]4.94氟化物[1]9.00.142650.135排气筒DA005[2]颗粒物[1]4.94二氧化硫[1]503.62氮氧化物[1]氟化物[1]9.00.142氨[3]/4.9臭气浓度[3]/2000（无量纲）排气筒DA006VOCs502.0氨[3]/4.9臭气浓度[3]/2000（无量纲）排气筒DA007氮氧化物[1]氯化氢[1]0.362厂界/颗粒物/氮氧化物0.12/氟化物20μg/m3/氯化氢0.20/VOCs2.0/丙酮0.6/异丙醇1/乙酸丁酯1/氨/臭气浓度16（无量纲）/厂区内/NMHC10（监控点处1h平均浓度值）30（监控点处任意一次浓度值）/注：[1]根据《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996排气筒高度为18m时，颗粒物、SO2、NOx、氟化物、HCl采用内插法计算其最高允许排放速率，按下式计算：Q=Qn+（Qn+1-Qnh-hn）/（hn+1-hn）式中，Q—某排气筒最高允许排放速率；Qn—比某排气筒低的表列限值中的最大值；Qn+1—比某排气筒高的表列限值中的最小值；h—某排气筒的几何高度；hn—比某排气筒低的表列高度中的最大值；hn+1—比某排气筒高的表列高度中的最小值。计算可得，排气筒高度为18m时，废气中颗粒物的最高允许排放×（18-15）/（20-15）=4.94kg/h；SO2的最高允许排放速率为2.6+（4.3-2.6）×（18-15）/氯化氢的最高允许排放速率为0.26+（0.43-0.26）×（18-15）/（20-15）=0.362kg/h。由于排放Cl2的排气筒不应低于25m，本项目排放Cl2的排气筒高度为18m，因此Cl2的最高允许排放速率按外推法计算并严格50%执行，外推法计算公式如下：Q=Qc（h/hc）2。式中，Q—某排气筒最高允许排放速率；Qc—表列排气筒最低高度对应的最高允许排放速率；h—某排气筒的几何高度；hc—表列排气筒的高低高度。计算可得Cl2的最高有组织排放速率为0.52×（18/25）2×50%=0.135kg/h。[2]本项目排气筒DA001、DA002、DA003均排放颗粒物、VOCs，三根排气筒的间距为3m；排气筒DA004、DA005均排放颗粒物、氟化物，排气筒的间距为5m，根据《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996“两个排放相同污染物（不论其是否由同一生产工艺过程产生）的排气筒，若其距离小于其几何高度之和，应合并视为一根等效排气筒，若有三根以上的近距排气筒，且排放同一种污染物时，应以前两根的等效排气筒，依次与第三、四根排气筒取等效值”，等效排气筒污染物排放速率按下式计算：Q=Q1+Q2式中，Q—等效排气筒某污染物排放速率；Q1、Q2—排气筒1和排气筒2的某污染物排放速率；等效排气筒的高度按下式计算：式中，h—等效排气筒高度；h1、h2—排气筒1和排气筒2的高度；等效排气筒的位置，应于排气筒1和排气简2的连线上，若以排气筒1为原点，则等效排气筒的位置应距原点为：x=a（Q-Q1）/Q=aQ2/Q式中，x—等效排气筒距排气筒1的距离；a—排气筒1至排气筒2的距离。[3]根据《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93“凡在表2所列两种高度之间的排气筒，采用四舍五入方法计算其排气筒的高度”，本项目排放恶臭气体的排气筒高度为18米，则臭气浓度采用排气筒高度为15米对应的排放限值。本项目含砷废水分类收集、专管专送，清洗废水、超纯水制备废水等生产废水与生活污水分别进入海信信息产业园污水处置东站，处理后通过市政污水管网排放至镰湾河水质净化厂。因海信信息产业园污水处置东站和镰湾河水质净化厂不具备氟化物、重金属去除能力，故要求本项目废水中氟化物、总砷、总锌等特征污染物的排放浓度从严执行镰湾河水质间接排放浓度限值；总锌的排放浓度执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》排放口污染物含砷废水排放口DW001总砷0.1车间生产废水总排口DW002pH6~9（无量纲）COD[1]500悬浮物[1]400氨氮[1]45总磷[1]8.0总氮[1]70氟化物2.0总有机碳[1]200总锌溶解性总固体（全盐量）2000备注：[1]根据《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）要求，若单位产品实际排水量超过单位产品基准排水量，须将实测水污染物浓度换算为水污染物基准排水量排放浓度，并以水污染物基准排水量排放浓度作为判定排放是否达标的依据。产品产量和排水量统计周期为一个工作日。换算公式为：式中，C基——水污染物基准排水量排放浓度，mg/L；Q总——实测排水总量，m3；Yi——第i种产品产量；Qi基——第i种产品的单位产品基准排水量；C实——实测水污染物排放浓度，mg/L。万粒。[2]本项目激光器芯片生产工艺中不使用矿物油类物质、洗涤剂，且《检测报告》（QDH250761027121801）中石油类、阴离子表面活性剂未检出，故本项目废水污染物不涉及石油类、阴离子表面活性剂。[3]本项目金补充剂的年用量为7L/a（约7.8kg其中含0.003%的蚁酸亚铊（甲酸亚铊湿法镀金工序电镀液循环使用，不外排；第一次清洗废液作为危险废物处置；第二次清洗废水中总铊的含量极少。且国家、山东省未发布总铊的排放标准，故本项目不将其作为评价因子。厂界外声环境功能区类别等效声级Leq昼间夜间6555本项目运营期工业固体废物、生活垃圾贮存、处置执行《中华人民共和国总量控制指标本项目废水经海信信息产业园污水处置东站处理后通过市政污水管网排放至镰湾河水质净化厂，纳入镰湾河水质净化厂的总量指标中，无需另外申请总《山东省建设项目主要大气污染物排放总量替代指标核算及管理办法》（鲁环），施工期环境保护措施本项目在现有厂房内建设，施工期主要是设备安装和调试，不涉及土建工程，对周边环境产生的影响较小，且多为局部、短期性质，随着施工结束运营期环境影响和保护措施MOCVD外延工序依托现有生产设备及环保设备进行，废气通过密闭设备通气管路收集，经设备自带的双重粒子过滤器处理后，再分别经3套“干烧水洗式尾气处理设备处理，氢氟酸腐蚀SiO2/SiNx:H薄膜、氢氟酸-氟化铵酸雾净化塔处理后通过排气筒DA004排放；未被收集的废通风橱、电加热燃烧水洗式尾气处理设备、酸雾净化塔、排气筒DA004理设备处理，氨水-双氧水腐蚀钛工序废气通过通风橱通风系统收集，汇入碱雾净化塔处理后通过排气筒DA005排放；未被收集的废通风橱、电加热燃烧水洗式尾气处理设备、碱雾净化塔、排气筒DA005涂胶、烘干废气通过设备上方集气罩收集，上蜡、去蜡清洗等其他工序废气通过通风橱通风系统收集，经活性炭吸附设备处理后通过排气筒DA006集气罩、通风橱、活性炭吸附设备、排气筒DA00蚀条形波导、化学腐蚀隔离槽等工序废气通过通风橱通风系统收集，经酸雾双重粒子过滤器清洗废气通过通风橱通风系统收集，经碱雾净化塔处理后通过排放口于厂区内无组织排放。通风橱、碱雾净化塔等环保设施全部依喷砂处理工序依托现有设备进行，喷砂过程密闭进行，喷砂粉尘于厂区值要求；VOCs的排放浓度和排放速率满足《挥发性有机物排放标准排气筒DA004废气中颗粒物的排放浓度排气筒DA005废气中颗粒物、二氧化硫排气筒DA007废气中氮氧化物的排放浓厂界颗粒物、氟化物、氯化氢、氮氧化物监控浓度满足《大气污染物综青岛海信宽带多媒体技术有限公司将激光器芯片生产线全部转移给青岛联智光通信技术有限公司，分别开展自行监测。根据《排污单位自行监测技监测点位监测因子监测频次废气排气筒DA001、DA002、DA003颗粒物、VOCs、砷化氢[1]、磷化氢[1]排气筒DA004颗粒物、氟化物、氯气、溴化氢[1]、磷化氢[1]排气筒DA005颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、氟化物、氨、臭气浓度排气筒DA006VOCs、氨、臭气浓度排气筒DA007氮氧化物、氯化氢、溴化氢[1]、磷化氢[1]厂界丙酮、异丙醇、乙酸丁酯、氨、臭气浓度厂区内NMHC备注：[1]待国家污染物监测方法标准发布后实施。根据建设单位提供资料，青岛海信宽带多媒体技术有限公司将激光器芯品仍由青岛海信宽带多媒体技术有限公司负责。本次报告对改扩建完成后全本项目运营期外排废水主要是清洗废水、超纯水制备废水及员工生活污水，一起排放至园区污水处理站处理后通过市政污水管网排放至镰湾河水质净化厂。另外，显影液、腐蚀液配制用水进入试剂，使用后作为危险废物处置；电浆燃烧式尾气处理设备冷却水循环使用，定期补充，不外排；双重粒子过滤器清洗废液，电加热燃烧水洗式尾气处理设备、碱雾净化塔、酸雾净根据建设单位提供资料，晶片在硫酸酸洗、显影、湿法腐蚀半导体、氢-氟化铵腐蚀SiO2/SiNx:H薄膜等工序后用超纯水进行两次清洗，彻底去除晶水洗槽内进行，水洗槽采用连续进水、连续出水的方式，人工将晶片放入水洗槽的载具内，每次只清洗一个晶片，硫酸酸洗工序后各工序第一次清洗废液作为危险废物处置；第二次清洗用水量约为氢溴酸化学腐蚀隔离槽、化学腐蚀条形波导等工序腐蚀铟镓砷磷InGaAsP薄夹具先后用氢氟酸溶液和退镀液浸泡进行退镀处理，浸泡后将夹具放入本项目劳动定员150人，不设食宿，年工作时间为300天，按每人每天50L用水量计，生活用水量为2250t/a，污水产生量按用水量的80%计，约为改扩建后激光器芯片生产工艺、原辅材料等方面未发生较大变化，产生含砷废水的工序中，新增的湿法腐蚀半导体工序与现有氢溴酸化学腐蚀隔离公司委托中国国检测试控股集团青岛京诚有限公司对现有工程氢溴酸化学腐蚀隔离槽、化学腐蚀条形波导工序含砷清洗废水、生产废水车间总排放口进行了监测，监测结果见表4-2。采样日期检测点位检测项目单位检测结果2025.12.18含砷废水排放口总砷μg/L0.482025.12.18生产废水车间总排放口pH无量纲8.0化学需氧量mg/L悬浮物mg/L7氨氮mg/L0.058总氮mg/L3.73总磷mg/L0.18阴离子表面活性剂mg/L未检出溶解性总固体mg/L250氟化物mg/L0.18石油类mg/L未检出总有机碳mg/L4.3总锌μg/L生活用水量标准》（GB/T50331-2002生活污水中主要污染物COD≦本项目废水产生情况见表4-3。类别废水量污染物产生浓度（mg/L）产生量生产废水含砷清洗废水54.4总砷0.000482.61×10-8清洗废水、超纯水制备废水1240.05pH8.0（无量纲）/COD0.01570.009氨氮0.0587.19×10-5总磷0.180.0002总氮3.730.005氟化物0.186.2×10-5总有机碳4.30.005总锌0.0111.36×10-5溶解性总固体2500.31生活污水COD4500.81BOD52500.452000.36氨氮300.054合计3040.05总砷8.59×10-62.61×10-8pH6~9（无量纲）/COD2710.825BOD50.450.369氨氮0.0541总磷0.0660.0002总氮0.005氟化物0.026.2×10-5总有机碳0.005总锌0.0041.36×10-5溶解性总固体0.31处理工艺，处理过程如图4-1所示：格栅作为污水处理的第一道预处理工序能有效拦截杂物，去除易沉淀的调节池/均化池的主要作用是调节水量和均衡水质，能够收集和储存不同时段的污水，使污水流量在一定时间内均匀地流入后续处理单元，避免水量急剧变化对处理系统造成冲击，保证后续处理工艺在相对稳定的流量条件下运行，提高处理效果的稳定性和可靠性；还可以使不同批次、不同来源的污水充分混合，起到均质水质的作用。通过混合，高浓度的污染物得以稀释，低浓度的营养物质得到补充，减小了水质波动，为后续的处理工艺提供了相初沉池通过重力沉降作用去除污水中密度较大的悬浮固体、可沉物和漂在厌氧条件下通过水解和酸化作用，将大分子有机物分解为小分子有机生物接触氧化法是一种介于活性污泥法与生物滤池之间的生物膜法工艺，在池内设置填料，池底曝气对污水进行充氧，并使池体内污水处于流动状态，以保证污水与污水中的填料充分接触。在好氧条件下，接触氧化池利用生物膜分解污水中的有有机物、氨氮等污二沉池通常设置在生物处理单元之后，从已经过生物处理的污水中，分在这里静置，让活性污泥沉淀下来，从而实现泥水分离。处理后的上清液进行进一步处理，而沉淀下来的活性污泥，一部分会回流至接触氧化池以维持本项目含砷清洗废水分类收集、专管专送，清洗废水、超纯水制备废水等生产废水混合后排入海信信息产业园污水处置东站处理，生产废水与生活污水分开排入海信信息产业园污水处置东站处理，再通过市政管网排放至镰湾河水质净化厂，废水排放情况见表4-4。排放口废水量t/a污染物排放量t/a排放浓度mg/L标准mg/L达标情况含砷废水排放54.4总砷2.61×10-80.000480.1达标车间生产废水总排口1240.05pH/8.0（无量纲）6~9（无量纲）达标DW002COD0.015500达标0.0097400达标氨氮7.19×10-50.05845达标总磷0.00020.188.0达标总氮0.0053.7370达标氟化物6.2×10-50.182.0达标总有机碳0.0054.3200达标总锌1.36×10-50.011达标溶解性总0.31250/达标注：根据《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）要求，本项目单位产品基准排水量为0.5m3/万粒，全厂激光器芯片生产规模为3600万颗/年，单位产品实际排水量为0.344m3/万粒，单位产品实际排水量未超过单位产品基准排水量，无须将悬浮物、COD、总有机碳、氨氮、总氮、总磷的排放浓度换算为基准排水量排放浓度。由表4-5可知，本项目含砷废水排放口DW001废水中总砷的排放浓度满总有机碳、氨氮、总氮、总磷满足《电子工业水污染物排放标准》（GB总有机碳：200mg/L总锌的排放浓度满足《城镇污水处理厂污染物排放标浓度满足《流域水污染物综合排放标准第5部分：半岛流域》（DB37/3416.5-2025）中表2一级标准限值（2.0mg/L溶解性总固体的排放浓度满总排口DW003的基本情况见表4-5。编号名称类型地理坐标排放方式排放去向排放规律经度纬度DW001含砷废水排放口一般排放口29.015"7.759"排放排放至镰湾河水质净化厂间歇排放DW002车间生产废水排放口一般排放口29.243"7.745"排放排放至镰湾河水质净化厂间歇排放DW003污水总排口一般排放口39.992"59.284"排放间歇排放间歇排放本项目废水排放至园区西南部的海信信息产业园污水处置东站，其设计日处理规模为980m3/d，采用“格栅+调节池+均化池+初沉池+水解酸化池+接触氧根据建设单位提供资料，海信信息产业园污水处置东站现阶段日处理量约为700m3/d，本项目新增废水排放量约4t/d，尚有余量接收本项目废水。根处理能力、处理工艺以及出水水质等方面分析，本项目废水进入园区处理站镰湾河水质净化厂位于青岛市西海岸新区疏港高架以西、宁河路以南，一期工程、二期工程以及辛安前河水质净化厂、镰湾河流域污水处理设备租赁项目共同负责镰湾河污水系统内的工业废水和生活污水集中处理，现状厂石崖街道（部分区域）辖区内工业废水、生活污水的集中处理，服务面积约10万m3/d，由镰湾河水质净化厂一期和二期工程（处理规模均为4万m3/d）和镰湾河流域污水处理设备租赁项目（处理规模2万m3/d）组成；另有在建镰湾河水质净化厂一期工程污水处理工艺采用“粗格栅栅及旋流沉砂池→Biolak生物综合池+纯膜法MBBR池→磁混凝沉淀池→连及提升泵池→细格栅及曝气沉砂池→初沉池/缺氧池→深井生化池→脱气池、缺氧池→MBBR硝化池→二沉池→提升泵房→高效沉淀池→活性砂滤池→臭氧接触池→加氯消毒”，辛安前河水质净化厂污水处理工艺采用“预处理→属等特征污染物去除能力，进水中的一类污染物及其它重金属浓度须需满足《城镇污水处理厂污染物排放标准》中表2及表3的标准要求；其它指标浓度须满足《污水排入城镇下水道水质标准》中B等级标准。出水水质要求中根据国电银河水务（青岛开发区）有限公司和青岛思普润水处理股份有规模约为6.9万t/d，本项目新增废水产生量约为4t/d，尚有余量水。根据山东省生态环境厅近期发布的重点排污单位自动监测数据，镰湾河监测点位监测因子监测频次废水含砷废水排放口DW001总砷车间生产废水总排口DW002pH、悬浮物、COD、总有机碳、氨氮、总氮、总磷、总锌、氟化物、溶解性总固体本项目所在生产车间属于电子洁净厂房，为防止噪声干扰精密电子设备的正常运行以及工作人员的健康与舒适度，空态条件下车间内的噪声级不应低，在40-60dB(A)之间，且全部安装在封闭小车间内，新增噪声源主要是排本项目噪声源强调查情况详见表4-7。序号声源名称数量空间相对位置/m声功率级dB(A)控制措施运行XYZ1风机（DA007）1-110采取选用低噪声噪量≧10dB(A)夜间备注：以1号厂房东北角（36°0＇8.271＂N，120°9＇33.059＂E）为坐标原点，厂房向东为X轴正方向，向北为Y轴正方向用吸声材料，做好门窗等开口部位的密封处理，以减少外界噪声侵入和内部根据建设单位提供资料，本项目厂界外50m范围内无声环境保护目标，故仅对厂界环境噪声进行预测与评价。本项目位于海信信息产业园区1号厂房东北部，周边均为其他企业厂房，清洗间、喷砂间位于园区东北部，与生号厂房的厂界环境噪声进行预测，预测结果见表4-8。预测点背景值贡献值预测值标准值达标情况昼间夜间昼间夜间昼间夜间昼间夜间东厂界5545333355456555达标西厂界554537375546达标北厂界564849495752达标南厂界564735355647达标由预测结果可知，本项目建成后，四周厂界环境噪声满足《工业企业厂运营期环境影响和保护措施监测点位监测内容监测频度1号厂房北厂界[1]昼间、夜间等效连续A声级清洗间、喷砂间四周厂界[2]昼间等效连续A声级注：[1]本项目生产车间位于1号厂房东北部，东、西、南侧厂界紧邻其他公司厂房，不具备监测条件。[2]1号厂房与清洗间、喷砂间区域相距较远，分别进行厂界噪声监测；清洗间、喷砂间夜间不运行。金属废渣、废碳化硅、废滤料等工业固体废物，危化品废包装材料、不合格品、废硫酸及第一次清洗废液、废显影液及第一次清洗废液、废刻蚀液及第一次清洗废液、废氢氟酸及第一次清洗废液、废氢溴酸及第一次清洗废液、废腐蚀液及第一次清洗废液、废去胶液及第一次清洗废液、废去蜡试剂及第一次清洗废液、废退镀液、镀金后第一次清洗废液、废胶料、清洗废液及砷磷废渣、废滤芯、净化装置废液、废活性炭、废灯管、废铅酸蓄电池等危险原辅材料解包以及成品包装过程中产生的废塑料包装，产生量约为0.5t/a；另外还有原辅材料产生的废纸箱包装，产生量约为0.5t/a；属于工业固体废物（SW17900-003-S17：废塑料。工业生产活动中产生的塑料废弃边角料、废晶片背面抛光工序中研磨液从上部滴至晶片上，再从下部排出收集至工蒸发镀钛铂金、溅射镀金、蒸发镀钛金等工序使用钛、铂、金、硅、钽等金属原料，利用率约为10%，剩余未被利用的原料附着于反应腔内壁，每天清理一次，将金属废渣收集至收集盘内，再人工定期取出收集盘。金属废工业生产活动中产生的以有色金属（铜、铅、锌、镍、钴、锡、锑、铝、镁等）为主要成分的边角料、残次品，以及报废机动车和报废机械设备拆解产本项目喷砂间采用碳化硅颗粒喷砂去除，废碳化硅的产生量约为0.5t/a，属于工业固体废物（SW59900-099-S59：其他工业生产过程中产生的固体废本项目废滤料主要是超纯水制备系统和洁净车间通风系统产生的。超纯处理系统等四部分组成，为保证超纯水质量，需定期对PP棉、RO膜、滤芯3年更换一次，产生量约为0.02t/3a；车间净化空调系统采用多级过滤，其中器的滤芯每3年更换1次，废滤料产生量约为0.1t/3a。废滤料属于工业固体废物（SW59900-009-S59：废过滤材料。工业生产活动中产生的废过滤袋、根据建设单位提供资料，主要是浓硫酸、氢氟酸、氢溴酸、丙酮、显影剂、光刻胶、液体蜡等原辅材料的废包装，产生量约为4t/a，属于危险废物（HW49900-041-49：含有