安大陶瓷材料课件06功能陶瓷-8功能陶瓷薄膜

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷一概述以金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物或金属间化合物等无机化合物为原料，采用特殊工艺在一定材料（衬底、基片或底材）的表面上涂覆厚度约0.01至数微米的一层或多层涂层材料，称为陶瓷薄膜。

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷对薄膜的“厚度”，不同研究者定义不一。有的将厚度0.01~1μm的涂层材料称为薄膜，将厚度5~20μm的称为厚膜。有的则将厚度小于25μm的涂层材料称为薄膜，将厚度大于25μm的称为厚膜。

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷陶瓷薄膜种类繁多，表6-10列出了主要陶瓷薄膜应用分类。按照用途分，可将陶瓷薄膜分为功能陶瓷薄膜和结构陶瓷薄膜，前者是利用薄膜材料本身作成元器件，后者主要是增加底材（或衬底）的使用功能。

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷功能陶瓷薄膜是近年迅速发展的一个新的技术动向。它适应集成化、智能化、微型化和多功能等技术发展趋势。对高性能光电、铁电、压电、超导和铁磁等薄膜器件有着重要意义。纳米Ag/TiO2光催化剂薄膜

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷表6-11陶瓷薄膜的应用分类(续1)应用分类应用示例薄膜材料示例光学薄膜反射膜Al2O3、SiO2、SiO、TiO2、TiO、Cr2O3、Ta2O5、Ni-Al、金刚石和类金刚石薄膜增反膜减反膜选择性反射膜窗口薄膜光电子学薄膜探测器PbO、PbTiO3、(Pb,La)TiO3、LiTaO3光敏电阻光导摄像靶

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷表6-11陶瓷薄膜的应用分类(续2)应用分类应用示例薄膜材料示例电子学薄膜电极膜In2O3、SnO2、Al2O3、Ta2O5、Fe2O3、Sb2O3、SiO2、SiO、TiO2、ZnO、AlN、TaN、Si3N4、SiC、YBaCuO、BiSrCaCuO、PbTiO3、Pb(Zr,Ti)O3、(Pb,La)(Zr,Ti)O3、BaTiO3、金刚石和类金刚石薄膜绝缘膜电阻器电容器电感器传感器记忆元件（铁电性记忆、铁磁性记忆）超导元件微波声学器件（声波导、耦合器、卷积器、滤波器、延迟线等）薄膜晶体管集成电路基片热沉或散热片

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷表6-11陶瓷薄膜的应用分类(续3)应用分类应用示例薄膜材料示例集成光学薄膜光波导Al2O3、Nb2O5、LiNbO3、LiTaO3、Pb(Zr,Ti)O3、(Pb,La)(Zr,Ti)O3、BaTiO3光开关光调制（调相、调幅、调能）光偏转二次谐波发生薄膜激光器防护用薄膜耐腐蚀、耐磨损、耐冲刷、耐高温氧化TiN、TaN、ZrN、TiC、TaC、SiC、BN、TiCN、金刚石和类金刚石薄膜防潮防热高强度高硬度装饰性

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷随着薄膜技术发展及对材料显微结构特征认识的深化，将会研究开发各种新型的功能性器件，有利于从纳米级尺度上来研究和设计材料，有利于精细结构的复合，有利于充分挖掘材料内部结构的潜力，便于深入研究材料显微结构与性能的相互关系。

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷二陶瓷薄膜的制备工艺

6.8功能陶瓷薄膜第六章功能陶瓷陶瓷薄膜的制备方法一般可分物理方法和化学方法两大类。物理方法包括：真空蒸发、磁控溅射、离子束溅射、分子束外延等。化学方法包括：化学气相沉积、溶胶-凝胶法、液相外延法等。

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