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文档简介

硅基新材料行业市场分析

含硅特气

四氯化硅可作为电子特气,也是光纤预制棒、气凝胶等产品原材料

四氯化硅按纯度可以分为工业级四氯化硅与高纯四氯化硅,高纯四氯

化硅是光纤通讯、集成电路、气凝胶制造生产不可或缺的基础原材料,

按照下游需求可以分为半导体级(VAD级、OVD级、PCVD级等)

四氯化硅和电子级四氯化硅。

半导体级四氯化硅主要用于生产光纤预制棒;电子级四氯化硅是一种

高端半导体用电子化学品,主要用于薄膜沉积与蚀刻上艺,随着半导

体制程的先进化,电子级四氯化硅被使用于逻辑芯片与存储芯片等领

域,目前主要依靠进口。

高纯四氯化硅也可用于生产正硅酸乙酯(TEOS),高纯正硅酸乙酯

是气凝胶主要原料;电子级正硅酸乙酯主要用于集成电路制造过程中

的化学气相沉积(CVD)薄膜制程。目前工业合成正硅酸乙酯的方法

主要为四氯化硅法、硅粉法,工业级TEOS的制备工艺已经比较成

熟,但国内尚无电子级TEOS的制备企业。目前洛阳中硅、金宏气

体采用吸附联合精储技术制备百吨级的电子级正硅酸乙酯。

电子级四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅主要用于硅外延片生产

硅片是指由硅单晶锭切割而成的薄片,又称硅晶圆片,半导体制造商

生产集成电路(IC)芯片用硅片分别采用硅抛光片、硅外延片以及非

抛光片(研磨片)三种类型,其中以硅抛光片和硅外延片为主。

抛光片是在研磨片的基础上经过双面抛光、边缘抛光、表面抛光等工

序制造而来;外延是通过化学气相沉积的方式以抛光面作为衬底生长

一层或多层,掺杂类型、电阻率、厚度和晶格结构都符合特定器件要

求的新硅单晶层。

外延片具有硅抛光片所不具有的某些电学特性并消除了许多在晶体

生长和其后的晶片加工中所引入的表面/近表面缺陷。因此,硅外延

片广泛应用于制作不可恢复器件,包括MPU、逻辑电路芯片、快闪

存储器、DRAM等。

2021年全球外延片市场规模约为86亿美元,较2020年增加14亿

美元。国内外延片市场规模稳定增长,从2016年的64亿元增长至

2021年的92亿元,期间年均复合增速为7.5%,预计2025年将达

到110亿元。

电子级二氯二氢硅主要用于生产12寸硅外延片

目前硅外延生长的最主要方法就是采用化学气相沉积(CVD)的气相

外延法,以二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅或硅烷为反应气体,在

一定的保护气氛下反应生成硅原子并沉积在加热的衬底上,其中衬底

材料一般选用Si、SiO2、Si3N4等。电子级二氯二氢硅作为硅源,

直接分解生成硅,反应温度较三氯氢硅低(约1050"150℃),含硅

薄膜制备具有生长速率快、结晶质量好等特点。

二氯二氢硅还可与氮氧化合物反应生成二氧化硅,与氨制备氮化硅,

二氧化硅、氮化硅均可以在集成电路器件中充当绝缘层或钝化层。

目前全球电子级二氯二氢硅的市场,日本占据了约80%市场份额,

其中日本信越化学在日本企业中占据80%左右份额。SEH、

SKMaterials.RECSilicon.Denal及洛阳中硅是五家主要的二氯二

氢硅生产商。目前电子级二氯二氢硅进口产品价格约为30-40万元/

吨。

气凝胶

气凝胶具有纳米多孔网络结构的固体材料,应用场景广泛

气凝胶是一种具有纳米多孔网络结构的固体材料。它由美国的

KistlerS.于1931年发明,是目前世界上已知的具有良好隔热性能的

固体材料。因其具有纳米多孔结构CMOOnm)、低密度(1-500kg/m3)、

低介电常数(1.1-2.5)、低导热系数(0.013-0.025W/(m・K))、高孔隙

率(80-99.8%)、高比表面积(200・1000m3/g)等特点,在力学、声学、

热学、光学等诸方面显示出独特性质,在新能源、石油化工、工业隔

热、建筑建造等众多领域有着广泛而巨大的应用前景。

气凝胶种类多样,根据原料不同可以分为氧化物气凝胶、有机气凝胶、

碳气凝胶、复合气凝胶等多种类型。氧化物气凝胶中又包括SiO2气

凝胶、AI2O3气凝茂、ZrO2气凝胶、V2O5气凝胶等多种产品,其

中SiO2气凝胶是目前研窕最为成熟、制备工艺最为完善的气凝胶。

气凝胶下游产品多样,按照不同产品结构可以分为气凝胶粉、气凝胶

块、气凝胶纸、气凝胶布、气凝胶毡、气凝胶板材等多种类型,因此

下游应用场景十分广泛。目前石油化工领域消费量最大达到56%,

粉状气凝胶主要用于隔热行业的填充功能,可广泛应用于三明治结构、

层填充、复合层等现场隔热设备中。尤其是在高效隔热涂层和纺丝领

域,它能充分发挥其重量轻、强度高、强度高等优异性能,良好的隔

热性能、耐火性和阻燃性,可作为新的填料或添加剂添加到各种系统

中。同时,它具有优异的隔音和减震性能,是石油化工、电力储能、

建筑保温、航空航天、钢炉、环境净化等领域不可或缺的高效隔热材

料。

气凝胶毡与传统保温材料相比优势显著

目前城市管网、石油化工等行'也多采用传统保温材料如硅酸铝、岩棉

等,保温结构憎水性差,导致沉降现象严重,热损较大,温降严重;

期维护成本高;保温结构笨重、施工、搬运成本高。

使用气凝胶绝热毡的优势包括(1)导热系数低,减少保温层厚度,

缩小外套钢管管径,大幅减少热损失,减少开挖量,有利于城市设计

规划;(2)憎水率达99.0%以上,避免因保温结构进水而引起的沉

降现象;(3)卓越的防火性能;(4)抗压抗拉性能强,保温结构稳

定;(5)使用寿命长达20年;(6)无机环保,提高设备安全性;

(7)施工方便、安装简易。

气相二氧化硅

二氧化硅分为天然二氧化硅与合成二氧化硅

二氧化硅可分为天然二氧化硅和合成二氧化硅两类。天然二氧化硅主

要是由高品位硅矿石经过机械粉碎等物理方法加工形成的超细粉体,

通常为石英粉或硅微粉。合成一氧化硅是一种无定形的合成氧化硅粉

体材料,虽然其结构和炭黑不同,但应用性能与炭黑相似,且外观呈

白色,因此习惯上称之为“白炭黑”。合成二氧化硅常态下为白色絮状

粉末,物理性质为耐高温、不燃、无毒、无味、具有良好的电绝缘性,

因而广泛地应用于橡胶、塑料、涂料、胶粘剂、密封胶、绝热保温材

料等领域。合成二氧化硅按制造方法分类,主要分为气相二氧化硅和

液相二氧化硅,液相二氧化硅又可以分为沉淀法二氧化硅、凝胶法二

氧化硅。

气相二氧化硅主要分为亲水型与疏水型,疏水型壁垒更高

气相二氧化硅又叫气相白炭黑,是由硅的卤化物在氢氧火焰中高温水

解生成的带有表面羟基和吸附水的无定形的纳米级颗粒,具有粒径小、

比表面积大、化学纯度高、分散性能好等特征。气相二氧化硅主要有

两种原料生产路线,分别是以四氯化硅或一甲基三氯硅烷(有机硅单

体副产物,单耗2.5)为原料进行制备,少部分企业使用三氯氢硅。

气相二氧化硅根据表面性质的不同可分为亲水型气相二氧化硅和疏

水型气相二氧化硅。亲水型气相二氧化硅是通过氯硅烷在氢氧焰中高

温水解而制得,产品可用水润湿,并能在水中分散,在硅橡胶、油墨

涂料、胶粘剂、农药、食品、胶体电池、绝热材料、复合材料等领域

应用。疏水型气相二氧化硅通过亲水型气相二氧化硅与活性硅烷发生

化学反应而制得。疏水型气相二氧化硅产品具有憎水性,难以在水中

分散。可以制备高强度及高透明的有机硅弹性体;在电缆复合物中可

改善绝缘性及介电性能,在粉末涂料及灭火剂中可用于粉末助流剂,

在涂料及涂层中可提高产品的防沉降和抗流挂性能;在塑料中可提高

耐划伤性等。

我国疏水型气相二氧化硅以进口为主

根据SAGSI统计,国际市场上亲水型和疏水型产品分别约占87%和

13%。疏水型气相二氧化硅产品基本被跨国公司垄断,其中赢创工业

集团、卡博特、瓦克化学、德山化工等是目前世界上最主要的气相二

氧化硅制造商,我国只有极少数企业具备自主生产疏水型产品的能力

且产能较小。2021年我国疏水型气相二氧化硅产能合计为6900吨/

年。

根据SAGSI统计,2021年我国气相二氧化硅进口量和出口量分别为

0.5万吨和2.0万吨,2021年净出口量为1.5万吨,同比增长40.4%,

其中来自日本和比利时的进口量分别占58.6%和21.1%。我国未来

新增产能(包括疏水)较多,且主要跨国公司均在我国建立了气相二

氧化硅生产工厂,预计到2026年气相二氧化硅进口量将继续缩减,

出口量有望快速增长。

光纤预制棒、高纯石英砂

高纯四氯化硅可以用于生产光纤预制棒

光纤预制棒也称“光棒”、“光纤母棒”,是控制光纤性能的原始棒体材

料,一般直径为几十到几百毫米,其内层为高折射率纤芯层,外层为

低折射率的包层,以满足光波在芯层传输基本条件。

光纤预制棒由芯棒和包层组成,其芯棒有多种生产方式,主要原理是

基于气相沉积法,当前普遍采用:改进的化学气相沉积法(MCVD)、

轴向气相沉积法(VAD)、棒外化学气相沉积法(OVD)和等离子

化学气相沉积法(PCVD)四大主流工艺。光棒外部包层制造一般采

用套管法(早期是RIT,后来演进为RIC)和全合成法(OVD、VAD)。

芯棒是以高纯四氯化硅、四氯化铭为原料,在氢氧焰或甲烷焰作用下

经高温熔融形成的具有不同折射率的高纯SiO2«主流的四种生产工

艺中VAD和PCVD综合性价比较高,逐渐成为生产主流。外包层生

产工艺中,套管法投资规模小、建设周期短、生产工艺简单、流程短、

产品质量高、试用尺寸范围广是最优的生产工艺。

高纯四氯化硅可以用于合成高纯石英砂

高纯石英砂一般指SiO2纯度299.5%的粉状石英产品。具有耐温性能

好、绝缘度高,抗辐射等优点,广泛应用于电子工业、光纤等高精尖

领域中,其中半导体、光纤、光学、光伏和电光源占比分别为65%、

14%、10%>7%、4%o

目前矿物提纯法是高纯石英砂主流制造工艺,高纯石英砂制备工艺主

要包括天然水晶加工、石英矿物提纯和化学技术合成,其中天然水晶

加工工艺简单,但受制于原材料价格高昂、储量有限等原因不具备工

业量产的条件。20世纪80年代以来,石英矿物提纯技术逐渐发展成

熟,成为行业内主流制备工艺。化学合

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