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文档简介

集成电路可靠性设计与评价第1章绪论一、集成电路可靠性技术1.1、可靠性技术的发展1.2、可靠性技术的基本内容二、集成电路可靠性评价和评估2.1、基于概率统计的传统可靠性评价2.2、基于失效物理的可靠性评估1.3、可靠性技术的重要性和挑战2.3、基于可靠性仿真的可靠性评估一、集成电路可靠性技术1.1可靠性技术的发展大致经历了4个阶段：中国国家标准GB3187-82：“产品在规定的条件下和规定的时间内完成规定功能的能力”，相应地，产品丧失规定的功能则被定义为“失效”，产品在失效前的工作（或贮存）时间称为“寿命”。第一阶段（20世纪30～40年代）：萌芽第二阶段（20世纪50年代）：兴起第三阶段（20世纪60年代）：全面发展第四阶段（20世纪70年代以来）：深入发展定义一、集成电路可靠性技术1.2可靠性技术的基本内容可靠性技术是研究如何评价、分析和提高产品可靠性的一门综合性的边缘学科。1.可靠性基础理论2.可靠性设计3.可靠性制造工艺4.可靠性试验5.可靠性标准6.可靠性使用与维护7.可靠性情报8.可靠性管理与教育一、集成电路可靠性技术1.3集成电路可靠性技术的重要性和面临的挑战重要性：1.可靠性技术对于集成电路整个产业的发展有非常重要的作用2.可靠性技术有很高的经济效益挑战：1.特征尺寸的缩小会导致失效模型发生改变2.新材料和新工艺的引入会产生新的失效机理3.晶体管的架构变化4.制造工艺的快速变化5.长寿命器件的评价6.在极端环境下的应用7.在创新领域的应用二、集成电路的可靠性评价和评估2.1基于概率统计的传统可靠性评价1.可靠性筛选2.寿命试验3.手册式可靠性预计2.2基于失效物理的可靠性评估1.失效机理及其物理模型的研究2.加速试验技术3.基于失效物理的可靠性评估的改进可靠性评价主要是从统计的角度对现有产品的可靠性水平进行分析和确认，可靠性评估则是建立相应的评估理论、‌模型和算法，‌对现有的或设计中的产品的可靠性进行评估，有时也称为可靠性预计或预测。定义二、集成电路可靠性评价和评估2.3基于可靠性仿真的可靠性评估1.老化模型2.SHE的集成3.工艺波动和蒙特卡洛分析的集成首先从加速实验中提取模型参数，建立相应的寿命模型；用SPICE仿真器进行寿命分析；对各个失效机理的作用进行分析，决定其影响因素的大小；最后建立一个可靠性老化的综合模型，对电路进行可靠性仿真。技术路线先进技术节点的应对1.

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