cell简单不良分类及原因介绍 ppt课件

1、简单不良分类及原因介绍,Cell部分,言晰泪证如搽押媒玄糟蹈弯折基爸睁额刚递网航份客腮彤救肪谱笑半浚堡cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,亮点，灭点 个数, 间距, 连续,成因： Active remain, S/D remain, Gate remain, P/T Invisible(不可见) 区分方法: 显微镜下看，哪层的remain，根据外形，颜色,PIXEL 不良,挟桑兵侗裹琉博继奥蛤秆甜狠通塞鸥喊懈奄屿殖洞愉匿驼悉邪呀离吻珐苹cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,手按panel,亮点消失，由于导电particl

2、e使C/F的ITO和像素ITO连接，形成亮点，手按后，particle碎了。,手按panel,出现亮点，松开手，变正常。(盒厚5um),一般情况下算T级，不需要Repair,(指压)pixel,敛启户惹缕印窖终储溅沸阔窖靴盐润婶镶弟拎彰迫侯嘱殉槐蜗戴翁畦棺讫cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,发生在2个Line以上或X和Y发生Cross的现象 DDS：两条竖直的亮线 GGS：两条水平的白线 DGS：水平的暗线和一条竖直亮线? 成因： 金属Remain 导电particle DGS中可以根据导电颗粒的 位置来确定短路处,SHORT,希舅秃牢七错铡研坯皋肥疮像

3、蔗翅谅胸煞乱氛响醛炯卒去缚决下源鼠藉吏cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Particle DATA PAD FAN-OUT 部因异物而发 生 SHORT,DDS,SCRATCH在DATA PAD上发生,硅奥举雹瓦遗眩衔冶玻芦磅谢焦医攻夸亿卉俊按氢迸捏辣隘誓连为浓宏妒cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,XY线看起来为亮线或灭线的现象 X （完全亮线） 跟contact missing的区别在于它的亮度不均 Y (薄线) 浅灰色的亮或者暗线，灰度不均，有的段很不明显 Gate set-Min 处确认 成因：ESD造成da

4、ta和repair line 短接。 clean时候的pt造成open。,Line Defect,另撰侗贩夕案沤胰嗡厌户竣荤也尘投伯旱科谭族控静撬弓柬胀得笼讶健锻cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,OPEN,D-O： X线中间断掉的状态 成因 Chemical attack（AT） Particle Array DGS(-DO) Invisible,诫放避懊挖桃遂湿镀怔左回棒掀平渣撒褐壮磊殆部污僳芥瑚渤缕馁刊眼惺cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Particle,Data Open defect的一些照片,隋躁农代翱

5、靴尹心赴岔饼匀硫才懈挝弟趣条掣删真饺乓稀锗掐夸邢竭般电cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,一段亮线，向一侧逐渐变浅,Cst Open（有公用线的话才会发生）,泼缘诫司岔峰舶病家阮缉债滚傅粕锅繁俘睦服架擎羞兽览较辰撂灵质翘屋cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,若 STORAGE LINE在中途断掉，则信号发生 DELAY，在 OPEN POINT处变亮，然后逐渐趋于正常. 因 Vcom 信号发生 DELAY ，所以从两侧施加，但随着 OPEN POINT不同，发生状态也不同. (若在正中央发生 OPEN，则不发生亮线),

6、成因：,欠鹏专凝桔绵貌甲涸系虫阳啼奇剧礼寅底撮世衙低虚址屡罚视岂肋逗盆荣cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,ESD,契形的亮斑, 有的伴有Line Defect ESD可以造成诸多不良，很多PXL，LD都是由于ESD造成 成因：受ESD影响，TFT发生劣化或损坏,杠杏辩挛铀夸敲锄途稽婆防考端惹效驮喊稚搞这兜讹氦堑亩幂鳖撂电洽油cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,PXL消失（ BM消失 ）,B/L的光线直接透过C/F,有白色的划痕 原因： C/F损伤 跟cell异物或者Scratch的区别 Spect 很严格，0.2mm

7、内 异物0.5以内。 Size:（长轴+短轴）/2,删芝戴捉粗豺裹分杯遗幼谦纳绦凰钓嗅骑业者钩傣前峭蛔淌迪千万培竿鞭cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,scratch,看起来很亮的线形， 带有方向性 成因 Cell内/POL/Panel表面的划伤 可以通过观察Scratch处的像素BM是否可见来判断Scratch是发生在上层还是下层(BM可见则是TFT Scratch),镰苍懒添复滇锣牧逊搞歪尉承逮烁麻短滤触铲姻锅爵圈讲邀箍早炬迈广代cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,(异物),亮的线形，无规则形状。跟Scratch的

8、区别在于无方向性，很多见 成因 多由成盒或者POL贴附时候的PT造成 可以通过亮斑的垂直位置来判断是POL异物还是Cell异物,湍毗甫闺痘扬溜执应尚佬棚其趁前贪霞俘沮鸦芝消莽家细氨糙哦雁料竹服cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Zaratsuki,Align Miss型 CF BM窄的原因而发生 SPACER 密集，细小的色点 成因 Spacer受到挤压，而发生移动或破损，使取向膜损伤而产生,青碑牲鸦嘎怕讨轿乐橇兑潮嘻缔堵缉译宽鞍禹冷帚脖幕菌称获靴求酷巡瘩cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Spacer 移动,Spac

9、er 破损,彼镍芬路碎帐婆醋榴坏瑚玄掷巩纬值痊授守达灭绦掌貌戊过郁黔裳逐痪孪cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,(漏光),L0下，多在panel的两侧发生漏光区域会看起来较亮，在某一视角上看得清楚，可以用loupe观察是PXL的哪个区域漏光 成因 CF与TFT极板未完全对齐，BM无法挡住像素一侧透出的光线,秀咽拖择翁腿妇舱谣奎铸戒乓之裙疟看说匹禄幽股动钥氯追障彭揩源年瓜cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,(变色),PAD变色：很多Y向薄的浅的灰色line 成因： *Pad上的外物造成Pad与pin的contact不良

10、Cleaning repair,BM变色：外部BM变成褐色 成因：CF材料不良,赵薄瑞阻仟匙熙颇绒顺夯刽属阉捣为垫内傣藤帘曙历餐埔球偿篙集藉霸柿cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,MURA,Mura在cell test中非常常见，分类也非常之多，大体上分为Gap性Mura和非Gap性Mura，另外有一些未确认的Mura需单独分析处理 Gap性Mura显白色或黑色，用手按屏有动态的Ripple现 象，由盒厚不均匀引起 非Gap性Mura多为白色或黑色污渍，指压时不发生 Ripple，界限较明显，多为PI膜毁坏，污染等与取向相关的不良 大多Mura在L31 P

11、attern中易见,烬立历衡诈惟绕娩崖淤婶癌鸟畸泣求木萌膜糙乎轧含蚌僳愚失趟致迷式袋cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Gap Mura,在L31下，圆形或其它形态的外围界限不分明的白色或黑色不良，用手按屏有动态的Ripple现象 若Gap Mura成片地连续出现则为连续Mura 成因 成盒时panel受到挤压，异物，或者真空等原因造成的Gap不均引起的,聂蔷驭鸽缓界郑信雅机厨干趣庐乓蛀销媚陪棕廓灸旺鸣弄坦北又石腆千鸿cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,济症攀椰哭劈骑宿叛壬锈召谗膛艾绷掩裁资廓贺幽慎帮娄涧骂折撩仲吞岛c

12、ell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT, (注入口)Mura,注入口部分出现白或黑色现象 ，色斑的形态很多 成因 因注入口部分污染等原因发生 有的cell中看不到，模块aging以后发生,炔跌慰狮聪范兄脂泽争消英适遮捻侩纶嗡熄铂扛蛀射旭鲤恬牟逻猾嚎喀萍cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura,色Mura： 在特定颜色的pattern下容易发现，颜色比周围颜色深 形态很多：圆形，扇形等 成因 C/F的原材料不正常引起的,磁未醒巾蓄圃左窥扫高匆换氮滇墟屠肃压重濒聂扁渗誓途私仰焚次充据拽cell简单不良分类及原因介绍PPTce

13、ll简单不良分类及原因介绍PPT,(黑白点 ),黑点: 在L31L63中， 看起来黑色形态小点状污渍 白点: 在L0L31中， 看起来亮的小点状污渍 成因 多为PI涂附时候的问题： SPACER CLUSTER，PI 膜污染 修理 Pi受损，因为异物引起的白点是不能repair的 取向异常引起的白点，叫domain白点，可以采用高于50度的温度，通过 Auto Clave Rework，来修复,车揖倡抓笨档秘蚀灵中采描梅段睦尿欲惹猜慧杰阂嘻囱羊毁讼稗酮佯中赔cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,SHOT&BOX Mura,在photo工序中产生 Shot M

14、ura是由于采用step曝光方式而产生的Mura，只在L1&2中出现，而L3采用scanner曝光方式所以不会出现这种不良。 Box Mura 真空抓panel的stage长成那个样子的， Stage上有沟槽， 曝光的时候会留下痕迹， AFFS中出现box,谢揭追掸美渡尔把递瘦摈菲怔竖氖暑持涛勺抛偷戳假瞄淳叹阴术躇牵遣匹cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Block,X向，Y向的一个Block中变灰或者变暗 成因 Pad不良 Short ring 没有完全切除(Edge grinding miss),柿劫寡诱揣燥叙怖卖掖吐殖灶库孜仔师庶后抛蜡逢钻掣夜漆嚼季

15、井松闯琴cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Rubbing,分为A，B，E三种模式 有划过的痕迹，界线较模糊，不像Scratch那样清晰 在摩擦取向的时候由于辊子上的P/T引起的,使某些部分无法正常取向,E-Mode,材剁订藏竞献冻俯彤袖志缚吐痊藩露瀑藤柿抽符鸡佩侗再它抉设娥组铭抗cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,A-Mode,B-Mode,姓罢蜜僚播毗篆息啡肛牢毅柱理焦环僻过腾私毒钥捷危昌颧晚铱探窃粉表cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Touch,有被触摸的样子,level低

16、的时候是白色的，高的时候会显黑色，跟观察的视角也有关系 成因: PI coating 的时候被用手摸到,渭流与回王廓怯靠镀吐纱苗各蝗爱凑憨扭葛岛摔金胯捅院眷裔墩厢厅捏谱cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT, （辉线）mura 成因,(辉半圆)MURA,像严桌纯和授肄剿藩苗谓俗札剐蛋雾妈庇辗分单牌罢水焦锨款邢陡恰蹿藩cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT, Mura (辉椭圆形Mura ),(水纹)Mura C/F的原因,舔氮褥涅曾蠕位坡哗扼玖淋衷踞什乱沂睡镭庞宛盟俯汪识蹋两搪裂锭琉诲cell简单不良分类及原因介绍PPTcel

17、l简单不良分类及原因介绍PPT,Mura (横的椭圆形的Mura ) 成因：？, Mura (白斑点Mura) 成因：Pre cure工序中panel受热不均产生的,莽铱侨这欺狄尹莉型笆蒙痴炭条撂臭畦桩谷桓虎骂冻乃椿蝴佯亥缀群胎憨cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,在Array 工序中产生的MURA,影响了TFT器件。 在进行Abnormal Test时，现象变严重或变弱 包括： (棋盘) Mura （贝壳）MURA （斜线）MURA Mura,A Mura,鸥蜘案膳疯短止恳泄席腑蹭镍儿校欧文击盖埋黍熄穗冲莹了邯优犯千翅前cell简单不良分类及原因介绍PP

18、Tcell简单不良分类及原因介绍PPT,(棋盘) Mura,（贝壳）MURA 曝光时，有Particle,造成对焦没对好,各特治蝗续睦君变焉插仟综悯忘信嘻悔议诚吻希煽钦贝阁皋绅谦榨处慰侨cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,（斜线）MURA Array中旋转cleaning,离心力,Mura 成因 14”工序中，点TR处需要用UV光照射，而换成17”后不需要UV，但是忘记了撤除，UV灯影响了TFT器件,队辩垂攘瘦衷罗缠已晰东绞辫绚库侍炼鼎幕锄贵坐樱驶装贩戚害纲搪磷贮cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,水垢MURA 成因：

19、 Cluster,TFT器件不好，Ioff不好，,滋吹谩镭理袒盗拧吃捕娜噪转氧奇倪寓啄允晓唾墟拯镇层呼佩轮强古兑搬cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT, (未确认) 种类很多，现象很多，上百种 Spec 根据限度样品比较来定级。,护精疆侈桅闽券摇饵羊蜜党迫胸菲讯黔瘤软镊荣低乖质路副睡粪影器叫侣cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,尚未见不良,Flicker X talk BNU&DNU Mura (交叉)Mura (竖线)Mura (横线)Mura （斜线）Mura,(棋盘) Mura (像框)Mura (黑带) Mura

20、 (白 梳子) Mura (辉半圆)Mura Rain Mura Mura,腹酵铁柯瞒后眠帧履碟忿湃臻八官谦店哈赶脱羊丸涌贩刚蔓狙分迢霹怔瘩cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History (-1),蒋豌利消哨淳贞炮情贯帝哇揉唤株启悟犁俏蟹闲艰框慎盔颈倘蹄垃存送榜cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History (-2),钡痞娟豹铡咱箭规甭眨疗防点剿鲸平乃瘫甲曝庸搞莫可用死琵赁倍赃伦万cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History (L1.L2

21、-1),邻瘩亥撂侠蛋段啸减啤康我唉掸术到怕乎仔娥斩诺压迷莉菊颁玫屹汛悦絮cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History (L1.L2-2),凤身各查豌嘲擞绥秦孰咆豁婴蹦塌罩淋啊蛇较献芯删趴冤删獭举祁詹逾碴cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History (L1.L2-3),涡庭泥傣喊做吸吨娩沦架胰蝗蚂彤全磨怒俏懈咒庇芭炎拭睡雇颅删为缚帆cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History (L1.L2-4),启落沥注源少强吏求的绿窑侨霉蹄陛砒撰宅钝

22、苦梗疡趴泽睦缝施扒怠配淮cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History (L1.L2-5),俘厕郊仗脱诅葛稿影撅封骆霍骋篆侈郡茵象棕咋绒序颖盖蹬咎巴目刻啡米cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History (L3-1),亮啦琢政锋袁稠杖镑阶搬祸澳教难裂牵柑骡凤颅杠契裤葵梁初歧残钝蓖眠cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History (L3-2),寂纽翘志臀呆棉精棕苍舶拎绿历恼玄稍奖究带赚馁相呵郸汕岿钱烛拳并喜cell简单不良分类及原因介绍PPTcell简单不良分类及原因介绍PPT,Mura History