JJC清洗设备基本原理.ppt

1、JJC清洗设备基本原理,晶硅电池设备设备 2012年11月,制绒的目的,去除硅片表面机械损伤层（5-7微米） （晶格畸变、位错等对光生载流子形成很强的复合，影响转换效率） ； 清除表面油污、杂质颗粒及金属杂质； 形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加硅对太阳光的吸收，减少光的反射，增加PN结面积，提高短路电流(Isc)，最终提高电池的光电转换效率。,制绒的原理,单晶制绒：利用硅在低浓度碱液( 0.8wt%-2wt% )中的各向异性腐蚀，经一定时间腐蚀后，在(100)单晶硅片表面留下四个由(111)面组成的金字塔。Si+2OH-+4H2O Si(OH)62-+2H2 多晶制绒：硅片在缺陷或损伤区

2、的腐蚀速率更快，形成局部凹坑； HNO3+Si SiO2+NOx+H2O SiO2+6HF= H2SiF6+2H2O,制绒效果,设备概要,捷佳创清洗是对原硅片进行扩散前的清洗，完成制绒过程的设备。是一个由移载机械手运输，经去制绒、清洗、干燥等部分组成一条自动连续工作的清洗装置。,制绒,清洗,干燥,结构组成,本设备主要由槽式清洗主体、移载机械手、电控柜及触摸屏等部分组成。,主体,电控柜,触摸屏,结构组成（上料台）,上料电机开启后,当上料台传感器感应到有花篮,电机设定的运行时间到，电机停止工作。,结构组成（1#槽）,1#槽循环泵对槽体内液体进行自循环。 现有工艺是在1#槽进行一个预清洗的过程。,结

3、构组成（2#，7#和13#槽）,2#,7#,13#槽是漂洗槽，使用的是下快排阀，排液迅速。,结构组成（3#-6#单晶制绒槽）,用于单晶制绒工艺，槽体材质PP，喷氟的黑色槽盖和加热器保证槽体温度稳定，自动循环系统。,结构组成（8#，9#以及多晶副槽）,槽体使用PVDF材料构成，具有更强的耐化学性。 溶液配在冷封槽中,通过循环泵泵到多晶槽中。冷封槽中连着毛细水管,起到冷却溶液的作用。,结构组成（冷冻机管路）,恒标冷冻机主要由压缩机，冷凝器，蒸发器，水箱以及循环泵等主要部件构成。 冷冻机通过压缩机进行冷却，由循环泵泵到副槽，通过毛细管跟药液进行热交换。,结构组成（14槽）,14#槽是喷淋槽，喷淋水要

4、确保干净,否则会把硅片打碎,喷淋后的水流到13#槽副槽,通过循环泵给13#槽补水。,结构组成（ 15槽）,慢提拉槽中的热水由自己的副槽提供，通过循环泵泵到槽体中。另外，由变频器控制慢提机械手升降。,结构组成（烘干箱）,烘箱通过12根石英加热管加热,每根70W，由风机实现热循环，风干硅片。,结构组成（加热）,捷佳创清洗设备的加热系统，都是由断路器，熔断器，固态继电器和加热器组成。机台内部单独的加热系统都是设定的9KW的加热功率。,结构组成（机械手）,两台伺服电机分别控制机械手的前后移动和升降,汽缸控制机械手的进、退钩. 三个机械手负责的槽位分别是1#-7#，7#-13#，13#-15#。新机型稍

5、有区别，是1#-5#，5#-9#，9#-15#。,结构组成（触摸屏）,E-VIEW 10.4英寸触摸屏,自动/手动旋钮,停止,复位,急停开关,结构组成（触摸屏）,结构组成（变频器）,型号为（G110 6SL3211-0AB13-7UA1，西门子）的变频器控制,结构组成（变频器）,变频器报警代号与含义,结构组成（伺服驱动器),型号为（MCDDT3520-003，松下）的驱动器控制。,结构组成(伺服驱动器）,驱动器报警代号和含义,典型故障判断与处理方法,一整机不能启动，无法运行 a.首先检查机械手是否回到原点位，如没在原点位，先进行回原点，直至原点“OK” 字母闪烁;,回原点,实时报警画面,b.检

6、查报警信息画面,看是否有报警触发事项,如报警画面显示下列内容，则按下列事项一一排除,典型故障判断与处理方法,1.显示电机过载 排除方法:首先检查马达有无卡死的现象，有刹车的电机检查刹车是否动作。而电机自身卡死，检查负载与电机轴承进行更换与调整，直至运转灵活为止；如果不是这方面的问题，则需检查电机三相电阻值是否平衡，如不平衡，则有断路现象,找出断的线路 。,典型故障判断与处理方法,2.显示急停未复位 排除方法：逐个检查每个急停开关是否压下未旋出，让每个都弹出,而此时还未解除则检查每个急停开关之间的连线有否断路现象, 使其修复,直至报警解除。,急停开关,典型故障判断与处理方法,3.显示伺复马达报警

7、 排除方法：打开电柜检查对应报警伺复马达的驱动器,检查驱动器报警代号码, 对应代号码显示故障项目,进行排除。 4.显示变频器报警 排除方法: 排除步骤与上项一样,检查对应报警码进行排除。,典型故障判断与处理方法,二.自动槽盖无法打开与关闭 a.首先检查气压是否为45Mpa;如气压正常，旋转气缸动作而自动槽盖没有动作，检查连接轴健是否损坏或脱落;如电磁阀动作，气缸得气而未动作，检查自动槽盖有否卡死变形，气缸有否损坏。 b.如电磁阀没有动作，看有否电压到电磁阀线圈，如有则电磁阀损坏;如没有电压，检查PLC有否输出，如有输出检查相应线路，如PLC没有输出，看是否气缸磁感应开关未感应到位。,典型故障判

8、断与处理方法,三机械手自动过程中停机 自动中出现停机现象与机械手越位或提篮与放篮超时有关系：通常来讲，出现越位与超时现象的发生是与机械手在运行中槽定位或减速感应开关未感应造成的,调整或更换接近开关,发现腐蚀严重的挡片也予以更换.机械手横移过慢受阻，也会造成超时，检查机械手横移与上下灵活度； 另外，提篮与放篮超时的问题基本上除了与槽位感应有关之外，磁性开关检测异常也会引发这类问题。,典型故障判断与处理方法,四加热器不加热或升温很慢 a.首先检查PLC对应的输出点有否输出，如PLC输出点没有输出，检查设置温度是否正确; 检查温控模块的热电偶是否正常,电压是否为5mv30mv; 检查对应加热的槽水位

9、和水位仪是否正常; 都正常则稳控模块损坏，温控模块的24V的电源指示灯应常亮，A/D转换指示灯应闪烁为模块正常状态.,典型故障判断与处理方法,b.如PLC有输出，而发热管上无电压，检查电箱里漏电开关有无跳制，如跳制，检查发热管有否短路与接地现象，正常为大于5兆欧以上，否则为接地，检查短路现象相与相之间的阻值应不能为零，否则为短路现象，检查其线路与已损坏的发热管；如漏电开关没有跳制，检查接触器或固态继电器是否损坏。,典型故障判断与处理方法,c.如发热管上有正常电压，而发热管未加热或加热速度慢，断开电源，用万用表量其三相阻值，如阻值不平衡或有断相的现象，即为发热管已损坏。,典型故障判断与处理方法,5触摸屏有时显示黑屏或白屏 触摸屏显示黑屏或白屏是直流电源不稳定造成的，检查开关电源是否工作正常，直流24V电源有否短路现象，24V用电器（电磁阀）是否有短路的现象，或线路有否破损的现象，造成24V电源有短路现象.,典型故障判断与处理方法,6机械手在运行中经常出现掉篮摔篮 a.机械手在槽中定位传感器是否准确; b.机械手勾子有否松动现象、进退勾气缸位置有否到位(调整磁性开关感应位置); c.检查篮子有否变形，或者上料时是否正常上料。,典型故障判断与处理方法,