（流体机械及工程专业论文）基于磁控溅射方法制备二氧化钛薄膜角度其亲水特性研究.pdf

j习i ， ad i s s e r t a t i o ni nf l u i dm a c h i n e r ya n d e n g i n e e r i n g f a b r i c a t i o na n d h y d r o p h i l i t yr e s e a r c ho f t i t a n i u md i o x i d ef i l m s b ym a g n e t r o n s p u t t e r i n g b yc h a n gx u e s e n s u p e r v i s o r ：p r o f e s s o rb ad e c h u n a c a d e m i c i a nw e nl i s h i n o r t h e a s t e r nu n i v e r s i t y j u n e 2 0 0 7 1 。一 jj i 产 - ， ， 独创性声明 本人声明，所呈交的学位论文是在导师的指导下完成的。论文中 取得的研究成果除加以标注和致谢的地方外，不包含其他人己经发表 或撰写过的研究成果，也不包括本人为获得其他学位而使用过的材 料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了 明确的说明并表示谢意。 学位论文作者签名：幸差鑫 日 期： 学位论文版权使用授权书 2 砌7 3 本学位论文作者和指导教师完全了解东北大学有关保留、使用学 位论文的规定：即学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的 复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人同意东北大学可以将学 位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索、交流。 ( 如作者和导师不同意网上交流，请在下方签名；否则视为同意。) 学位论文作者签名： 签字日期： 导师签名： 签字日期： _ i ， 歹 东北大学博士学位论文 摘要 基于磁控溅射方法制备二氧化钛薄膜及其亲水特性研究 摘要 本文应用磁控溅射设备制备t i 0 2 亲水性薄膜，并通过日立( h i t a c h i ) u 2 8 0 0 紫外可见分光光度计、x 射线衍射分析仪( x 】m ) 、原子力显微镜( a f m ) 、 a l p h a s t e p 5 0 0 型台阶仪等仪器对薄膜进行表征，分析总气压、氧分压、基片 温度等制备工艺参数对薄膜性能结构的影响。采用了有限元方法对磁控靶的磁场 分布进行仿真，获得了磁控靶的表面磁场规律，对磁控靶的结构参数作了修改， 对其缺点和优点做了总结，对靶的设计进行改进和优化，对t i 0 2 薄膜制备过程 中磁控靶磁场参数对成膜的影响进行了分析。同时讨论t i 0 2 表面能对t i 0 2 薄膜 亲水性的影响机制。 论文讨论了薄膜成长过程气压对成膜的影响。随着总气压的增加靶的溅射速 率降低，t i 0 2 的晶体均为锐钛矿相结构，薄膜的表面的粗糙度由粗糙变得细密。 随着总气压的增加，薄膜的晶体结构也有一定的变化，薄膜的透射低谷在向长波 方向处移动。随着总气压的增加，接触角逐渐变小，当达到2 5 p a 左右时接触角 接近最小，亲水性最佳，当总气压继续增加，薄膜的亲水性逐渐变差。 随着氧流量的增加t i 0 2 薄膜增强了对较长波段光的吸收；随着氧流量的增 加沉积速率随之下降；氧流量为4 0 s e e m 时薄膜既有锐钛矿相，也有金红石相； 氧流量为4 0 s e e m 时薄膜表面较致密平滑；氧流量的变化对薄膜的晶相形态的影 响是很小的，柱状晶的结构虽有部分扭曲，但总体上没有基本变化；随着氧流量 的增加，薄膜亲水性发生变化，薄膜的亲水角略有降低，当氧气在达到一定流量 后，亲水角的大小就无明显的变化了，表明亲水性将不再变化。 在成膜过程中，随着温度的增高t i 0 2 沉积速率增加。在a c ( 中频) 反应磁 控溅射制备t i 0 2 薄膜的过程中高温相与低温相的生长并不与温度成正比关系， 在低温环境下同样能够生长出金红石相。随温度的增高，薄膜结晶的倾向增大， 形成的晶粒也逐渐增大。合理的基底温度在总体上有利于薄膜亲水。温度对t i 0 2 薄膜样品的光吸收影响较小。 i i ， z ， - - ；，r l k卜卜i 东北大学博士学位论文摘要 随着镀膜时间的增加，可见光的吸收变化很小。定条件下随着镀膜时间的 增加，薄膜的亲水性有大幅度的增强。在镀膜时间较短的条件下，薄膜内的无定 形t i 0 2 没有转变为锐钛矿相或金红石相的晶体。随镀膜时间增加，厚度不断增 加，t i 0 2 薄膜出现了锐钛矿相，随着厚度的进一部增加，锐钛矿相衍射峰增强， 并且出现了金红石相的晶体。随着时间的增加，薄膜表面的突起逐渐明显，最终 形成巨大的突起，使薄膜的比表面积增加。随着镀膜时间的增加，薄膜的柱状晶 体明显长粗、长大，尤其是柱状体晶端尤为明显。 应用有限元方法对磁控靶的磁场分布进行仿真，获得了磁控靶的表面磁场规 律，计算结果表明磁场的分布有部分是不均匀的，这可以在迟滞回归线的实验中 得到验证。这样的磁场分布使靶工作时的等离子区域辉光放电不平衡，使成膜粒 子在基片上形成薄膜时出现特性的改变，从而达不到预想的效果。这样的磁控靶 参数对实际成膜的影响是不可忽略的，在成膜过程各个阶段都有体现。为此，对 磁控靶的结构参数作了修改后从新进行了一系列的模拟，对其缺点和优点做了总 结，对靶的设计进行改进和优化。并且对改进后的磁控靶磁场参数做了校核，对 t i 0 2 薄膜制备过程中磁控靶磁场参数对成膜的影响进行了分析。 基于固体表面能的概念和不同类型晶体的表面能计算方法。论文详细分析了 y g g f 理论，酸碱作用理论。通过所得到的接触角，运用表面能理论，结合能带 理论，对二氧化钛的表面能进行计算分析，并且对粗糙度影响表面能的原因作了 理论分析，运用表面能理论对二氧化钛薄膜的亲水特性做了总结，这一研究对亲 水性研究具有重要的理论意义。 实验表明，中频反应溅射是一种制备t i 0 2 薄膜比较好的方法。采用反应溅 射技术可以制备具有亲水性的t i 0 2 薄膜。这种t i 0 2 薄膜经紫外光辐照后，可以 降低水和t i 0 2 薄膜表面之间的接触角。实验分析表明，不但薄膜制备工艺对亲 水性薄膜的制备有着决定性的影响，而且制备设备尤其是磁控靶的磁场参数也对 亲水性薄膜的制备有着非常重要的影响。 本文在实验的基础上对t i 0 2 薄膜的制备工艺、制备用磁控靶磁场参数和光 致亲水性进行了深入的探索、分析和研究。为光致亲水性t i 0 2 薄膜的制备技术 改进探索出了一些方法和规律，对今后薄膜亲水性的进一步研究具有重要的参考 价值。 关键词：磁控溅射；制备；亲水性；二氧化钛薄膜 _ ，、。 7 r f a b r i c a t i o na n d h y d r o p h i l i t y r e s e a r c ho f t i t a n i u md i o x i d ef i l m sb ym a g n e t r o n s p u t t e r i n g m e t h o d a bs t r a c t t h i sr e s e a r c hu s em a g n e t r o ns p u t t e d n gt op r e p a r eh y d r o p h i l i at i 0 2t h i nf i l m ， a n du s eh i t a c h iu 2 8 0 0u l t r a v i o l e tv i s i b l el i g h ts p l i t t i n gp h o t o m e t e r 、xr a y d i f f r a c t i o na n a l y z e r 、a t o mf o r c em i c r o s c o p e 、a l p h a - s t e p 5 0 0a n ds t e p p e d i n s t r u m e n tc h a r a c t e r i z et oa n a l y z ep r e p a r i n gt e c h n o l o g i c a lp a r a m e t e r ，a st o t a l a i r p r e s s u r e 、o x y g e np r e s s u r ea n dw o r k i n gt e m p e r a t u r e t h i sp r o c e s s i n gp a r a m e t e r s e f f e c t o nt h i nf i l m sp e r f o r m a n c ea n ds t r u c t u r e u s i n gf m i t ee l e m e n tm e t h o d ，e m u l a t i n g m a g n e t i cf i e l dd i s t r i b u t i o no fm a g n e t r o nt a r g e tm a g n e t i cf i e l dd i s t r i b u t i o nr e g u l a r p a t t e r no fm a g n e t r o nt a r g e ti sg a i n e d i tm o d i f i e ss t r u c t u r a lp a r a m e t e ro fm a g n e t r o n s p u t t e rt a r g e t ，g e n e r a l sm e r i t sa n dd e m e r i t so fm a g n e t r o ns p u t t e rt a r g e t ，o p t i m i z e sa n d m o d i f i e sd e s i g no ft a r g e ta n da n a l y s i sm a g n e t r o ns p u t t e rt a r g e tm a g n e t i cp a r a m e t e r e f f e c t i n go nf i l mf o r m i n gd u r i n gt h ep r o c e s s i n go ft i 0 2t h i nf i l m a tt h es a m et i m e i t d i s c u s s e st i 0 2s u r f a c ee n e r g yi n f l u e n c i n gm e c h a n i c so nt i 0 2t h i nf i l m sh y d r o p h i l i a t h i sp a p e rd i s c u s s e st h ei n f l u e n c eo fa i rp r e s s u r ed u r i n gt i 0 2t h i nf i l mg r o w i n g w i t ht o t a la i rp r e s s u r ei n c r e a s i n ga n dt a r g e ts p u t t e r i n gs p e e dd e c r e a s i n g ，t h es t r u c t u r e o ft i 0 2f i l m sc r y s t a li sa n a t a s ep h a s e ，a n dt h es u r f a c er o u g h n e s so ft i 0 2t h i nf i l m c h a n g e sf r o mc o a r s et om i n u t e w i t ht o t a la i rp r e s s u r ei n c r e a s i n g ，t h es t r u c t u r eo f t h i n f i l m sc r y s t a la l s og e t ss o m ec h a n g e s t h i nf i l m st r a n s m i s s i o nl o wv a l l e ys h i f tt ot h e d i r e c t i o no fl o n gw a v e w i t ht o t a la i rp r e s s u r ei n c r e a s i n g ，t h ec o n t a c ta n g l eg e t s s m a l l e ra n ds m a l l e r w h e nt h ea i rp r e s s u r er e a c h e sa b o u t2 5p a , t h ec o n t a c ta n g l e g e t sc l o s et om i n i m u mv a l u e ，a n dg e t st h eb e s th y d r o p h i l i c i t y a st h e t o t a la i rp r e s s u r e c o n t i n u e si n c r e a s i n g ，t h ec o n t a c ta n g l eg r a d u a l l yg r o w sw o r s e t h i sp a p e ro p e n so u tt h a tt i 0 2t h i nf i l ma b s o r b sm o r el o n g e rw a v el e n g t ha s o x y g e nf l u xg r o w s ；t h ed e p o s i t i o nr a t ed e c r e a s e sa so x y g e nf l u xg r o w s ；w h e nt h e 东北大学博士学位论文a b s t r a c t o x y g e nf l u xi s4 0 s c c m ，t h et h i nf i l mh a sb o t ha n a t a s ep h a s ea n dr u f f l ep h a s e ；w h e n t h eo x y g e nf l u xi s4 0 s c c m ，t h es u r f a c eo ft h i nf i l mi sc o m p a c ta n d s m o o t h ；t h ec h a n g e o fo x y g e nf l u xh a sl i t t l ei n f l u e n c eo nt h i nf i l m s c r y s t a lm o r p h o l o g y t h o u g h c o l u m n a rc r y s t a l ss t r u c t u r ew a r p sal i t t l e ，t h e r ei s n tb a s i cc h a n g ea saw h o l e ；w i t h t h eo x y g e nf l u xc h a n g i n g ，t h eh y d r o p h i l i ao ft h i nf i l mc h a n g e s i t sh y d r o p h i l i ca n g l e l o w e r sal i t t l e w h e nt h eo x y g e nf l u xg r o w st os o m ep o i n t ，t h eh y d r o p h i l i ch a sn o o b v i o u sc h a n g e sw h i c hm e a n sh y d r o p h i l i ac h a n g e sn om o r e t i 0 2d e p o s i t i o nr a t ei n c r e a s e sw h i l et e m p e r a t u r er a i s i n gd u r i n gf i l mf o r m i n g h i g ht e m p e r a t u r ep h a s e sa n dl o wt e m p e r a t u r ep h a s e sg r o w i n gd o n th a v ed i r e c t r a t i ot ot e m p e r a t u r ed u r i n ga c ( m e d i a nf r e q u e n c y ) m a g n e t r o ns p u t t e r i n gp r e p a r i n g t i 0 2t h i nf i l m a tal o wt e m p e r a t u r ee n v i r o n m e n t ，w ec a na l s og e tr u t i l ep h a s e w i t h t e m p e r a t u r er a i s i n g ，t h i nf i l mt e n d st oc r y s t a l l i z ea n dt h eg r a i ng r o w sb i g g e rg r a d u a l l y r e a s o n a b l eb a s et e m p e r a t u r ei s g o o d f o rt h i nf i l m h y d r o p h i l i ca saw h o l e t e m p e r a t u r eh a sl i t t l ei n f l u e n c eo nt i 0 2t h i nf i l ms a m p l e sl i g h ta b s o r b i n g w i t hd e p o s i t i n gt i m eg o i n g ，l i g h t a b s o r b i n gc h a n g e sl i t t l ea n dt h i nf i l m s h y d r o p h i l i ag r o w sm u c hb i g g e ro nt h ec o n d i t i o n a m o r p h o u st i 0 2i nt h et h i nf i l m h a s n tc h a n g e di n t oa n a t a s ep h a s eo rr u t i l ep h a s ew h i l ed e p o s i t i n gf o ras h o r tt i m e w i t hd e p o s i t i n gg o i n g ，t h i c k n e s sg r o w sd e e p e ra n dd e e p e r a n a t a s ep h a s ea p p e a r si n t h et i 0 2f i l m t h e nd i f f r a c t i o np e a kg e ti n t e n s i f i e da st h i c k n e s sg e t sd e e p e r ，a n dr u f f l e p h a s e sc r y s t a la p p e a r s w i t ht i m eg o i n g ，b l o w - u po nt h es u r f a c eb e c o m e sm o r e o b v i o u s ，a n df i n a l l yb e c o m e sg i a n tw h i c hi n c r e a s e st h es u r f a c ea r e a w i t hc o a t i n g t i m eg o i n g ，t h i nf i l m sc o l u m n a rc r y s t a l o b v i o u s l yb e c o m e st h i c k e ra n dl o n g e r ， e s p e c i a l l yc o l u m n a rc r y s t a le n d u s i n gf i n i t ee l e m e n tm e t h o d ，e m u l a t i n gm a g n e t i cf i e l dd i s t r i b u t i o no fm a g n e t r o n t a r g e tm a g n e t i cf i e l dd i s t r i b u t i o nr e g u l a rp a t t e r no fm a g n e t r o nt a r g e ti sg a i n e d c a l c u l a t i o nr e s u l ti n d i c a t e st h a t p a r t i a l a r e ao fm a g n e t i cf i e l dd i s t r i b u t i o ni s n o n 。u n i f o r ma n di tc o u l db ec e r t i f i e db ye x p e r i m e n to f r e t a r d i n gr e g r e s s i o nl i n e t h i s k i n do fm a g n e t i cf i e l dd i s t r i b u t i o nm a k e st h eg l o wd i s c h a r g eu n b a l a n c e di nt h e p l a s m af i e l dd u r i n gt h ew o r k i n go ft a r g e t t h ep h r a g m o s o m ec h a r a c t e rs h i f t sw h e nt h e t h i nf i l mf o r m so nt h es u b s t r a t ea n dt h ee x p e c t e dr e s u l td i s a p p e a r a n c e s i tm o d i f i e s v r 、 - 、 y 卜 1 东北大学博士学位论文a b s t r a c t s t r u c t u r a lp a r a m e t e ro fm a g n e t r o ns p u t t e rt a r g e ta n dd o e ss e r i e so fn e we m u l a t i n g ， g e n e r a l sm e r i t sa n dd e m e r i t so fm a g n e t r o ns p u t t e rt a r g e t ，o p t i m i z e sa n dm o d i f i e s d e s i g no ft a r g e t ，c h e c k sm o d i f i e dm a g n e t r o nt a r g e tm a g n e t i cf i e l dd i s t r i b u t i o nr e g u l a r p a t t e r na n da n a l y s i sm a g n e t r o ns p u t t e rt a r g e tm a g n e t i cp a r a m e t e re f f e c t i n go nf i l m f o r m i n gd u r i n gt h ep r o c e s s i n go ft i 0 2t h i nf i l m t h i ss t u d yb a s e do nt h ec o n c e p to fs o l i ds u r f a c ee n e r g ya n dd i f f e r e n tt y p e so f c r y s t a l s s u r f a c ee n e r g yc a l c u l a t i n gm e t h o d t h ep a p e ra n a l y z e sy g g et h e o r y ， a c i d - b a s ea c t i o nt h e o r yi n d e t a i l u s i n gt h ec o n t a c ta n g l ew h i c hh a sb e e ng o t ，i t a p p l i e ss u r f a c ee n e r g yt h e o r yf o rt h ef i r s tt i m et oc a l c u l a t ea n da n a l y z et i 0 2s u r f a c e e n e r g y a n di tt h e o r e t i c a l l ya n a l y z e st h er e a s o no fr o u g h n e s si n f l u e n c i n go ns u r f a c e e n e r g y i ta l s ou s e ss u r f a c ee n e r g yt h e o r yt og e n e r a l i z et i 0 2t h i nf i l m sh y d r o p h i l i a w h i c h w a sv e r yi m p o r t a n tf o rh y d r o p h i l i a t h i se x p e r i m e n ti n d i c a t e st h a tm e d i a n 行e q u e n c yr e a c t i n gs p u t t e ri sag o o d m e t h o dt op r e p a r et i 0 2t h i nf i l m h y d r o p h i l et i 0 2t h i nf i l mc a nb ep r e p a r e db y a p p l y i n gr e a c t i n gs p u t t e r t h i sk i n do ft i 0 2t h i nf i l mc a nr e d u c et h ec o n t a c ta n g l e b e t w e e nw a t e ra n dt i 0 2t h i nf i l ma f t e ru l t r a v i o l e tl i g h t s h i n i n g u n d e rs o m e c o n d i t i o n s ，t h i nf i l mt e c h n o l o g yh a sd e c i d i n ge f f e c to nt h i nf i l m sh y d r o p h i l i a t h e a n a l y s i so ne x p e r i m e n ts h o w st h a tt i 0 2t h i nf i l m sh y d r o p h i l i ai sn o to n l yr e l a t e dt o s u r f a c ep a t t e ma n di n n e re n e r g yb a n d ，b u ta l s or e l a t e dt ot i 0 2t h i nf i l m sc r y s t a lg r a i n s t r u c t u r e e x p e r i m e n t a la n a l y s i s i n d i c a t e st h a tn o t o n l yt h i nf i l m sp r e p a r a t i o n p r o c e s s i n gp a r a m e t e ri n f l u e n c e so nh y d r o p h i l i at h i nf i l m sp r e p a r a t i o nc r i t i c a l l y ，b u t a l s op r e p a r a t i o ne q u i p m e n ta n ds p e c i a lm a g n e t i cp a r a m e t e ro fp r e p a r a t i o nm a g n e t r o n s p u t t e rt a r g ee f f e c to nh y d r o p h i l i at h i nf i l m sp r e p a r a t i o ns i g n i f i c a n t l y t h i sp a p e re x p l o r e s d e e p l yi n t ot i 0 2t h i n f i l m s p r e p a r a t i o np r o c e s s i n g p a r a m e t e r o n ，m a g n e t i cp a r a m e t e ro fp r e p a r a t i o nm a g n e t r o ns p u t t e rt a r g e ta n dt i 0 2 t h i nf i l m sh y d r o p h i l i ao nt h eb a s i so fe x p e r i m e n t i tg e t ss o m em e t h o d sa n dl a w so n t i 0 2t h i nf i l m sh y d r o p h i l i as t u d yw h i c hh a si m p o r t a n tr e f e r e n c ev a l u ef o rt h i nf i l m s h y d r o p h i l i a f u r t h e rs t u d y k e yw o r d s ：m a g n e t r o ns p u t t e r i n g ；f a b r i c a t i o n ；h y d r o p h i l i t y ；t i 0 2f i l m v i r 夏 攀，r 一 东北大学博士学位论文目录 目录 独创性声明i 摘要i i a b s t r a c t i v 目录v i i 第l 章绪论1 1 1 二氧化钛功能薄膜研究进展1 1 1 1 前言1 1 1 2 二氧化钛薄膜的基本结构1 1 1 3 光催化特性2 1 1 4 亲水性特性3 1 1 5 二氧化钛的气敏和湿敏特性的应用5 1 2 二氧化钛超亲水性国内外研究概况6 1 2 1 国内外研究概况6 1 2 2 二氧化钛薄膜亲水性存在的问题6 1 2 3 提高亲水能力的研究7 1 3 亲水防雾薄膜的应用8 1 3 1 易清洁薄膜8 1 3 - 2 亲水防雾涂层8 1 3 3 医疗卫生9 1 3 4 污水处理9 1 4t i 0 2 薄膜的制备9 1 4 1 溶胶凝胶法9 1 4 2 化学气相沉积( c v d ) 法1 0 1 4 3 液相沉积法1 0 1 4 4 脉冲激光沉积( p l d ) 法。10 1 4 5 溅射法1o v i i 东北大学博士学位论文 目录 1 5 本文研究的意义目的及内容l l 第2 章t i 0 2 薄膜表面的亲水性和表面能1 3 2 1 材料表面的浸润1 3 2 1 1 浸润的定义1 3 2 1 2 浸润和不浸润现象的微观解释1 4 2 1 3 接触角( 浸润角) 的定义1 4 2 1 4 接触角0 的测定16 2 1 5 实际表面上接触角测量注意的问题1 6 2 2 固体表面的表面能1 7 2 2 1 固体表面能的概念1 7 2 2 2 固体表面接触角与自由能的关系1 8 2 2 2 1 沾湿浸润18 2 2 2 2 浸没浸润18 2 2 2 3 铺展浸润18 2 2 2 4 接触角与固体表面能的关系1 8 2 3t i 0 2 薄膜的能带1 9 2 3 1 固体能带理论1 9 2 3 2z i 0 2 半导体薄膜的能带作用特点2 0 2 4t i 0 2 纳米薄膜的亲水特性2 0 2 4 1t i 0 2 纳米薄膜表面亲水特性的可变性2 0 2 4 2 表面的超亲水性原理2 1 2 4 3t i 0 2 薄膜表面的浸润过程中表面能的变化2 3 2 4 4z i 0 2 表面的亲水性与t i 0 2 能带结构2 4 第3 章t i 0 2 纳米薄n f l , 0 n 备和表征2 5 3 1t i 0 2 纳米薄膜制备的设备2 5 3 1 1t i 0 2 纳米薄膜的制备设备的介绍2 5 3 1 2 高真空多功能磁控与离子束联合溅射镀膜设备的简介2 5 3 1 3 中频磁控及多弧镀多功能镀膜机的简介2 6 3 1 4 溅射原理2 7 v i i i 东北大学博士学位论文 目录 3 1 5 实验设备的性能2 8 3 2t i 0 2 纳米薄膜的制备2 8 3 2 1 基片的清洗2 8 3 2 2t i 0 2 纳米薄膜的制备的方法2 9 3 3 总气压对t i 0 2 薄膜性能的影响2 9 3 3 1 实验条件2 9 3 3 2 总气压与t i 0 2 薄膜厚度检测结果的关系3 0 3 3 3 总气压与t i 0 2 薄膜分光计检测结果的关系3 1 3 3 4 总气压与t i 0 2 薄膜断面形貌的关系3 3 3 3 5 总气压与样品接触角测量结果的关系3 4 3 3 6 总气压与t i 0 2 薄膜x r d 检测结果的关系3 6 3 3 7 总气压与t i 0 2 薄膜表面形貌的关系3 9 3 4 氧流量对t i 0 2 薄膜性能的影响4 1 3 4 1 实验条件4 1 3 4 2 氧流量与t i 0 2 薄膜分光计检测结果的关系4 2 3 4 3 氧流量与t i 0 2 薄膜厚度检测结果的关系4 3 3 4 4 氧流量与t i 0 2 薄膜x r d 测量结果的关系4 4 3 4 5 氧流量与t i 0 2 薄膜表面形貌的关系4 5 3 4 6 氧流量与t i 0 2 薄膜断面形貌的关系4 6 3 4 7 氧流量与t i 0 2 薄膜接触角测量结果的关系4 6 3 5 温度对t i 0 2 薄膜性能的影响4 7 3 5 1 实验条件4 7 3 5 2 温度与t i 0 2 薄膜厚度检测结果的关系4 8 3 5 3 温度与t i 0 2 薄膜x r d 检测结果的关系4 9 3 5 4 温度与t i 0 2 薄膜表面形貌的关系5 1 3 5 5 温度与t i 0 2 薄膜断面形貌的关系5 2 3 5 6 温度与t i 0 2 薄膜接触角测量结果的关系5 3 3 5 7 温度与t i 0 2 薄膜分光计检测结果的关系5 4 3 6 厚度对t i 0 2 薄膜性能的影响5 5 i x - 东北大学博士学位论文 目录 3 6 1 实验条件5 5 3 6 2 薄膜厚