标准解读

《GB/T 44558-2024 Ⅲ族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法》是一项国家标准，旨在规范使用透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, TEM）技术对Ⅲ族氮化物半导体材料中的位错进行成像的方法。该标准适用于以氮化镓（GaN）、氮化铝（AlN）、氮化铟（InN）及其合金为代表的Ⅲ族氮化物半导体材料，通过TEM技术来观察和分析这些材料内部存在的位错缺陷。

在具体内容上，标准首先定义了相关术语与定义，包括但不限于位错、位错密度等关键概念，为后续内容的理解奠定了基础。接着，介绍了试验原理，即利用高能电子束穿透样品后形成的衍射图样或明场/暗场图像来识别并定位位错。此外，还详细规定了试样的制备方法，强调了合适的厚度对于获得清晰位错图像的重要性，并给出了推荐的制备流程和技术参数。

针对实验操作部分，本标准提供了详细的步骤指导，涵盖了从仪器设置到数据采集的全过程，确保不同实验室之间能够得到一致且可重复的结果。同时，也指出了可能影响测量精度的因素及相应的控制措施，如加速电压的选择、探测器类型的影响等。

最后，标准还包括了结果表达与报告编写的要求，明确了如何记录实验条件、处理原始数据以及呈现最终分析结论的方式，以便于科研人员之间的交流与分享。通过遵循此标准所设定的指南，研究者们可以更加准确地评估Ⅲ族氮化物半导体材料的质量特性，进而促进新材料的研发及应用。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2024-09-29 颁布
  • 2025-04-01 实施
©正版授权
GB/T 44558-2024Ⅲ族氮化物半导体材料中位错成像的测试透射电子显微镜法_第1页
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文档简介

ICS77040

CCSH.21

中华人民共和国国家标准

GB/T44558—2024

Ⅲ族氮化物半导体材料中位错成像的测试

透射电子显微镜法

TestmethodfordislocationimaginginⅢ-nitridesemiconductormaterials—

Transmissionelectronmicroscopy

2024-09-29发布2025-04-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T44558—2024

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所苏州纳维科技有限公司江苏第三

:、、

代半导体研究院有限公司苏州科技大学北京大学国家纳米科学中心北京大学东莞光电研究院

、、、、、

东莞市中镓半导体科技有限公司环鑫半导体天津有限公司苏州大学山东浪潮华光光电子股

、TCL()、、

份有限公司北京国基科航第三代半导体检测技术有限公司

、。

本文件主要起草人曾雄辉董晓鸣苏旭军牛牧童王建峰徐科王晓丹徐军郭延军陈家凡

:、、、、、、、、、、

王新强颜建锋敖松泉唐明华闫宝华李艳明

、、、、、。

Ⅰ

GB/T44558—2024

Ⅲ族氮化物半导体材料中位错成像的测试

透射电子显微镜法

1范围

本文件描述了用透射电子显微镜测试族氮化物半导体材料中位错成像的方法

Ⅲ。

本文件适用于六方晶系族氮化物半导体的薄膜或体单晶中位错成像的测试

Ⅲ。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

半导体材料术语

GB/T14264

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

31

.

伯格斯矢量Burgersvector

b

位错所致晶格畸变的大小和方向的特征矢量

。

32

.

a型位错atypedislocation

伯格斯矢量为的位错

1/3<1120>。

33

.

c型位错ctypedislocation

伯格斯矢量为的位错

<0001>。

34

.

ac型位错actypedislocation

++

伯格斯矢量为的位错

1/3<1123>。

35

.

衍射矢量diffractionvector

g

衍射谱中由中心斑原点到衍射斑点的坐标矢量

0000()(hkil)。

注在双束成像条件下特指满足布拉格条件的强反射的衍射矢量

:,。

4方法原理

位错的衍射衬度像由衍射矢量g和伯格斯矢量b的点乘即g

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