导游考试试题

扬州大学实验室与设备管理处设备科地址：扬州大学南路88号

兴系人：杨曦、徐钟林邮编：225009

电话真：0514—87979359

术咨询：技术咨询

翔宇

2009年12月18日

（请投标公司按下列格式填写）

货到验收合质保

编号：YX09-12-44号型号规格数最厂家

格付款总价时间

名称

球型脉冲激光淀积系统附后1三年

合计（人民币）

一、设备主要技术性能指标:

1.真空室的结构形式及尺寸：

该设备系由一个球形真空室加带一个进样室组成的超高真空系统。在进样真空室的左侧通过

CF100插板阀接装球形真空室；在进样真空室的右侧接装一套磁力样品传递机构。球形真空

室采用一套FB1200+2XZ-8涡轮分子泵机组进行抽气；进样真空室的抽气采用主室一套机组

进行旁抽。

①1.1主沉积腔室为球形结构，内径中450,lCrl8Ni9Ti不锈钢制造。真空室上开出的法兰接

口为：

②基片样品台（加热样品炉）组件，接口CF150法兰1个，无氧铜圈密封。

③四工位转靶组件，接口CF150法兰1个，无氧铜密封。

④激光入射窗口，相互垂直，接口CF63法兰2个，无氧洞圈密封，透过248nm石英窗。

⑤顶面观察窗口，CF100法兰1个，无氧铜圈密封。

⑥侧面观察窗口CF63法兰1个，无氧铜圈密封.

⑦钱链活动开门，接口力200胶圈密封法兰1个。

⑧分子泵抽气口，接口CF200法兰1个，无氧铜圈密封。

⑨样品室接口，接口CF100法兰1个，无氧铜圈密封。

⑩CF50接口法兰1个（备用）。

@CF35接口法兰4个（烘烤、照明、规管及备用）。

⑫CF16接口法兰2个（进气、充气阀门等用）。

⑬KFI6接口法兰1个（接热偶规管）。

1.2进样室系将主室分开进行气份隔离与换样之用，真空室为卧式圆筒型，尺寸为中240XL380

（mm）,左侧用CF100闸板阀与主室相连接，右侧安装磁力样品传递机构，上面开出CFI00法兰接管,

其上安装可上下调节的样品库。前面开一中100的门，门上有窗。工面开出CF100法兰口安装CF100

闸板阀，再接一中100抽气管道联到主真空室的泵口处。

2.真空获得与测量：

2.1球形真空室：

球形真空室采用一台TFB1200分子泵+2XZ-8D机械泵抽气

球形室极限真空：经24〜36小时烘烤除气后达5X10-6Pa（须将球形室与样品室之间的闸板

阀关闭）

抽气速率：从大气开始抽气，在W40分钟内，该室真空度达6.6X10-4Pa

漏率:WlX10-8Pa・L/S

2.2进样室：

采用同一台FB1200分子泵+2XZ-8D机械泵机组抽气，并设置旁路抽气回路。在打开球形室

与样品室之间的闸板阀之后，

进样室极限真空：经24小时烘烤除气后达3X10-4Pa（实际是球形室与样品室两个室的真空

度）

抽气速率：从大气开始抽气，在W40分钟内，该室直空度达66XI0-4P*

漏率：＜lX10-8Pa•L/S

3.衬底加热台组件：

3.1基片尺寸：20X20mm样品托：中50mm

3.2基片加热，最高温度9OO℃±1C,热电偶反馈,FP93表控温。

真空室内充氧气：采用伯金（Pt）丝加热，最高温度

900°±TC,可控可调。

33基片可连续回转，转速5〜20转/分可调，直流调速电机控制。

3.4基片台相对于转靶距离可调，其最小距离为40mm。最天距离为90mm。

4.转靶：四个靶位，每个靶位中40.挡板只露出一个靶位，激光束要求打在最上面靶位，转靶具有

公转、自转功能。自转采用直流电机控制，自转速度15转/分，公转采用步进电机+微机控制转靶到位

（也可手动调1储（用户提供微机）

5.激光入射窗口：中63石英玻璃窗透过248nm.两窗成90°布置。

6.MFC一路质量流量计控制进气：0-100sccm；

7、电源系统：

7.1样品加热控温电源：FP93表控温，样品加热温度900C。

7.2样品加热旋转控制电源

7.3四工位转靶公转与自转控制电源

二、7.4真空室内设置烘烤（采用卤鹤灯500WX4支并联，可说电位器控制，不测温）、照明（采用

50W.24V照明灯电钮控制）、水压报警装置（水压低于2kg/cm2自动报警）。

设备名称型号规格生产厂家数量价格

设

备

主

要

组

成

及

报

价：

（单

位：

元）

序号

I真空获得与测量：

1、球形真空室：

1.1涡轮分子泵TFB1200北京泰岳恒真空技1台

（保修三年）术研究所

1.2机械泵2XZ-8D成都南光引进1台

（按南光公司规定执行）Balzes公司技术

1.3抽气管道液压波纹管L=800mm沈阳弗莱西波1只

1.4闸板阀仿VAT型CF200沈阳新蓝天1台

1.5真空测量计ZDF5201超高真空计成都容宝1台

1.6小计：

2、进样室：

2.1抽气插板阀VAT型CF100沈阳新蓝天1台

2.2进样室抽气管中100波纹管连接沈阳弗莱西波1米

道

2.2真空测量”•：ZDF5227电离与热偶计成都睿宝1个

2.3旁抽系统①旁抽角阀CF35沈阳新蓝天1只

②旁抽电磁挡板阀上海阀门厂1只

GDC-J40

③旁抽管道，快卸法兰、卡沈阳新蓝天1套

箍

2.4小计：

II真空室系统：

1、球形真空室：

1.1球形真空腔室：①450（内径j6=4,中沈阳新蓝天1台

200氟胶圈门一个

!Crl8Ni9Ti

1.2四工位转靶组靶材直径中43沈阳新蓝天I套

件

1.3基片加热台组基片尺寸20X20(mm)沈阳新蓝天1套

件用伯金加热丝2.4m制作炉

子

1.4激光入射石英663透248nm北京电子部11所2块

窗

1.5观察窗CF100锦州玻璃厂1块

CF63锦州玻璃厂1块

1.6观察窗挡板CF16磁力转轴挡板沈阳新蓝天2套

1.7陶封电极引线CF35（四芯）锦州陶瓷封接厂1块

1.8转靶挡板沈阳新蓝天1套

1.9基片挡板沈阳新蓝天1套

1.10小计：

2、进样室：

2.1真空腔室：①252(内径)XL390卧式沈阳新蓝天1台

3=4,<!)109氟胶圈前门

一个

6=4,①100氟胶圈前门一

个

2.2与主真空室相GV100沈阳新蓝天1台

接闸板阀

2.3样品库装6片样品，可上下调节距沈阳新蓝天1台

离，左右换位.

2.4陶封电极引线CF35（四芯）锦州陶瓷封接厂1块

磁力样品传递CYC63L=9O3mm沈阳新蓝天1套

机构

2.5小计：

III安装机架方钢50X50支撵架沈阳新蓝天1台

1300X700X850

三面围板喷塑，台面铺不锈

钢板

IV电源：

1基片加热控温FP93程序控温表H本岛电公司产品1台

电源

2转靶公转步进75BC380步进电机+驱动器常州步进电机厂1套

电机及控制电

源

3转靶自转75BC380步进电机及控制常州步进电机厂1套

电源

4基片台自转75BC380步进电机及控制常州步进电机厂1套

电源

5真空室照明、烘烘烤功率1500W/1室沈阳新蓝天1台

烤电源

6电源机柜H=1.7M沈阳机柜厂2台

7机箱和面板沈阳机柜厂1套

8小计：

V进气系统

1“MFC”质量2路进气/I套电源北京七星华创1套

流量控制器0~50sccm；

0~1OOsccm

2气路截止阀CF16USD-Swagelok3只

3不锈钢管及卡0)6USD-Swagclok全套

箍、卡套

4小计：

VI辅助配件

1各种规格氟橡含备件1套铁岭橡胶研究所2套

胶圈

2各种不锈钢螺备经常拆卸法兰口的螺栓、外购全套

栓、螺母、垫圈螺母、垫圈

3无氧铜垫圈含备件1套北京科仪2套

4水压报警器大连报警器厂1套

5专用扳手，工1'/：

具

6易损件备件（电器元件）1套

7衬底托备件