中科纳通设备管理操作规范

文献编号ZKNT/GL-产品部・10

双行星分散机操作规范版本/版次A/O

生效日期

制订审核核准

1目的I

规范生产车间设备管理维护和保养工作。

2范围

本原则规定了双行星分散机的安全规定、维护检修规程及操作规程。

本原则合用于双行星分散机的操作。

3设备作业环境规定

保持环境清洁、整洁、电气部分严禁受潮、保持干燥、无不安全状态。

4设备安全规定

4.1进入岗位前，必须按既有劳保原则穿戴齐全。

4.2操作前认真检查各运转部份H勺电器设备与否安全可靠，搅拌浆和分散盘与否完好，经检杳合格后方

可开机。

4.3随时保持设备的清洁卫生，严禁水、溶液、杂物等进入油泵，以免导致油泵及压滤机的故障。

4.4严禁用湿手或导电物体直接启动电器设备。

4.5绝对不可在搅拌头升起或容器移开时启动设备

4.6绝对不可在安全装置失效时启动设备。

4.7牢记在作任何维护前切断设备接入电源。

4.8有异响时必须立即停止运行设备。

4.9绝对不可在设备运行中用手触摸活动部件。

5设备的I操作程序和措施

5.1设备安装

5.1.1小心将设备安于平整的承重地面，川地脚螺栓固定，不要让设备在地面上出现摇摆。

E.1.2按照电气原理图接线。电机合用于380V,3相，50Hzo

接线：必须由专业电工负责接线。从设备顶部向下雷，所有搅拌头都是顺时针旋转。假如转向不对，请调整接

线。所有电机要与过载保护装置连接（若设备带有控制柜口勺，则在该控制柜中已装有该装置）。

5.1.2润滑：该机在出厂前已加好减速机润滑油以及传动箱内H勺齿轮润滑脂，勿需再另行添加。一般状况下每

六个月换一次减速机油，一般加齿轮油或30#机油，换油时请使用减速机生产商推荐的润滑油。

升降系统：该机采用H勺是液压升降系统，出厂前已安装到位，液压油已预先加好，一般状况下每一年

更换一次。

5.2操作前H勺准备工作

若以极低速度长时间运转将会对设备寿命导致一定程度的损害，因此请不要再20Hz频率如下长时间工作

以免电机长时间发热而烧毁，并请保证搅拌框上没有包裹尤其粘稠的物料。

容器定位：启动前，保证容器锁定在底座上。一般容器底部离开基座3MMo所有压力容器、夹层、真空

罩必须在协议规定口勺压力范围内使用。必要时必须装置安装减压阀等。

该容器夹套使用压力不得超过0.2即a

速度控制：可以通过变频调速控制。变频器得电后可调整旋钮控制频率来调速。变频器的使用一般无特殊

规定，变频器的详细使用请参照变频器日勺使用阐明书。

升降系统：

该设备采用液压升降系统，上升过程通过液压系统产生的压力将设备顶起，液压系统的压力可以通过溢流

阀调整，一般状况下，出厂前工厂已将压力调至1.6Mpa。在生产过程中不需再调整。

开机操作：

根据生产工艺，将加好物料的容器固定在设备底座上（加料也可以在真空罩生起后进行），按油缸降按

钮，搅拌头将慢慢卜.降直至真空罩与容器闭合。启动行星搅拌，通过控制面板上打勺调速旋钮将搅拌速度调至

所需要卧J转速。

‘看搅拌完毕后，按油缸升按钮，搅拌头将慢慢被升起，为安全起见，待设备升到顶后请将安全插销插入。

推出容器卸料。

安全装置：

只有搅拌容器放到位后，且将设备搅拌头放卜.井闭拢容器后才能启动搅拌，否则将不能正常开机，由于传动箱

体内有一限位开关，只有当限位开关闭合后，设备才能正常运转。

5.3设备维护

一般只规定设备部件的润滑和定期清理。油脂或润滑油必须按照规定分开使用。且要按照规定牌号。请用

洁净的容器盛放油脂，用洁净的铲子或油枪加油脂。使用时不能多加润滑油/脂，它们会溢出并带来过热等问

题。该设备除定期清理和更换减速机齿轮油外无需多加维护，若有异常状况请与生产商联络。

每次工作结束，必须清洗一次搅拌浆，使搅拌浆不留残渣。搅拌浆有损坏应即时修复或更换。

请注意让设备在尽量清洁的环境中工作。若润滑油/脂被污染的话，会缩短设备的寿命。

5.3.1行星齿轮箱

齿轮箱由碳钢铸造制成。在齿轮箱中，锡青铜轴套与齿轮必须用润滑脂润滑，每只搅拌轴上装有旋转轴

唇形密封以防止润滑脂泄露。

齿轮箱中的润滑脂需定期的更换，根据对设备的使用频率一般状况下每一、二年更换一次，

更换润滑脂：

a.松开减速机上端日勺连接螺栓,向下拉出行星齿轮箱。

b.松开齿轮箱上面口勺所有螺栓,撬开齿轮箱上盖，清理出茵轮箱内的废旧润滑脂。

b.松开齿轮箱上面口勺所有螺栓,撬开齿轮箱上盖，清理出齿轮箱内的废旧润滑脂。

b.松开齿轮箱上面的所有螺栓,撬开齿轮箱上盖，清理出为轮箱内的废旧润滑脂。

C.将适量的润滑脂涂在齿轮上,轴承为全封闭轴承,不需要对轴承进行润滑。

d.按拆开的次序将齿轮箱再装上去。

e.在异常日勺环境下使用，例如过度潮湿、带有腐蚀性的物料或有研磨的物料，需要缩短维护周期或更换齿轮。请

事先与供应商获得联络。

在装、拆搅拌框的过程中，应注意搅拌框与搅拌轴H勺匹配.在装搅拌框时一定要根据搅拌框上的编号装在对应

编号的轴上。否则有也许要发生严重的故障。

5.3.2行星齿轮箱的拆装

在拆齿轮箱之前，齿轮箱与整个机器或真空罩相对位置做上记号。搅拌头与齿轮箱艮I相对位置做上记号。然后

取下齿轮箱。

把整个部件拿走并放在洁净的地方。

松开螺栓,取下轴承压盖。

松开螺栓，取下齿轮箱盖。

按拆开的环节反过来安装上去。

在拧紧齿轮箱盖前,先用手转动并检查搅拌框日勺相对位置…

在运转过程中若故意向,应立即停车检查。待故障消除后才能正常运转。

高速分散的拆装

1）拆下真空罩后，再拆下高速分散盘。

2）松开带座轴承上的螺栓。

3）取下同步带。

4）整体取下高速分散部件。

5）拆齿轮箱上的轴时，先拆出底部的轴承然后再拆下轴。

6）装配时按拆除的环节反过来安装上去。

5.3.4搅拌头的安装

1）在装搅拌框时，一定要保持两个框成90°。在安装时一定要先注意两个齿轮的键槽夹90°。

2）齿轮箱与整个机器或真空罩在相对位置上做好记号。

3）搅拌头与齿轮箱在相对位置上做好记号。

4）把齿轮箱装在减速机上。

5）安装好真空罩。

6）在对的的位置安装上搅拌头，按照本来的标识将两搅拌头安装成90度位置。

7）调整搅拌头在轴上的位置（即搅拌头与容器底部的间隙）。在容器定好位后降下搅拌头，若规定使用多种容

器,必须在搅拌头被定位之前所有调试过，以保证每个容器的互换性。

5.3.5唇形油封的更换

1）升起设备拆走搅拌头，在搅拌头与轴上做类似于A.B类的标识,做好搅拌头与齿轮箱之间相对位置的记号。

搅拌头成90度角。

2）从减速机上拆下齿轮箱。

3）拆下齿轮箱盖与搅拌轴。

4）用螺丝刀从齿轮箱盖中取出唇形密封圈。

5）清洗孔并安装新的唇形密封圈。用木樽或橡皮棒子轻轻地密封圈，安装密封圈到对的的位置。6）重新安装

搅拌头。

7）重新安装齿轮箱盖。

容器的调整

1）把工作台安放在平整的地面上。

2）运用容器H勺定位块将容器定位在搅拌框的中心位置。插入定位销。

3）降下搅拌头启动搅拌，使搅拌框不能喷容器壁。

4）检查容器H勺法兰面与真空罩下法兰面的间隙,若有明显H勺间隙，清按如下的环节6执行。

5）推真空系统。假如真空能有效的获得，那么就不需要做任何的调整。假如达不到理想的真空规定，就需要检

查有泄露的地方。用肥皂泡涂在每一种连接的地方,若肥皂泡破的很快则该处有明显的泄露。

6）若主线就抽不上真空，先检查阀门与否关闭，然后再检查容器口勺上平面与真空罩时下法兰面与否很好的贴合,

若有间隙则需在容器日勺脚轮板上垫某些薄垫片。

7）重新检查真空度。

8）在获得满意的真空度后,在重新调整脚轮板下面的垫板,调整至合适的厚度后拧紧螺栓。

9）若有必要，检查水平并反复环节6到8。

5.4液压系统的使用

5.4.1液压系统重要技术性能参数：

1）系统油箱容积:25L

2）系统额定工作压力：6.3MPa

3）系统额定工作流量:2.1ml/r

4）马达功率参数：0.75KW,2800RPM（AC380V,50Hz）

5）电磁阀控制DC24V

6）系统工程过滤精度:30um

7）系统工作介质：ISOVG32.ISOVG46（抗磨液压油）

5.4.2液压系统使用注意事项：

I）系统油箱上设有空气滤清器,可保持油箱内对流空气的清洁,并可作为油箱注油口。

2）系统工作介质加入油箱须通过过滤精度不低于30um的滤油机过滤后方可加入油箱，液位应加至油箱高度的

80%。由液位计上日勺刻度查看。

3）系统所有外接液压管路,清洁度到达系统清洁度规定后方可与液压系统接口连接。集成块两个H口分别接油缸

两个油口。

4）接通电源，点动油泵电动机，检查电机旋向与否与规定一致。（从风叶处看为逆时针旋转）。注：若油缸不能

升降，请查看泵的转向。

5）拧下集成块侧面的螺帽，旋松螺栓,通过三位四通电磁阀,待油缸活塞杆返回到位置后,观测压力表的压力值,根

据实际工作压力，调整溢流阀，当压力到达规定期,再顺时针旋转调整螺丝并拧究竟,系统压力应不会升高。

6）液压缸动作通过三位四通W、J电磁阀来切换，速度由单向节流阀调整，顺时针旋转调整螺丝速度减慢，反之加

紧。

7）液压系统正常工作温度范围为15-60℃,为防止温度过高，请不要长时间运转。否则须对其安装风冷式油冷却

器的电机进行冷却。若低于此温度范围时，须对工作液进行预热处理。

8）液压系统正常工作时，应定期检查所有液压阀安装螺钉、管接头紧围等状况，定期送检压力表、抽检工作液品

质，清洗油箱,更换新油。常常观测油箱加油口的J液位标尺，当油位低于刻度尺上最终一格，即需要补充液压油。

9）当液压系统出现故障需拆卸时，必须先泄掉系统的压力，并由专业维护、操作人员检修。

5.5故障原因及排除措施见下表

常见故障故障产生原因故障排除措施

电机转向不对电机重新接线

溢流阀阻尼孔堵塞清洗溢流阀阻尼孔堵塞

1.系统无压力或压力不稳定

溢流阀损坏修理或更换溢流阀

液压泵损坏修理或更换液压泵

油箱液位低补允_L作液

2.液压泵噪音大

液压泵损坏修理或更换液压泵

联轴器松动修理或更换联轴器

换向阀内部孔堵塞修理或更换换向阀

3.无换向动作

系统无压力系统升压

阀门未关闭，抽真空阀没打关闭各个阀门

4.真空度不能建立

开

密封圈已损坏导致泄漏更换密封圈

无工作液：检查工作液

5.泵不能产生真空

系统泄漏严重修复泄漏处

旋转方向错更换两根导线变化旋转方向

电源线断检查接线

电机轴承故障更换电机轴承

6.搅拌电机不启动或电机过载

有异物卡住搅拌器清除异物

绕组短路检查电机绕组（线圈）

刮板座转动不灵活，卡在不清除刮板座中污物，更换销轴

7、刮板运转时不刮壁或运转时有金属声合适位置。

响刮板磨损更换刮板

8、真空泵中工作液进入料桶内关闭真空泵时真空泵上真空闭真空泵时先关闭真空系上真空阀

阀未关闭。

文献编号ZKNT/GL-产品部-11

井上三辐研磨机操作规范版本/版次A/O

生效日期

制订审核核准

1目的

规范生产车间设备管理维护和保养工作。

2范围

本规范规定了井上三辐研磨机的安全规定、维护检修规程及操作规程。

本规范合用于井上三辐研磨机的操作。

3设备作业环境规定

保持环境清洁、整洁、电气部分严禁受潮、保持干燥、无不安全状态。机体两侧2约100cm

空间用于维修、零件更换。

4设备安全规定

4.1进入囱位前，必须按既仃劳保发放原则穿戴齐全。

4.2操作前认真检查各运转部份的电器设备与否安全可靠，棍轮和刮刀与否完好，经检查合格后方

可开机。

4.3随时保持设备的清洁卫生，严禁水、溶液、杂物等进入三辐，清洗时先停止研磨辑。

4.4严禁用湿手或导电物体直接启动电器设备。

4.5应在操作员确认无危险之后再启动设备。

4.6机器运转时严禁触摸回转部分，不要把手和异物卷入辑之间，不要触摸运动中研磨程的表面。

4.7必须把防护罩安装在指定的位置上,严禁在没有保护罩目勺状况下开动机器。

4.8机器运行时严禁进行检查和调整，若需要以上H勺检查时，应在切断电源、机器完全停止的状态

下进行。

4.9检查之前，关闭配电柜内的主电源闸，锁上配电柜门、钥匙由操作者本人保管,在实行检查。

4.10未获得操作许可口勺人,严禁操作机器。

4.11束长发、穿戴工作服装、劳保用品。

4.12机器上放置着工具时,严禁开动机器。

4.13修理刮刀时要用无尘布盖住刀刃。

5设备的操作程序和措施

5.1设备安装

5.1.1小心将设备安于平整的承重地面，搬运中的剧烈撞击会给机器精度带来影响。挡料板、机体、接触研磨辐

面的各面做好保护措施,塞入棉花等后小心搬运。

5.1.2本机不需用地脚螺栓固定期,机器底面各角都应接触到地面。

要看机器的水平度时，在研磨辑表面上把水平器放置与轴平行（以及直交、HH型）方向上。此时•，所用垫片位

置应尽量全面的接触各防震垫胶垫时下部。

电机配线：实行从接线箱、配电柜到电源之间的配线。接线措施应与电机配线图的各接线符号一致。电缆的选

择应符合本机B勺规定。接线完毕后检查研磨辐传动电机欧I运转方向，如有逆转，互换R.T两线。确认研磨粮运转

方向时,用操作手轮将研磨辑进入到全开的状态。

5.2操作前的准备工作

电气的点检

1.检查配电柜内部、确认保险丝、确认热敏继电器与否符合电机日勺定额电流

2.将操作手轮放到混合或全开口勺位置上，假如有压力为正常。

3、将研磨辐旋转到全开的状态,按下研磨辐驱动用按钮确认运转方向。

4、最终,按下停止按钮使研磨停止。

按钮开关

1.后研磨辑侧对着后研磨根,左侧机架上有研磨辑驱动按钮、停止按钮。按停止按钮时，研磨辑停止。

2.前研磨辑侧对着前研磨辑,左侧上有停止按钮。作用与后研磨辑的按钮相似。

3、打开冷却水侧时断路阀,研磨辐运转后水压压力计会显示2次压。

试运行

1.将研磨*昆用手轮旋转到指示板全开位置,清洗掉防锈清洁剂。

2、使研磨辐全开，首先调整出料漏斗、挡料板的压力。

5.3正式运转

I.用手轮进行2-3次混合、全闭、全开H勺操作，确认调整器的敏捷性、出料漏斗的工作状态有无异常。

2.将拉杆设置成混合位置，向中棍和后根之间送入合适的处理浆料（只是在最初阶段）。

3、再次按下主电机口勺启动按钮，根据研磨辐上的浆料状态调整研磨根的加压。根据研磨*昆上浆料带的厚度可判

断研磨的程度。

4、在研磨辑没有浆料的状态下对■辑进行加压、运转不仅对辑部帝来很大的伤害还也许导致机器机能丧失日勺危

险,应绝对防止空滚。

5.4运转结束

1.运转结束瞬间，即前棍和后辑间没有浆料的瞬间,将手轮设置成全开口勺位置。

2、运转最终用加入润滑油取出残留部分的I措施，但不能使用溶剂,溶剂不仅没有润滑作用反而会损害研磨辐。

3.关闭主电机、停止研磨辐H勺运转。

4.关闭冷却水I向供应阀门。

5.清洗机器

5.5清洗

L挡料板：先停机再清洗。只有将操作手轮设置成全开状态后才能取卜.挡料板。用沾有溶剂的无尘布将粘在挡料

板上的浆料清除掉，应防止用刀状物清除浆料。与研磨辐接触面是浆料密封面和机器加工面易被划伤，防止使用

锐利器物。

2.研磨相:先确认研磨辑与否为全开，将安全杆安装在后根和中较的中间停止研磨再清洗。

3、出料斗：先去下刮刀再清洗出料斗，注意不要将浆料堵在刮刀和衬套之间的槽里。

4、托盘：因托盘里残留着泄漏口勺浆料、清洗挡料板和研磨辑时的I材料以及溶剂，在更换浆料时、或每天工作完

毕时将其取下清洁洁净。

5.6设备维护

维护措施

I.挡料板:往挡料板注油时,加入少许口勺对浆料没有影响口勺油,不注油时,应尤其注意挡料板的压力。

2.研磨辐:研磨辑H勺加压应左右均一,同步制造机器时因由固定H勺加压幅度假如不在各个范围内使用H勺话，就不能

发挥研磨较时机能。

3、出料斗：在不破坏出料斗刮刀效果的前提下合适附加某些压力，再有刮刀不要出来过多。与研磨辑的接触角

度设定为30-400°调整安装在出料斗长孔前面的刮刀，使其到达与研磨辑的最佳状态。在使用时根据使用刮刀

磨损状态,将它从托架的长孔前侧向里面移动调整刮刀。因此一天的运转结束后清洁时，边做以上的工作边观测,

这样就可以决定刮刀H勺修理、更换时间。刮刀的刀刃磨损会给研磨效果带来影响，直接影响到生产量，应及时修

理和更换。与此同步要时常检查加反轴的工作状态。这样就可以发挥机器的性能，发现故障。

4、托盘：运转完毕后检查落到托盘里浆料H勺状态可以判断出机器与否为最佳的使用状态。因此，每处理•批浆

料后或工作结束后要清理洁净，以便作出判断。

注意事项

L当研磨讪上留有浆料时不要让机器长时间停止。假如研磨柜上留有浆料，被覆盖的部分温度高，下侧部分因由

冷却水作用会导致研磨馄变形。在以上状态下开动机器，因部分里面互相接触的很紧导致部分面的磨损会使圆

褪变为多角形,并且假如反复进行上述操作会导致齿轮的部分磨损施之产生噪音。

2.中午休息时,如必须要停止机器时应调整材料的送入量,研磨帽上和研磨辑之间不要留有浆料,万一辑上尚有浆

料就被迫停止时,应使其进行一段时间的混合状态运转，以使研磨轮温度均一再设置成“全闭”状态。

3.操作中应注意与否有异常,应即刻停机。

4.操作员应时刻注意辑筒上与否有杂物,如有应即刻停机，以免影响品质和发生安全事故。

5、有操作员要离开岗位时,应有人代岗。

6.三轮机持续使用六个月后来，将各处可清洗口勺部分加以拆洗，进行一次全面的维修，然后换上洁净的润滑油，同

步要仔细检查油路口勺畅通状况，如在拆洗中发现问题时应及时维修，

7、使用过程中发现粗筒变形，也必须停止使用，重新修磨。

8、转筒修磨次数过多，短筒直径不不小于规定后来，会产生传动齿轮顶紧而转筒互相之间留有缝隙的现象，此时

齿轮必须修正。

9、出料刀片的锋II在安装前应仔细修正，精研光滑，有尖刺和裂口时绝对不可使用，刀片用短后来，可以拧松沉

头螺钉，向外移出再用

5.7故障原因及排除措施见下表

常见故障故障产生原因故障排除措施

皮带松弛、损坏

传动异常调整电机座固定螺母拉紧皮带

文献编号ZKNT/GL-产品部-06

超声波清洗机操作规范版本/版次A/O

生效日期

制订审核核准

1目的

规范生产车间设备管理维护和保养工作。

2范围

本原则规定了超声波清洗仪的安装、操作过程及注意事项。

本原则合用于超声波清洗仪的操作。

3设备作业环境规定

保持环境清洁、整洁、电气部分严禁受潮、保持干燥、无不安全状态。机体两侧2约100cm空间用于维修、零

件更换。

4设备安装与准备

4.1机器放置在通风干燥日勺地方，保证机器处在水平位置；

4.2对日勺连接电源插头，保证联接牢固（一定要使用三孔插座；有可靠接地线，以保证安全）

4.3按清洗所需加入适量的清洗液

5操作过程

5.1启动超声波过程

5.1.1将清洁液加入清洗槽内;

5.1.2接通电源

5.1.3将定期开关往左旋转“ON”位置，则可长时间工作；如需1-20分钟定期，则向右调整工作时间，超声波清

洗槽内发出因工作产生的“滋滋”声，阐明超声波运行正常。（持城工作时间不得超过1小时）

5.1.4如需加温（有时），请将温度旋转调至所需温度,温度以40-60度为宜。（正常状况下，不提议加温）

5.2停止超声波过程

5.2.1关闭开关至“OFF”关闭位置，超声波运行停止，指示灯熄灭

5.2.2断开整机电源

523倒掉清洗液，用洁净抹布对槽体及外围进行清洁保养，用完产品后，将产品放置于阴凉干燥的地方保留以备

下次使用。

6注意事项

6.1超声波正常运行时,应听得到超声波与槽体谐振的均匀声音,且清洗液表面无激荡，只有空穴爆破引起日勺水花,

如有间断性振荡,请加入些许清洗液或减少些许清洗液,消除振荡有助于清洗物件；

6.2在保证清洗物件洁净的前提下，尽量间断性工作（持续工作时间不适宜超过30分钟），由于长时间超声使箱

内积聚的温度升高，易加速箱内电子器件的老化；

6.3绝不能使用易燃的清洁剂

6.4当清洗槽无清洗液时,绝不能启动加热器或超声波

6.5防止清洗液和水溅入机箱内和震子上；清洗液溅到震子上将会导致机器漏电和短路，同步会导致震子中的晶

片烧坏

6.6如有异物落入槽底应立即取出

6.7换液或排液时，应在槽中清洗液为常温H勺状况下进行,且将超声开关置于“关”的位置,拔掉电源插头

6.8使用后清洗和清除清洗槽中的污垢

6.9保持机器外表清洁

当机器损坏或超声减弱时，也许就是基于以上原因,请立即停止操作并联络维修人员。

7设备维修

7.1机器发生故障时，立即停止使用,联络设备维修人员进行维修

7.2设备维修措施:到设备商指定维修点进行维修或寄厂维修

文献编号ZKNT/GL-产品部-08

低温恒温槽操作规范版本/版次A/O

生效日期

制订审核核准

1目的

规范生产车间设备低温恒温槽管理维护和保养工作。

2范围

本原则规定了低温恒温槽的安全规定、维护检修规程及操作规程。

本原则合用于低温恒温槽的操作。

3设备作业环境规定

保持环境清洁、整洁、电气部分严禁受潮、保持干燥。

4设备安全规定

4.1本设备必须可靠接地。如姐弟不对时会导致触电或火灾。

4.2不要在机器运转过程中拔出电源插头，否则会由「过热而触电或发生火灾。

4.3切勿将手指、棒类或其他异物插入水泵下面，因内部的风扇在高速运转中，若触动转动的风扇，将导致设备损

坏或人体伤害。

4.4若有异常状态（烧焦味等）应立即拔除电源插头使设备停止运转。异常状态持续将会导致过热而引起火灾

或触电.

4.5设备应使用独立的电源插座。

4.6设备在平行移动时•，任一方向的倾斜角度应不不小于45°。否则可导致设备内口勺制冷压缩机损坏或制冷性异

常。

4.7设备在安装后应垂直静止3小时，否则可导致设备内的制冷压缩机损坏或制冷性异常。

4.8严禁带电更换保险丝。

5设备的操作程序和措施

5.1操作前的准备工作

设备应放置在地面平整、干燥、无阳光直射处，水平放置，离墙离物保持约20cm的距离。

配置容量不不不小于IKw,交流电压为220V的专用电源插座。

将设备电源插头插入220VII勺专用电源插座,加入冷媒。

5.2液体介质的选用

工作温度低于5C,液体介质提议选用酒精。

工作温度5C-80C时,液体介质提议选用纯净水。

工作温度80℃-90℃W,液体介质提议选用15%甘油水溶液。

工作温度90℃-100℃时,液体介质提议选用油。

工作温度90℃-100℃时，液体介质提议选用油。

5.3开机前准备

加入液体介质，液体介质页面不能低于工作台板lOmnio

内循环泵连接，将出液管与进液管使用软管连接即可；外循环泵进行外循环连接，将出液管用软管连接在槽外容

器进口,将进液管接在槽外容器的出口。

将机器电源插头插入电源插座内，打开背面电源开关。

按动面板的“电源”按键,仪表测量显示窗显示工作室内目前的温度，在仪表设定窗显示设定温度。

假如需要液体循环，按下“水泵”键，启动水泵循环。

假如工作温度低于环境温度时，启动“制冷”开关制冷至所需温度，

5.4设定温度参数的J操作环节

按设定键进入温度设定值设定状态。设定值最右边H勺一位闪烁，此时按动加、减键变化其设定值、如需修改其他

位置的设定数值按动移位键，再按动加、减键变化其设定值。设定完毕后按动设定键，保留设定参数，次后机器

进入自动控制状态。设定的工作温度应高于室温

如工作温度低于环境温度+8℃时,按动制冷按键,制冷至所需温度。

如，丁作温度所需0℃

打开背部电源总开关,按动电源键，仪表测量显示窗显示工作室内目前的温度，设定窗显示设定温度,按动设定键,

设定显示窗，最右边一位闪烁，再按动加、减键，使其变化为0,再按动移位键，使其他几位也变化为0,再按动设

定键，仪表进入自动控制状态。按动制冷键，压缩机开始工作。再按动水泵键，循环水泵开始工作C

6保养

1.冷凝器每月清洗一次

2、保持箱内外洁净，常常清理杂物、污迹。

文献编号ZKNT/GL-产品部・12

试验室分散机操作规范版本/版次A/O

生效日期

制订审核核准

一、概述

SWFS-400型试验室分散砂磨机是采用外国新技术设计的新产品，该产品集中了搅拌、砂磨、分

散多种设备的功能与一体。是目前试验室人员最理想H勺试验设备。

本设备采用电子恒力调速线路，数字直接显示转轴速度，并配有多种砂磨叶盘、分散搅拌叶片。能

适应试验室不一样的试验需要，并可根据显示的转轴速度，直接计算搅拌、分散、砂磨叶片日勺线速

度与物料粘度及化学反应速率之间的关系，为大规模投产提供对口勺I的数据。

二、重要技术参数

电动机型号：U400-80/220400W220V0〜8000”min

调速范围：无级恒力调速0〜8000r/min

搅拌分散叶片直径：①50mm①60mm

砂磨盘直径：①45mm①60mm

升降行程:250mm

外形尺寸：LXWXH=45()*420*76()(mm)

三、重要构造

1.本设备采用串激整流子电动机，通过电子恒力无级调速，数字直接显示转轴速度。砂磨叶盘及分

散叶片与转轴用螺纹直接连接。

2、简体采用夹套式构造,可通冷却水,用不锈钢材料加工而成。

四、安装

1.将平衡锤安装在链条的螺栓上。

2、两夹持器分别装在固定加上，夹持杆平面向上。

3.将主机上日勺五芯航空插头于调速器联接(注意缺口方向)。

五、使用与维护

1.使用时将选用口勺砂磨叶盘或分散搅拌叶片与转轴固定。

2.旋松电机锁紧螺栓,调速转轴与容器日勺高下位置,夹紧电机及容器,放入物料并盖上容器盖。

3、将调速旋钮调至零位置,打开电源开关,然后调整速度至需要H勺转速。

4、本电机为串激整流子电机，转动时电刷有火花产生,防爆车间不适宜使用。

5.转速不小于4000转/分时不适宜开空车。

6、当电机电刷长度不不小于10mm时,应进行更换。

6.当电机电刷长度不不小于10mm时，应进行更换。

6、当电机电刷长度不不小于10mm时，应进行更换。

文献编号

RTS-R型皿探针涮1斌仪师客ZKNT/GL•检测室-01

版本/版次A/O

手册生效日期

制订审核核准

1.概述

RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试

措施国标并参照美国A.S.T.M原则而设计时,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的专用仪器。

仪器由主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分构成，测量数据既可由四探针测试仪主机直接显示,

亦可与计算机相连接通过四探针软件测试系统控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在

计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形在观地记录、显示出来。顾客可对采集到的数据在电脑中保留

或者打印以备后来参照和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中，让顾客对数据进行多种数据分析。

仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定

性好、构造紧凑、易操作等特点。

本仪器合用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料H勺电阻性能测试。

2.技术指标

2.1测量范围

电阻率：10-4~105。.cm；

方块电阻：10-3〜106Q/口；

电阻：10-4〜105。；

电导率：10-5〜104s/cm：

可测晶片直直140mmXI50mm（配S-2A型测试台）;

2（）（）mmX200mm（配S-2B型测试台）；

400mmX500mm（配S-2C型测试台）；

2.2恒流源

电流量程分为1PA.10nA.100nA.1mA.10mA.100mA六档，各档电流持续可调；

2.3数字电压表

量程及表达形式：000.00^199.99mV；

辨别力：10uV；

输入阻抗：＞1000M。；

精度：±0.1%；

显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

2.4四探针探头基本指标

间距：I±0.0lmm；

针间绝缘电阻：21000MQ；

机械游移率：W0.3%：

探针:碳化鸨或高速钢材质,探针直径①0.5mm：

探针压力：5〜16牛顿（总力）；

2.5四探针探头应用参数

见探头附带U勺合格证,合格证含三参数项：

C:探针系数；F:探针间距修正因子；S:探针平均间距；

2.6模拟电阻测量相对误差（按JJG508-87进行）

0.01。、0.1。、IQ、10Q、100。、1000。、10000QW0.3%±1字；

2.7整机测量最大相对误差

（用硅标样片:0.01-180Q.cm测试）W±5%；

2.8整机测量原则不确定度W5%；

2.9外型尺寸（大概）

电气主机:460mmX320mmX100mm；

S-2A型测试台：190mmX140mmX260mm；

S-2B型测试台：300mmX210mmX400mm；

S-2C型；则试台：500nlmX400m门义350mm；

2.10仪器重量(大概)

电气主机:3.5kg；

S-2A型测试台：2kg；

S-2B型测试台:2.5kg；

S-2c型测试台:4kg；

2.11原则使用环境

温度::23±2℃；

相对湿度：W65%：

无高频干扰：

无强光直射；

*.注意:使用1UA量程时，容许有不不小于LOnA时空载电流.最佳在相对湿度不不小于50%时使

用。

03.测量原理

将四根排成•条直线日勺探针以,定时压力垂直地压在被测样品表面上，在1、4探针间通以电流I(mA),2、3探

针间就产生一定的电压V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测最方式和样品日勺尺寸不一样，可分别按如下公式计

算样品的电阻率、方块电阻、电阻：

①.薄圆旅(厚度施闻nm)电阻率:

V

p=yxF(D/S)XF(W/S)xWxFspQ.cm...(1)

其中：D一样品直径,单位:cm或mm,注意与探针间距S单位一致；

S—平均探针间距,单位:cm或mm,注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值)；

W一样品厚度,单位：cm,在F(W/S)中注意与S单位一致；

Fsp-探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；

F(D/S)一样品直径修正因子。当D-8时,F(D/S)=4.532,有限直径卜两F(D/S)由附表B查出:

F(W/S)一样品厚度修正因子.W/S<04时，F(W/S)=1；W/SX)4时，F(W/S)值由附表C查出：

1-1.4探针流过的)电流值，选值可参照表5.2(第6页表5.2)；

V—2.3探针间取出的电压值,单位mV；

②.薄层方块电阻R口:

Ra=-xF(D/S)XF(W/S)xFspQ/口…⑵

其中：D—样品直径，单位:cm或mm.注意与探针间距S单位一致；

S—平均探针间距.单位:cm或mm.注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值)；

W一样品厚度,单位：cm,在F(W/S)中注意与S单位一致；

Fsp-探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；

F(D/S)一样品直径修正因子。当D-8时,F(D/S)=4.532,有限直径下的F(D/S)由附表B查出：

F(W/S)一样品厚度修正因子。W/S<0.4时,F(W/S尸1；W/S>0.4时,F(W/S)值由附表C杳出；

I—1.4探针流过口勺电流值,选值可参照表5.1(第6页表5.1)；

V—2、3探针间取出的电压值，单位mV；

①双面扩散层方块电阻RD

可按无穷大直径处理,此时F(D/S)=4.532,由于扩散层厚度W远远不不小于探针间距,故F(W/S)=1,此时

V

Ra=4.532x—xFsp

②单面扩散层、离子注入层、反型外延层方块电阻

此时F(D/S)值应根据D/S值从附表C中查出。此外由于扩散层、注入层厚度W远远不不小于探针间距,故

F(W/S)=1,此时有

V、

R口=7xF(D/S)xFsp

③.棒材或厚度不小于4mm的厚片电阻率p:

当探头的任一探针到样品边缘的近来距离不不不小于4S时,测量区的电阻率为：

p=yxCQ・CII1...(3)

其中：C=2Hs为探针系数,单位:cm(四探针头合格证上的C值)；

SI内取值来源于:1/S=(1/S1+1/S3-1/(S1+S3)-1/(S2+S3)),SI为(1-2)针、S2为(2-3)针、

S3为(3-4)针日勺间距,单位:cm；

1一1.4探针流过的电流值，单位mA,选值可参照表5.2(第6页表5.2)；

V-2,3探针间取出的电压值，单位mV：

④.电阻日勺测量：

应用恒流测试法，电流由样品两端流入|可步测量样品两端压降。样品的电阻为:

R=yQ...(3)

其中：I一样品两端流过的电流值,单位mA,选值可参照表5.2(第6页表5.2)；

V一样品两端取出的电压值,单位mV；

仪器电气原理如下图所示

并行通讯接口

Z\

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4.仪器面板说明

RTS-8型四探针测试仪重要由主机（电气测量装置）、测试台、计算机构成，三部分独立放置，通过连接线联

接。该四探针测试仪亦可脱离计算机单独使用。

RTS-8型四探针测试仪重要由主机（电气测量装置）、测试台、计算机构成，三部分独立放置，通过连接线

联接。该四探针测试仪亦可脱离计算机单独使用。

仪表前面板阐明

UK2K3K4K5K6K7K8K9K0

项目阐明

K1,K2,K3,K4,K5,K6测量电流量程选择按键,共6个量程，当按对应的量程时,此量程按钮上方的指示灯会亮。

"RQ/p”测量选择按键，即是测量样品的方块电阻还是电阻率的选择按键，开机时自动

设置在“RD”位。按下此按键会在这两种测量状态下切换，按健上方为对应的指示灯

K7会亮表达现处口勺测量类别。

“电流/测量”方式选择按键，开机时自动设置在“I”位；按下此按键会在这两种模式下

切换，按键tl方的对应的指示灯会亮表达现处的状态。即当处在“I”时表达数据显示屏

显示的J是样品测量电流值，顾客“J根据测量样品调整量程按键或电位器获得适合样品测

K8

量的电流。当在“P/R口”时表达现处在测量模式下，数据显示屏显示时是方块电阻或

电阻率口勺测量值。

K9电流换向按犍，按键上方底J灯亮时表达反向。灭时表达正向。

K10低阻测试扩展按键（只在100mA量程档有效），按键上方的灯指示开、关的状态。

W1,W2W1—电流粗调电位器；W2—电流细调电位器。

P与计算机通讯的并口接口。

L显示测试值的数据显示屏，在不一样的1测试状态下分别用来显示样品的测试电流值、方

块电阻测量值、电阻率测量值。

U测试值的单位指示灯。

备注：连机溺量时顾客只需对前面板电位器W1N2进行操作（调整样品潮试电流值）。前面板的其他按键顾客不需在主机上操作,在

测量时完全由计算机控制。

主机背面板安装状况如下图所示:

ON1OF

INEFIT

220

54

项目阐明

1电源开关

2四探针探头连接插座

3保险管

4电源插座

5输出控制端口

5.使用方法

RTS-8型四探针测试仪可以单独使用，也可以跟计算机相连接使用。跟计算机相连接艮I使用措施请参照随机配带的

《RTS-8型四探针测试仪软件测试系统》顾客手册。如下简介四探针测试仪主机单独使用(脱机使用)测试的措

施。

首先按背面板阐明用连接电缆将四探针探头与主机连接好,接上电源,再按如下环节进行操作：

1.启动主机电源开关，此时“Rd”和“I”指示灯亮。预热约10分钟；

2.估计所测样品方块电阻或电阻率范围：

按表5.1和表5.2选择适合的电流量程对样品进行测量.按下KI(luA),K2(l()uA)、K3(IO()uA)、

K4(lmA)、K5(10mA)>K6(100mA)中对应『、J键选择量程；(如无法估计样品方块电阻或电阻率的范围，则可先以

“10uA”量程进行测量，再以该测量值作为估计值按表5.1和表5.2选择电流量程得到精确的测量成果)

方块电阻测量时电流量程选择表(推荐)电阻率测量时电流量程选择表(推荐)

方块电阻口)电流量程电阻率(Q,cm)电流量程

<2.5100mA<0.03100mA

2.0〜2510mA0.03〜0.310mA

20〜2501mA0.3〜301mA

200〜2500100uA30〜300IOOUA

2023〜25000lOuA300〜300()lOuA

>20230luA>3000luA

表5.1表5.2

3.确定样品测试电流值：

放置样品，压下探针、使样品接通电流。主机此时显示电流数值。调整电位器W1和W2,即可得到所需的

测试电流值。推荐按如下措施，根据不一样的样品测试类别计算出样品的测试电流值，然后调整主机电位器使测试

电流为比电流值,即可以便得到需要测试样品口勺精确测试成果。

①.测试薄片(厚度W4mm)日勺电阻率:

按如下公式:(详细阐明见“测量原理简介”)

P=V/IXF(D/S)XF(W/S)XWXFspXio11(Q・cm)

■选用测试电流I：【=F(D/S)XF(W/S)XWXFspX10no(式中各参数按“测量原理简介”中的定义可分别

得出,n是整数与量程档有关)然后按此公式计算出测试电流数值。

在仪器上调整电位器“W1”和“W2”，使测试电流显示值为计算出来测试电流数值。

按以上措施调整电流后，按“K8”键选择“R口/P”，按“K7”键选择“P”，仪器则直接显示测量成果(Q-cm)。

然后按“K9”键进行正反向测量，正反向测量值日勺平均值即为此点的实际值。

例1：测厚度为0.63mm、直径为76mm的硅片，巳知F=1.01,由于探针平均间距S=lmm,故D/S=76,从附表B中查

得F(D/S)=4.526,附表C中查得F(VV/S)=0.9894,故

1=4.526X0.9894X0.63X1.01XIOn=2.849XIOn,显示屏显示电流数为2849;

例2:测厚度为0.32mm、直径为76mm的硅片，巳知F=1.003,由于探针平均间距S=lmm,故D/S=76,从附表B中

查得F(D/S)=4.526,附表C中查得F(VV/S)=1,故

1=4.526X0.32X1.003X10n=1.453X|()n,显示屏显示电流数为1453;

例3：测厚度为0.22mm、直径为100mm的硅片，巳知F=1.01,由于探针平均间距S=lmm,故D/S=100,从附

表B