生产部门污染控制及ESD知识了解.ppt

1、污染的定义,污染 所有正在进行的生产过程中，对零部件或产品有负作用的物质、材料或能量。 污染的四大部分 微粒 微生物，如流汗 化学制品 静电释放,污染的类型,微粒 (初级的磁盘杀手) 固体的 液体的，如水 胶黏物 薄膜 油 组织的溶解 离子 氯化物 硫酸盐,物质 任何存在于产品中的、导致产品在生产或测试的任何步骤不合格的物质。 悬浮颗粒 人口通过空气传播的微粒 通过空气中的气雾造成许多产品的污染 水溶剂 人口的流动微粒 来自于流程的流动性通过水溶剂造成许多产品的污染(油),污染的来源,人体 头发 头皮屑 皮肤屑 唾沫 手指印 衣服纤维 化妆品,污染的来源,正常谈话 (唾液) -2 到 3 英尺

2、 咳嗽 (唾液 & 肺组织) -4 到 6 英尺 打喷嚏 200 mph -10 到 15 英尺,在CR内不可以将口罩拉下与别人讲话 在CR内不可以使用纸巾,携带的工具 金属碎片 润滑油 油 腐蚀的材料,带入CR之前必须用净化间指定的清洁 溶液(70酒精和30DI水)进行清洁,污染的尺寸,小于12 um的微粒将会划伤磁盘 用肉眼是无法看到12 um 以下的微粒的,对 Head/Disc 的污染,净化室级别,在净化室地板上形成交叉区域,什么是 Class 100, 10 环境所需求的? HEPA 过滤器 80% to 100% 覆盖 空气流速 = 70 到 110 FPM 空气转换 = 每小时

3、200 到 600 通常在凸起的地板上打孔 温度和湿度的控制,凸起的地板,HEPA,温度和湿度的控制,Class “XXX”意味着什么？,在1立方英尺的样本空间中0.5um的或更大颗粒的微粒不得超过10(100)个数值。,净化室 Class 10(100) 的定义,净化室级别,现在我们采纳： Smoke Room_Class100或Class1000 Clean Room & MRB_Class100 Kitting Room_Class1000 MRC_Class100,Class 100,Class 10,Class 1,Class “XXX” 意味着什么？,7,吹风间,衣服表面的微粒吹尘

4、 净化室 必须知道每次进入净化室吹风间的最多的人数是3人。 必须知道每次离开净化室吹风间的最多的人数是6人。 强化净化室是一个特殊环境的观念,保持净化室的清洁,必须有一系列净化室纪律规定，以维持达到净化室的特殊环境要求 在净化室内的所有时间太空服必须完全穿好 不露出鼻子 不露出头发 不露出皮肤 讲话时不能把口罩从脸上拉下来 穿有正确颜色标志太空服 衣服没有肮脏，破损 不得在净化间拉下拉链,不能拉下口罩,规范净化室内人员的行为和操作 依照正确路径进入净化室,从更衣室进入净化室,或从低级别净 化间进入高级别净化室应经风淋室,不可从紧急门或维修门不从风淋进 手套破损或脏污不能继续干活,应及时到更衣室

5、更换，发网滑落到更衣室更换及整理。 不能拉下口罩说话,或拉起袖子干活 行动应缓慢有序,不能急速奔跑/跳动/嬉戏打闹 非净化纸(报纸/打印纸/卫生纸等)/食品/非净化物不可带入净化室 所有带入物品应拭擦干净,无生锈,无表面可见脏污.不可在净化室内吃东喝水/抽烟 随手关门,动作要轻缓,不能摔门或撞门 在净化室内组装部件/清洁部件不能在地板上操作.物品(包括清洁用具)也应存放在安全高度以上.,污染的控制,净化室不能有“非法”物料 不能化妆 不能有木质材料 非净化室纸张 纸或纤维胶带 遮蔽胶带，透明胶带等。 不能吃食物或喝水 不能嚼口香糖 down的工具/机器不能使用,保持净化室的清洁,防止parti

6、culate,净化间要求,净化间要求 注:在CR里只能用指定的无尘纸，并且不可撕，不可有毛边,防止particulate,净化间要求 注:在净化间不可以化妆，以免造成粉尘污染,防止particulate,净化间要求 注:手套要干净完整，不可以写字，有破损要马上出去更换,防止particulate,净化间要求 注:在净化间里不允许在静电笔上包任何的东西,防止particulate,What Is ESD? 什 么 是 ESD ?,ESD - Electro Static Discharge. ESD - 静 电 泄 放,ESD是指带有静电的物体靠近或接触另一物体，只要它们之间存在电势差，就会发生

7、静电荷传递。这种静电荷传递过程我们称之为静电泄放。,两个物体经过摩擦或者在相对运动过程中产生静电,并且以静电方式留在物体表面,当它靠近某一传导体的表面时就引起静电泄放,ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识,ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识,静电的概念 静电就是静止的电荷，就是物体表面有多余的电荷（正电荷和负电荷）存在。,静电产生有三种方法： 摩擦 相接触的两种物体发生分离 静电感应产生静电,ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识,静电产生方法 静电感应产生静电,+ + + + +,+ + + + +,当HGA靠近静电源也将会在

8、HGA上产生感应电荷。,相接触的两种物体发生分离,打开导体tray,当分离任何两个物体（绝缘体或者导体），静电将会产生在两个物体上。,打开绝缘体tray,ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识,静电产生方法,How Does Electrostatic Charge Generating And Eliminating?静 电 的 产 生 及 消 除?,Unrolling adhesive tape 撕粘胶带,Walking 行走,Movement of body 身体移动,ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识,所有绝缘材料都容易产生静电，而且不容易用

9、简单方法消除绝缘材料表面产生的静电。如普通的塑胶制品，陶瓷、石英、玻璃等。我们可以通过离子风机等人为产生离子，中和绝缘体或孤立的导体表面所带的静电。 导体在发生静电感应或摩擦情况下也可以产生静电，但我们可以用简单地接地的方法来消除导电材料表面产生的静电。,Electrostatic Risk 静 电 风 险,静电 的产生和存在十分广泛，人体活动、机器移动、液体流动，就连我们周围的空气也是有原子组成的，当这些空气流动时也会产生静电，可以说在我们的生产过程中处处都可能产生静电。要完全消除静电几乎不可能，但可以采取一些措施来控制静电的危害在一定的范围内。 静电 如果没有途径消除的话，而是流向对静电非

10、常敏感的电子元器件，特别是非常精密的电脑硬盘磁头，PCBA等，那么则会使这些敏感的电子元器件降低等级而成为废品或次品。,ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识,Wear proper clean room attire before entering and perform continuity test 进 入 净 化 室 之 前 需 正 确 穿 好 净 化 室 制 服 并 进 行 连 续 性 的 测 试,Hood 头 巾 罩 (Head Gear 头 罩 ),Face Mask 口罩,Jumpsuit 太 空 服,Glove 手 套,Booties 太 空 鞋,Wris

11、t strap 静电手腕带,ESD控制-人体接地及监控,Jumpsuit Continuity Test 太空服连续性测试,测量时亮红灯表示不通过,不测时指示电源 测量时表示不通过,用手握住测试,测量时亮绿灯表示通过,ESD控制-人体接地及监控,在ESD安全的工作环境中，人产生的静电是我们进行ESD控制的一个重点，我们知道，人体是导体，对于人体产生的静电我们可以通过接地来加以消除。人体接地有两个重要环节： 1.通过太空服太空靴或防静电鞋及ESD材料的地垫或地板接地。 2.通过腕带接地。 通过手/脚腕带接地是消除人体静电很重要的方法。并且还必须对腕带接地进行连续不断检测（我们采用3M/NOVX/

12、WS AWARE手腕带检测仪）,正确佩戴手腕带 金属片紧贴皮肤 手腕带的导线与腕带 & Monitor的插孔必须紧紧连接 确保Monitor监控器上的亮绿灯 保证没有警告声,Rev: Q,金属片,注意：1.任何灯显示红色都不可以工作 2.正常工作时不允许关闭报警器,插上手腕带后，WS Aware monitor 必须确保始终亮绿灯,Wear wrist strap when contacting with ESD sensitive components 在 接 触 静 电 敏 感 元 件 时 必 须 佩 戴 静 电 手 腕 带,ESD控制-人体接地及监控,目前我们在用的手腕带监测仪有：3M

13、722 / 724，Novx 300 ，Novx 5315, WS Aware等。,Novx300,Novx5315,3M 724,WS Aware,ESD控制-人体接地及监控,接地监测是监测设备和金属物体接地的重要设备，在HAS和FOF生产线，大多数工位都安装有接地监测仪。目前我们在用的是Ground Master 和 WS Aware监测仪。,必须保持接地监测设备始终亮绿灯。接地监测设备不亮灯或亮红灯，停止工作，立即通知到相关技术人员来处理。,必须始终确保Ground Master 电源开关和监控开关在开启状态。,Ground Master 和WS Aware monitor 接地监控指示

14、灯,ESD控制-设备接地及监控,Ionizer - Model 5810、6412A & 5802 离 子 吹 风 机 Model 6421A ( 注：产生正负离子，中和绝缘体或孤立的导体表面所带的静电。 ）,工作原理：在10s内把物体表面产生的1000V静电消除在+(-)10V之内当离子风机平衡电压超过+(-)10V,离子风机会亮红灯报警，这时必须进行更换维修。,ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识,ESD控制-离子化,ESD控制-设备接地及监控,设备接地 对生产流水线的输送皮带必须是ESD材料。 工作台应使用金属台面，并对工作台面进行接地。 工作台上的电脑显示器法拉第

15、罩，视保屏都必须进行接地。 贮存ESD敏感产品或零部件的架子必须进行接地。手推车满足ESD要求（至少2个ESD车轮）。 设备 / 工具通过轴承或气缸联接的接触ESD敏感产品的部分必须另接接地线接地。 设备 / 工具接触ESD敏感产品的部分不得使用绝缘材料，应使用金属或ESD材料。,缩短接地线，去除多余的不必要的接地线 保持接地线平直（避免卷曲接地线）并使用希捷要求的接地线尺寸及型号 联接到已知的好的接地点，并确保接地牢靠 对工位，设备，工具接地不要一个接一个的进行链接 对同一工位，设备，工具不要进行重复接地,设备接地线,Smock Room的要求 注:在测太空服导通性的时候要单手单脚同时测。,ESD要求,离子风机检查 亮绿灯-风向吹向工作台-有效期为一个月，不可过期-离子风扇的上方不可覆盖东西,ESD要求,Monitor要求 1.只有一个插孔，手腕带要通过挂环插在亮绿灯的孔