立式炉安全操作规程

立式炉安全操作章程

1.目的

为DJ-802V型LPCVD立式炉的开关机安全操作以及设备紧急避险

提供指导。

2.范围：

本规程适用于DJ-802V型LPCVD立式炉安全技术操作。

3.参考

《设备安全使用管理制度》

4.职责

4.1.设备工程师负责设备的正常开、关机操作的培训和指导；

4.2.扩散操作者以及设备工程师等相关人员可执行设备的紧急避

险程序。

5.开机前确认

5.1.开机前确认住控制器开关、传片单元开关、显示器开关、炉

体加热开关、控制器电源开关、DNT30P极限温度控制器电源开关、

FFU电源开关、照明灯电源开关都在“OFF”位置；若不在，则将开关

调整至“OFF”位置。

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5.2.开机前动力条件确认：打开阀门后观察氮气压力、硅烷压力、

二氯二氢硅压力、笑气压力、氨气压力、压缩空气压力、冷却水压力

均在压力表绿色区间内。气体压力，SiH4：2±lkg/cm2,SiH2CL2：

0.7±0.1kg/cm2,N20：2±1kg/cm2,氨气：2+1kg/cm2,N2：

2±1kg/cm2,压空：5±1kg/cm2o冷却水流量，正常值为

500±10cc/mino

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5.3.LPCVD的真空泵氮气压力和冷却水压力都在额定值范围以内。

（能通过真空泵控制面板的自我检查）\

6.操作顺序

6.1.打开120V.280V电源开关

6.2.依次打开控制器电源开关、DN-130P极限温度控制器电源开

关、FFU电源开关、照明灯电源开关、主控制器开关、传送单元开关、

显示器开关、炉体加热开关。

6.3.显示器上提示“BACKUPMEMORYINITIALIZEOK?”按Fl键

确认。

6.4.真空系统建立

6.4.1.确认各阀门动作正常且大阀处于关闭状态（阀控制面板上

V71阀LED灯不亮，即大阀关闭）；

6.4.2.按真空泵控制面板上的“START'键;

6.4.3.检查真空压力表读数是否在红色箭头指定的0.2Pa位置；

6.4.4.捡漏时先开慢抽(V72阀)，当真空计读数为lOOPa以下

时再打开快抽(V71阀)；

6.4.5.当真空阀路控制器转换到MANUAL状态，打开V5,V8阀，

按“SET”键确认，当容压计和真空计的读数均为零的时候，关闭V71

阀,计时3分钟，漏率不超过2Pa/min。

6.4.6.通过漏率测试，慢回填氮气(0.5slm)10分钟，再快回填

氮气(2slm)15分钟。

6.4.7.将炉门落下，待机做片。

7.关机程序

7.1.程序结束后依次关闭加热开关，观察DN-130P极限温度控制

器显示温度降至50嗫氏度以下，关闭主控制器开关、传送单元开关、

显示器开关；

7.2.关闭照明灯电源、关闭FFU电源开关、关闭DN=130P极限温

度控制器电源开关、关闭控制器电源；

7.3.关闭120Vhe208V电源开关

7.4.关闭真空泵：控制面板上的STOP键，关闭真空泵泵冷却水,

关闭真空泵吹扫氮气，关闭真空泵本电源开关

7.5.关闭冷却水，氮气，压缩空气阀门。

8.注意事项:

本LPCVD立式炉是集高温、高压、特气于一体的工艺设备，为了

进一步保证人身和设备安全，所有的人员必须严格遵守下列条款：

8.1.电器安全

8.1.1.不能去掉所有连锁；

8.1.2.炉体电源打开后，严禁打开炉体腔门，需要处理炉体端子

时，必须先把高压断开，进行这些操作时，必须两个人同时在场；

8.2.特气安全

8.2.1.本设备使用硅烷作为工艺气体，该气体遇空气极易燃且有

毒，燃烧后产生白色粉末，对净化环境产生影响。

8.2.2.未经允许，不准打开或者关闭硅烷阀门，停送气需要提前

申请；

8.2.3.硅烷气体管路系统必须气密性良好，一经发现气体泄漏，

立即执行硅烷泄露紧急避险，进行相关处理。

8.2.4.氨气，二氯二氢硅具备腐蚀性的特气，操作者按照日常点

检要求进行检查。

8.3.高温安全

8.3.1.出入舟时禁止打开传送腔室前后门，防止炉门打开时受到

热辐射。

8.3.2.必须待降至室温且切断加热器断路器的条件下进行炉体加

热器部分的保养，维修。