LEDA-P6800维护保养手册

P6800

MAINTAIN

MANUAL

•一d"

目^

目^......................................................................................2

圈目^..................................................3

表目it...........................................................................................3

1.等粉.............................................5

2.段倩说明.........................................5

2.13殳借外觑^明......................................................................6

2.2内部檄情貌明.....................................................................7

3.鼓倩安装.........................................9

3.1横台^整..........................................................................9

3.1.1檄台水平调整...................................................................9

3.1.2CHUCK水平^整................................................................10

XY直交调整..................................................................11

4.EDGESENSORT12运用祝明......................................................12

4.1各部名耦..........................................................................12

4.2运用丰兑明.........................................................................12

4.3EDGESENSOR安装................................................................13

4.4运用NFJ调斜•模铝L的整£十座.......................................................15

5,定期保恭尊踱........................................................................16

5.1P6800定期保春维畤■程表........................................................16

5.2保4MMi貌明.....................................................................17

5.2.1清瀑散热凰扇...................................................................17

5.2.2螺椁滑轨清澈及上油............................................................18

5.23检查真空屋力...................................................................20

6.相^^路圈.........................................21

园目^

圈2.1言殳儒全檄外.......................................................5

02.2t殳儒外之兑明......................................................6

02.3械台内部械精......................................................7

圈2.4Platform模黜L......................................................................................................8

®3.1水平俄.............................................................9

园3.2檄台水平^整就明..................................................9

圈3.3千分^.............................................................1()

@3.4Chuck水平之周整睨明..............................................10

m3.5Chuck水平耨整螺^^.............................................11

圈3.6XY直交调整.......................................................11

ffl4.1EdgeSensor幺田吾口名耦吉昭明.........................................12

E14.2EdgeSensor名田包口名耦就明.........................................13

圈4.3NFJ言周咨十模名且......................................................14

@4.4QLMZ快拆模姐...................................................14

ffl4.5NFJ^$十模组.....................................................15

®4.6NFJt^至十谩程.....................................................15

04.7NFJ^咨十完成圈...................................................16

05.1清澈散热蜀扇猊明.................................................18

05.2XY轴螺才早滑轨保卷睨明...........................................19

05.3Z率由螺才旱保养^明................................................20

05.4检查真空屋力演...................................................20

06.2MainPower.......................................................................................................22

06.3ProberX&Y......................................................................................................23

06.4ProberZ&T.......................................................................................................24

S]6.5ProberSens.......................................................................................................25

园6.6KeypadBoar.....................................................................................................26

圈6.7S&INKBoa.......................................................................................................27

@6.8IFBoard............................................................................................................28

06.9PCModule........................................................................................................29

表目^

表2.1...........................................................................................................................................6

表2.2...........................................................................................................................................7

表2.3...........................................................................................................................................8

表5.1定期保置雉^畤程表.............................................16

1.

此手册辞黜睨明P6800檄台W殳倦其保善雉3堂的建戢畴程及方法，内容主要包含3殳

^^明、言殳借安装、定期保囊雉之姜、相i嗣重路圈等四大部分。其中，在言殳储之兑明

部份，揩介貂W殳倩外貌及内部各檄情模名且名耦及功能^明。在言殳借安装部分，M

介貂安装檄台方法，包括檄台水平言周整、Chuck水平调整、XY直交调整、Probe

Card水平调整等。最彳发定期保叠雉^部分，划列出定期保羲雉^晡程表，^客

户端依照此表碓^雉K保养。此外也一^明保重方式及所需留意事项。最f灸列

出本言殳倦相层面霜路圄予以参考。

2.■&倩貌明

此言殳儒鹰用於晶粒自勤化嚏十浏，如圈2.1所示。在晶粒的裂程中，落晶片重路裂

作完成彳灸，需就附於叠膜上型谩切割、崩裂、播张，再谨行洌居式。此^^即供

应蓝膜上全部分潍晶粒迤行影像定位储存、自勤4+浏，搭配晶粒光重特性测就械

谨行测就,。此系统外翻，主要包含黠浏、限制面板国域、限制、限制主梭、手

勤上片国等。

Hl2.1^殳^全横:外第

2.1鼓借外觐睨明

此檄台谭殳倩外^主要包含考孔虢燎、LCD螯幕、手勤上片国、咨速徽操作显、^微

£竟外罩力板、限制面板、甯源^^、汛子式械等国域，相^言羊黜位置及幺田部名矛再如

圈2.2及表2.1所示。

005

006

007

008

圄2.24殳儒外靓^明

表2.1

项次名耦

001

002LCD螯幕

003手勤上片

004筑篮操作虞

005^微^外罩

006限制面板

007富源

008项式盘支

2.2内部搬横睨明

此檄台内部檄情主要包含XT模名且、ZT模幺且、Platform模幺且等三部份。其中ZT

模幺且主要功能卷乘载黠测晶片，XY模g且即悬移勤ZT使其到连所需位置。而

Platform模4且又可名田分悬底真微及;模组、CCD视竟模名且、PCH模名且、探剑■平台名且

等，相IIM群细位置及黜部名耦如圈2.3、2.4及表2.2、2.3所示。

02.3梭台内部横横

表2.2

项次名稿

001ZT模幺且

002Platform模名且（包含探嗑十

平台名且、蕉真微嚏竞模名且、

PCH模4且、视受模4且等）

003XY模幺且

圈2.4Platform模幺且

表2.3

项次名耦

001^微^模幺且

002视觉:模幺且

003探图十平台模名且

004PCH模名且

3.鼓:借安装

本章招介貂3殳借安装及金周整方式。原划上，3殳借出席寺，本公司人^皆曾招檄台

安装定位整至正常作状熊。

3.1械台^整

此部份介貂械台装檄畤所须^整细项，包含械台水平^整、Chuck水平^整、XY

直交调整、ProbeCard水平调整。

搬台水平^整

雷寺殳儒出席1至客户端彳至，械台欲定位畤，必须先暹行搬台水平言周整。首先落储水

平俵（圄3.1），揩其放置Platform上平面虑，如@]3.2所示。以此水平俵卷基型，

运用活勤筑手调整骨架下方四根支搀地脚至檄台完全水平，此部分建值卷正负

0.1度以内。

03.1水平俄

03.2檄台水平飘整就，明

3.1.2Chuck水平飘整

檄台水平^整完成彳灸，接著迤行Chuck水平调整，Chuck水平悬檄台调整中相常

重要的一值整程序。我优运用千分圈3.3）整器具，符其磁性座吸附於

Platform上平面虑，如圄3.4所示»以此悬基型舞Chuck谨行水平整,

园3.4Chuck水平飘整脱明

03.5Chuck水平^整螺

3.1.3XY直交^整

Chuck水平言周整完成彳灸，接著迤行XY直交飘整，此部份建^由本公司易•集客服

人^^行。整步骤如下：

3.运用调整晶片，以X轴悬基型，3周整晶片THETA角度封型X轴，检查Y事由

有辗偏差，若偏差超遇8um刖造行调整。

4.ftMX轴滑/鬼螺^共16果直谨行^整，如园3.6所示。

5.W周整彳灸，16颗螺^需平均施力^固，it再次碓^直交。

03.6XY直交2周整

4.EdgeSensorT12运用就,明

此部份介貂EdgeSensorT12运用方式，内容包含sensor各部位辞名田名耦介貂、

运用、安装及整方式。

4.1各部名耦

圈4.1EdgeSensor幺田部名不鼻言兄明

4.2运用就,明

运用前须先聘T12安装至爽咨十座上，辞黜上/十步.雅如下：

1.KT12自盒内取出或在拿取的畤候，精•以M3螺孔旁边之ig/鬼卷施力黠重.

避开碰撞到T12之前段。

2.上金十的畤候触捏住T12之中^部分，如园4.2所示。

3.符雨颗一字螺、雄,髭^但不脱落，把冬十当心的由下往上放谨潢槽内剑•前端突出

5〜6mm、耨蝶上但不行太谩用力避开燮形。

04.2EdgeSensor幺田部名耦言昭明

4.3EdgeSensor安装

上专十步骤完成彳芟，接著符EdgeSensor安装至檄台上，群细安装步，舞如下：

1.装上械台前^先破之忍Platform舆Chuck高度避开撞咨十，亦可揩Chuck移^

便利作案。

2.运用内六角M3螺^^T12固定在岑十座上，青固定住£产a?患象典Edge

sensorg泉避开Chuck在移勤畤遇到而影警承十的接声号。

3.鬃固旋，运用调整旋，丑调整牵十屋弹簧屋力，使剑•痕在25〜3（）um左右

悬最佳工作状憨，^整完^符阳固旋紧。

4.每星期检查一次剑•屋弹簧屋力，若不足和I再谨行上一步鳏^整。

5.若有iglMNFJ调女十模名且（如置4.3）典QLMZ快拆模幺且（如圈4.4），即干脆调整

斜屋卷8〜12g，知琥蝶典Tester阻心式在速接畤建^用焊接的方式显.套

上热,缩套管。

04.4QLMZ快拆模幺且

4.4运用NFJ创•模整制■座

如有邃瞒NFJtfl剑■模名且（如圈4.3）舆QLMZ快拆模幺且（如圈4.4）畤，可依照下述步

,舞飘整至十屋。

1.打^NFJ模细L的E/S1孔虢重源典微重子秤重源，此畤E/S1孔虢燎亮起，如圄

4.5所示。

2.放上快拆模g且舆T12，it留意金十尖不碰斶秤前，再聘快拆模1且阳繁接上

ES感^^彳灸，ES之孔琥燎此8寺卷熄滋状熊，如回4.6所示。

3.调整快拆模4且Z构高度，使牵十碰斶秤面，觐察ESIfl虢燧舆微重子秤克敷，

利用T12飘整旋^^整金十屋，使剑•屋在8-16g暗，ES燎亮起，如图4.7

所示，即完成3周整。

S4.5NFJ言周剑•模^

圈4.6NFJ1周4十遇程

圈4.7NFJ调制•完成圈

5.定期保叠雒^

此章^介貂

5.1P6800定期保餐雉展畤程表

表5.1列出此檄台需定期保春雉tt之畤程及黜^^目，1青操作人具碓^依照此表

格内客^^保置。

表5.1定期保叠雉^畤程表

畤程作法

项次每日每二每月每季每半年酒精真空润滑油工具

A.外^零件

1.清漂外罩■•焦座纸巾

2.清潦散热风扇■■软毛刷

3.检查外部电子零件是否正常■

4.检查外部端.舔是否皴脱■

B.ZT模名且

1.济漕外部零件■•软毛刷

2.清漂感测器■■

3.清源调滑螺祥圆就■•

4.检查真空管路■

5.检查甯子接^是否髭脱■

6.检查外部螺.^是否髭脱■

C.XY模/且

1.清漕外部零件・■软毛刷

2.清漕感测器■•

3.济洪调滑螺樨圆轨■•

4.检查外部螺繇是否髭脱■।

D.Platform平台

1.清淑外部零件■■软毛刷

2.清漂成浏器■■

3.清潴洞滑螺样圆就・•

4.检查雷子接题是否禁脱■

5.清潦CCD货旗找段抵

■

吹球

6.济源骸微统找能纸

■

吹球

7.检查外部螺繇是否禁脱•

E.其他项目

1.清潴虢然■1■软毛刷

2.济潦IQD梁幕•■

3.检查真空座力是否遏低■

5.2保餐雉攫我.明

以下符分别就明檄台保春雉^方式，常客户端造行檄台保餐暗，精■依照表5.1定

期保叠雉^畤程表碓^迤行。在谨行保卷前，靖光切断械台缠甯源，避开彝生工

安事故。

5.2.1清漂散熟蜀扇

此搬台背面装三殳有数佃散热凰扇以供械台散熟之用，建3莪客户端逛行保餐畤，运

用真空及软毛刷予以清澈，以碓保散热功能正常'如圈5.1所示。

散热凰扇霓

圄5.1清滂;散热凰扇明

5.2.2螺捍滑轨清海及上油

以下分别^明XY触及Z幸由螺才呈滑轨保卷方式：

•XY孽由螺才旱滑轨保春

1.聘Stage移勤到X轴行程最左方打^X轴右防魔^套，以熊鹿布聘滇

珠螺程舆^性滑轨上的莓润滑油拭去。

2.揩润滑油壅抹至滇珠螺才旱的螺牙内舆滑轨雨很I的滑槽内，正面只需壅抹少

量浦滑油即可。

3.操作搐才辛揩Stage由行程最左方移勤到最右方，使浦滑油均匀分怖。

4.揩X轴左防^套打^重覆步骤1〜3封X轴螺才旱另一半上润滑油，完成

第一次的浦滑。

5.再聘Stage移勤到左方，以，低鹿布符第一次的滑滑油拭去，再重覆步骤1至

步骤5暹行其次次润滑。

6.若迤行第一次润滑前滇珠螺才早典^性滑轨上蕾有的油演已燮色，即必需重

覆多次润滑勤作，直到燮色的油演完全清除悬止。

7.重覆上述步骤封Y轴螺才旱典名泉性滑轨暹行润滑及保餐。

@5.2XY轴螺才旱滑幸九保^^明

•Z率由螺捍保餐

1.可先移除PlatForm上的EdgeSensor、INK或其他可能被Chuck碰撞的物

品。

2.拆下Chuck和隔雌然，可看到Z轴螺才旱，如园5.3所示。

3.|VACUUM|Off，此畤Z率由是降到最低位置0，用熊虞布符K的浦滑油擦掉，

壅上润滑油。

4.更改Z轴高度Base=9mm，当心留意Z剌b上升9mm多仓凰内，是否可能碰

撞物件。|VAC玩而|ON、Off，来回上下20次,使浦滑油均匀。润滑完成彳复，

聘Z率由高度更改回Base位置。

5.装回隔蹄篮和Chuck，Chucky回螺^畤，因螺帽是固定在岑装弗殖上：tt

勿太谩用力，平沟施力^上即可。

6.保置完成彳爰，靖依照3.1.2Chuck水平调整,彳复原械台，即完成。

05.3Z轴螺才早保^^明

5.2.3检查真空屋力

此槌台建^的真空座值悬50kPa，如圈5.4所示。若低於此敷字，檄台畲有建作

不正常的状况彝生，W青每天至少检查一次。

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05.4检查真空屋力值

6.相^甯路圈

图6.1P7800^路圈

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